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中國集成電路產業60年發展歷程與回顧
八、具有特色的典型企業(北京燕東、杭州士蘭微、深圳方正微電子)
?北京燕東公司:電子部關于集成電路“七五”行業規劃(1986~1990年)建設南北兩個微電子基地,要在上海和北京重點發展集成電路。進一步明確南方在上海要建貝嶺公司,北方在北京要建燕東公司。貝嶺為中外合資公司,新建4英寸廠;燕東則是在北京市半導體器件二廠內利用未建完的凈化廠房和878廠引進的一部分4英寸工藝設備進行技術改造建4英寸線。前面已述,貝嶺公司在1988年建成中國第一條4英寸線。而燕東公司則因資金原因歷經進出首鋼曲折道路,從美國引進一條4英寸線,一直到1996年6月才完成驗收。這時國內集成電路5大骨干企業:無錫華晶、紹興華越、上海貝嶺、上海飛利浦、北京首鋼日電,都已建成投產。燕東公司采用“回馬槍”策略,利用4英寸線的有利條件,回過頭來主攻半導體分立器件,首先使企業在激烈的國內外競爭中立住腳。然后,在“退一步”之后“進兩步”,逐漸提高集成電路投片比例,并在2007年3月建成一條6英寸線,到2013年底月產量達到30000片。2019年在亦莊經濟技術開發區新建8英寸廠建成投產,2021年底月產量達40000片,并且又建了一條12英寸線。燕東公司4英寸和6英寸線時仍然采用IDM模式,8英寸線則采用代工模式。
成立于1987年、歷經35年的國營企業,如今燕東已是一家上市企業,2022年12月6日燕東微在科創板上市。?杭州士蘭微公司:上世紀80年代,在改革開放的浪潮中,7位年輕人從國有企業紹興871分廠出來下海,與一位臺灣老板結合,成立友旺合資公司,這是一個產品公司,先后承包了遼寧丹東半導體總廠和福建福州一家新建的4英寸廠,經營半導體分立器件和雙極型集成電路。若干年后,到1997年9月,這7人組成的團隊單獨成立杭州士蘭電子有限公司,主要從事MOS型集成電路產品經營。正趕上無錫華晶MOS事業部于1998年2月開始由香港上華公司經營代工模式。這樣,兩者相互支持,一起快速成長。到2000年10月,整體改制為杭州士蘭微電子股份有限公司,并于2003年3月在上海上市。就在上市前1月份,士蘭微公司在杭州下沙地區自己建立的5英寸芯片生產線開始投入生產,這標志著從一個產品公司轉變為IDM模式的集成電路生產企業。并在寧波中緯公司之后不久也建成1條6英寸線。而且, 產品還拓展至LED半導體照明發光二極管領域。后來又新蓋了8英寸廠房,買了8英寸設備投入運行。發展到2017年底,士蘭微與廈門市海滄區人民政府簽訂合作協議,士蘭微與廈門半導體投資集團公司共同投資170億元在廈門建設2條90~65納米特色工藝12英寸線,已于2020年12月投產;并且共同投資50億元建設4/6英寸兼容先進化合物半導體器件生產線。士蘭微公司不僅是中國第一個民營集成電路制造企業,而且它是一個成功的IDM企業,從5英寸線、6英寸線、8英寸線,一直發展到12英寸線。
?深圳方正微電子公司:深圳方正微電子有限公司6英寸集成電路芯片加工廠是我國頭一家由整機單位建成、投產的芯片廠,這在我國半導體芯片業界里是一件很罕見、恰又很新鮮的事情。方正集團因何原因決心投身加入芯片加工行列呢?眾所周知,方正集團是由研發、生產激光照排印刷機起家,逐漸發展為多門類、多領域的IT系統整機企業,它生產的產品包括電子出版系統、電腦、顯示器、掃描儀、手機、印刷電路板等。方正集團領導層最后認識到,IC芯片是各種電子整機的核心, IC芯片制造是所有IT整體的核心技術。為此,方正集團下決心進軍這一至高的技術領域。2003年12月7日方正集團公司派出旗下一個公司的女總裁,第一次前往深圳,探索要在深圳籌建一座集成電路芯片廠的項目。這位女總裁是財務出身的企業經營者,在集團內曾在幾家公司工作過,有創辦新公司的經驗。但在這次想象不到會遇到這么多的新問題、會碰到這么多的難題。對于什么是集成電路、它的芯片制造廠是什么樣子、芯片是怎樣制造出來的等眾多問題都很不了解的她,卻勇敢地接受了這一艱巨任務。在2003年12月26日成立了深圳方正微電子公司。深圳是改革開放的前沿城市,這時改革開放已經25年了,卻從來沒有一家集成電路制造廠建成過。上世紀80年代中期,就有電子口貴州083基地集成電路廠和航天口西安691廠派人到深圳成立公司籌建半導體廠,但遇到困難后都改搞電子整機裝配了。進到90年代,又有多家海外公司來深圳企圖籌建8英寸芯片廠,都相繼失敗了,其首次是由深圳賽格集團與意法半導體ST公司共同提出的,最后只是建成規模宏大的集成電路封裝測試廠。深圳始終是我國芯片制造業的一塊處女地。但是,就是北大方正集團來到深圳“第一個吃螃蟹”,在當初一無人才、二無技術的條件下,克服前所未有的重重困難,建起了凈化廠房,購買安裝調試了6英寸線設備,進行了工藝試驗,于2006年10月14日舉行建成投產儀式。到2009年12月,經過三年多時間“爬坡”,達到月產20000片水平。后來又購買一條月產能為30000片的6英寸設備,再次進行“爬坡”,最后達到兩條線月產出50000片的預定目標,多年來一直保持著滿負荷地運行。這是因為公司領導長期堅持勤奮學習、知難而進、廣收人才、同甘共苦,才取得驕人的業績,成為中國集成電路行業中一顆新星。
九、建設國際化代工大廠(上海北京中芯國際和上海宏力)
為了加速發展集成電路和軟件產業,國家于2000年6月底公布了18號文件,在此文件鼓勵下,在上海浦東張江開發區先后建立了中芯國際和宏力兩家公司,先是中芯國際建成3條8英寸芯片生產線,緊隨其后,宏力公司建了兩座12英寸潔凈廠房,在其中一座廠房里建成1條8英寸線。這兩家公司都是在海外注冊,吸引海外投資,都采用代工模式,招募具有臺灣背景的海外華人經營管理和技術團隊來經營,而且兩公司的領軍人物都在無錫上華公司工作過,具有和中國大陸管理和技術人員合作的經驗。
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北京中芯國際公司
在8英寸線建設上,北京落后于上海。但北京又吸引中芯國際來北京,結果用兩年時間在亦莊經濟技術開發區建成了中國第一條12英寸芯片生產線,它在2004年9月底投入生產。這時滯后世界只有5年,在建新一代芯片生產線的歷史上拉近了與世界的差距。從此,中芯國際成為中國集成電路制造業的領跑者。中芯國際后來又收編了美國摩托羅拉公司在天津在建的8英寸廠,又到深圳先后建了8英寸線和12英寸線,并協助武漢建了新芯公司12英寸線、協助成都建了8英寸線。后來又在紹興和寧波建8英寸線。
由于在21世紀初在上海建設成中芯國際和宏力兩家代工企業,使中國大陸集成電路制造業向前推進了一大步。
十、臺灣公司來大陸建廠(蘇州和艦、寧波中緯、上海臺積電松江、廈門聯芯、合肥晶合、臺積電南京、泉州晉華)
臺灣公司在21世紀初在大陸政府發布18號文件的鼓勵下,也陸續到大陸建芯片廠。
最早臺灣團隊在江蘇蘇州工業園區于2001年11月注冊成立和艦科技(蘇州)有限公司,建設一條8英寸芯片生產線,于2003年5月正式投產。然后,2002年2月在浙江寧波保稅區注冊成立中緯積體電路(寧波)有限公司,建設一條6英寸芯片生產線,從臺灣臺積電購買其一廠的二手設備,在2004年6月正式投產。緊接著2003年8月,臺積電(中國)有限公司在上海松江科技園區注冊成立, 建設一條8英寸芯片生產線,于2004年12月投產。
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圖:寧波中緯公司
發展到后來,臺灣公司經過與大陸地方政府多年溝通談判,紛紛到大陸來建12英寸芯片生產廠。先有聯電公司于2014年10月到福建廈門合作建聯芯公司,做代工。再是力晶公司于2015年5月到安徽合肥合作建晶合公司,生產液晶面板LCD驅動電路。然后,臺積電公司于2016年5月到江蘇南京成立臺積電(南京)公司,獨資建12英寸廠,技術為16納米,于當年7月動土建廠,已于2018年4月建成投產出片。再是聯電公司又于2017年到福建泉州晉江合作成立晉華公司,于當年7月開工建設,擬生產DRAM產品。之后還有其他公司在積極洽談中。
十一、外資獨資來華建廠(無錫海力士、大連英特爾和西安三星)
韓國海力士公司首先到中國江蘇無錫來建芯片制造廠,這是為了與韓國三星公司競爭存儲器產品市場。海力士公司于2004年11月與意法半導體公司簽訂在中國合資建廠協議,2005年4月海力士-意法半導體公司在無錫舉行開工典禮。在當地銀行貸款支持下,12英寸廠迅速建成并投入生產。不久其12英寸硅圓片月產量很快達到中國大陸地區最高水平。后來又進行二期擴充,生產DRAM和閃存(Flash)產品。
之后,世界上最有名的美國英特爾公司于2007年3月26日在北京宣布,要在大連建立亞洲首家工廠(英特爾Fab 68號廠)。之前以色列、印度,以及美國本土許多城市都爭取該項目,最終大連脫穎而出。該廠投資25億美元,建成12英寸芯片生產線后采用90納米工藝技術,生產PC機上一部分芯片。由于世界市場上存儲器需求量大增,價格上漲,英特爾大連工廠也轉向生產NAND Flash 閃存產品。
2025年4月份海力士完成對大連英特爾工廠的收購和整合,更名為愛思開海力士半導體(大連)公司。
韓國三星電子公司見到海力士公司到中國設廠后產能大增,之后也來中國選址建廠,最后選中陜西西安,在2012年9月成立三星(中國)半導體公司,投資100億美元,于2014年月5年建成12英寸芯片生產線,工藝技術水平達到10納米。它的月投片量是中國大陸所有12英寸廠中最大的線, 主打NAND Flash 閃存產品。又于2018年3月二期工程開工,再投資70億美元,擴大產能。
此外,美國萬國半導體公司在重慶成立重慶萬國半導體公司,已于2016年4月開工建設12英寸芯片生產廠,在2018年年底建成投產。當年世界上芯片代工業位居第二位的格羅方德公司也于2017年2月到四川成都開工建設12英寸芯片生產線,投資90億美元,技術為22納米,公司名稱取為“格芯”。但后因資金原因停建。
十二、國家大基金注入國家團隊大企業(上海北京中芯國際、上海華虹─宏力─華力、武漢長江存儲)
2014年6月工信部印發《國家集成電路產業發展推進綱要》,將集成電路產業發展上升為國家戰略;9月國家集成電路產業投資基金設立,一期募資1387億元,用于集成電路產業企業的股權投資,扶植產業鏈上的龍頭企業。重點是加大對芯片制造業的投資力度,兼顧設計業和封測業。截至2017年9月,第一期大基金累計投資1003億元,其中芯片制造業投資為主,占比為65%,在芯片制造業中,重點投向三大企業:中芯國際、華虹─宏力─華力、長江存儲,以組成國家團隊。
?中芯國際公司:成立于2000年,現在是中國規模最大、技術最先進的集成電路芯片制造企業,是純商業性的集成電路芯片代工廠,工藝技術為0.35微米到7納米。它擁有7座8英寸廠(上海3座、天津1座、深圳1座、紹興1座、寧波1座)和4座12英寸廠(北京2座、上海1座、深圳1座)。此外,曾幫助武漢新芯公司建成一條12英寸廠,幫助成都建過1座8英寸廠。2016年下半年起其北京12英寸廠第二期擴產,投資15億美元,月產能從20000片增加到45000片。2017年4月28納米工藝放量成長,14納米開始營收,目前已達7納米技術水平,向5納米前進。又新增2條12英寸線,使月產量提高到11萬片。近年來又在浙江紹興和寧波各建1座8英寸廠。

北京中芯國際公司
?華虹─宏力─華力公司:
華虹公司成立于1996年,它是909工程在上海浦東金橋所建,當時是華虹NEC合資公司,早期生產日本NEC公司DRAM產品,后來轉為代工廠,這是中國第一條8英寸線,后來又建了第二條8英寸線。華虹集團公司控股上海華虹NEC電子有限公司和上海貝嶺股份有限公司。
宏力公司成立于2000年,于2003年9月開業,它建成兩座12英寸規格的潔凈廠房,其中一廠A線(8英寸線)建成投產。
2010年1月華虹與宏力聯合投資,成立上海華力微電子公司,在宏力12英寸廠房內建設1條12英寸線,這稱為“華力一期”。總投資規模為219億元, 工藝水平可達到55-40-28納米。
2011年12月29日華虹和宏力聯合宣布雙方已完成了合并交易,然后到2013年1月24日成立了上海華虹宏力半導體制造有限公司。
2016年11月“華力二期”動工建設,由上海華力集成電路制造公司承擔建設和運營。總投資387億元,再建1條12英寸線,月產能40000片,技術水平達到28-14納米,于2018年10月投產。
2018年3月2日華虹無錫集成電路研發和制造基地項目開工,一期投資25億美元建1條12英寸線,月產能40000片,技術水平為90/65/55納米,已于2019年9月投產。總投資將達100億美元,要建幾條12英寸線。?長江存儲公司:紫光集團先收購武漢新芯公司部分股權,后成立長江存儲公司。長江存儲公司于2016年12月在湖北武漢注冊成立,于12月30日開工建設新的12英寸廠,專攻3D NAND閃存產品。在新芯公司12英寸線上進行研發。長江存儲公司投資386億元, 股本結構為:紫光集團下的紫光國芯占51%,國家大基金占25%,湖北省政府占24%。在2018年內建成第一條12英寸芯片生產線開始投入生產,首先生產32層3D NAND產品,到2021年7月128層3D閃存產品量產。武漢存儲器基地總投資240億美元,到2020年形成月產能30萬片的生產規模。紫光集團還計劃在江蘇南京和四川成都同步建設IC國際城,發展存儲器相關產業。
十三、近幾年新建幾條芯片制造線
近幾年來建設以下幾條芯片制造線:重慶萬國半導體、合肥長鑫、無錫華虹、上海積塔、廣州粵芯、青島芯恩、廈門士蘭微、榮芯半導體、深圳潤鵬、珠海天成先進。
1.重慶萬國半導體
? 2016年4月成立,為中外合資企業,外方為美國AOS公司(萬國半導體科技有限公司)。
? 總投資10億美元。
? 一期投資5億美元,月產20000片12英寸片功率半導體芯片,在2018年11月投產。
? 計劃二期再投資5億美元,月產能50000片。
2.合肥長鑫
? 2016年6月成立,總投資高達2200億元。
? 2018年1月建成第一條12英寸線,2019年9月正式投產。
? 到2020年底,第一座12英寸廠已經達到月產40000片產能,自主研發生產內存DRAM產品,為19納米工藝的DDR4和LPDDR4。
? 三期滿產后預計月產36萬片晶圓。
3.無錫華虹
? 上海華虹到無錫蓋新廠。
? 2017年10月成立華虹半導體(無錫)有限公司,簡稱華虹無錫,注冊資本18億美元,總投資100億美元。
? 一期投資25億美元,建90~65/55納米工藝12英寸線,規劃月產40000片。
? 2019年建成投入運營,代工生產功率器件。
4.上海積塔
? 2017年11月成立,注冊資本40億元,總投資359億元。
? 由華大半導體公司(中國電子信息產業集團CEC旗下公司)投資成立。
? 2018年8月在上海浦東臨港建8英寸線廠房。
? 同年10月上海先進與積塔合并,專注模擬電路,主攻電源管理電路、IGBT功率器件。
? 2020年6月底8英寸線投產。
? 二期上12英寸線。
5.廣州粵芯
? 2017年12月成立。
? 2018年3月動工,2019年9月第一期建成投產,2020年12月滿產20000片。
? 第二期新增月產能20000片也已經投產,月產能達到40000片,技術水平將達到55納米。
? 第三期、第四期項目于2021年底動工,計劃月產能各40000片,預計到2025年粵芯總產能將達120000片。
6.青島芯恩
? 2018年5月成立,總投資約150億元,其中一期總投資約78億元,建設8英寸線和12英寸線。
? 2021年8月8英寸線投產,投片產品為功率器件。
? 公司采用CIDM模式,即協同式(共享式)集成制造模式。
7.廈門士蘭微
? 2018年5月成立,其12英寸線生產線項目由廈門士蘭集科微電子有限公司負責,總投資170億元。
? 規劃建設兩條12英寸線,生產功率器件和MEMS傳感器芯片。
? 第一條線總投資70億元,一期投資50億元,2020年12月正式投產。
? 二期投資20億元,計劃2021年底月產3萬片。
8.榮芯半導體
? 2021年4月成立,總部位于浙江寧波,是一家成熟制程(28-180納米)特色工藝的12英寸線。
? 其股東背景多元,包括國有平臺基金,以及眾多著名產業機構和投資方,如美團、騰訊、韋爾股份(韋爾半導體)等。
? 2021年8月拍賣獲得江蘇淮安德淮半導體整體資產,盤活了原有資產,快速具備了制造能力。
? 總投資額一期投資87億元,一期產能規劃3萬片12英寸片。工藝水平90-65納米。已投入生產。
?寧波生產線
? 總投資160億元,已于2025年4月9日正式開工,致力于推動制程工藝向55納米、40納米和28納米水平發展。
? 產能目標月產35000片12英寸片晶圓。
? 榮芯半導體規劃到2030年總月產能20萬片。
9.深圳潤鵬
? 潤鵬半導體(深圳)公司是由華潤微電子控股,并與深圳市地方國資等共同出資設立的。
? 在深圳建設12英寸芯片線。
? 一期總投資220億元。
? 工藝技術為40納米以上模擬特色工藝。
? 月產能40000片12英寸功率芯片。
? 于2022年10月開工建設,已于2024年12月31日通線投產。
10.珠海天成先進
? 2023年3月30日項目開工建設。
? 這是一個12英寸晶圓級TSV立體集成生產線項目,致力于半導體先進封裝與集成技術。
? 項目總投資30億元,產能月產2萬片。
? 2024年12月30日正式投產。
? 天成先進自主研發了名為“九重”的晶圓級三維集成技術體系。
? 項目首批投產了三大類型六款產品,產品應用于多個領域。
—— 芯榜 ——
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