近期有法國半導體產業分析師在公開圈子里直言不諱:別說3nm了,就算生產14nm,中國在閥門與真空系統這些看似邊緣的設備關鍵部件上,依然嚴重依賴歐洲供應商,遠未具備完全自主可控的能力。這種論斷帶有明顯的外媒傲慢色彩——似乎一提中國芯片技術落后,先進制程就成了唯一話題,但他們將視角轉到“閥門與真空系統”上,來強調中國制造的“不可替代性”。
在這類觀點背后,往往是引用歐洲供應商在真空子系統市場中的歷史優勢:據國際半導體產業協會(SEMI)早期數據統計,半導體制造所需的真空泵、真空閥門等子系統,在全球市場中長期由歐洲廠商占據主導地位(如Edwards Vacuum、Pfeiffer Vacuum、VAT Group等),這些企業曾一度貢獻超過全球60%以上的真空子系統供應量。
分析師用這種數據來說明,中國制造在核心零部件領域仍然依賴進口,并進一步引申為“無法從歐洲脫鉤”。這種論調在技術圈流傳時,很容易讓不熟悉產業鏈的讀者產生誤解:認為中國即便是14nm生產線,也離不開歐洲這些“小部件”。但事實是否如此?我們需要理性拆解。
真空系統在芯片制造中的定位是什么?
半導體制造中的真空系統,包括泵、閥門、壓力傳感器等,是為了在晶圓加工中創造極高真空環境,保證刻蝕、沉積、離子注入等工藝的穩定性。而閥門則是控制真空腔體內部氣體流向和壓力的核心元件之一。
簡單來說,沒有高質量、高可靠性的真空系統,就無法保證芯片制造設備中關鍵工藝的執行。它看似不起眼,卻是制程良率與穩定性的重要支撐。
客觀來看,歐洲確實擁有在這一領域歷史悠久的領導者,例如:VAT Group(瑞士真空閥巨頭),全球市場占有率長期領先,并且其產品在全球前沿晶圓廠中廣泛使用。Edwards Vacuum(英國真空泵與系統) 及 Pfeiffer Vacuum(德國真空系統廠商) 等,也在全球真空子系統供應中占據重要位置。
這樣的產業格局確實在過去幾年里形成了高集中度——尤其在高端、超高真空系統領域,歐美廠商長期憑借技術積累與規模優勢主導全球供應。
根據最新產業市場調研數據:2025年全球及中國半導體真空閥門市場規模持續增長,中國市場增速遠高于全球平均水平,但高端產品的進口依賴度仍超過60%。中國市場在清洗、檢測等細分設備中已具備一定國產替代能力。但針對超高精度閥門與各類真空子系統的高標準、高精度產品,國產化仍有明顯差距。
因此,與“完全不依賴”相比,中國確實在高端閥門、真空泵及其系統方面仍存在進口依存,但這種依賴更呈現為“技術積累與規模不足導致的階段性差距”,不是“永遠無法取代”的宿命。
“歐洲廠商掌握門檻技術”的論斷,不是空穴來風。歐洲長期以來在真空技術上投入研發、積累專利與工業標準,使其在全球擁有品牌和份額優勢。
但這不意味著中國永遠無法突破。依賴進口核心零部件,是全球半導體產業的普遍現象:例如日本在光刻機部件方面對荷蘭ASML的依存,美國對高精密設備出口控制等都是類似邏輯。
從供需結構看,中國市場需求量和投資增速連續多年保持領先趨勢,成為全球真空閥門市場增長最快的區域之一。換言之,進口占比高是一種當前產業鏈成熟度不足的表現,而非技術宿命論。
值得注意的是,歐洲真空系統供應商并非將全部產能留在歐洲,他們大量布局亞洲產線、在中國及東南亞設廠或服務中心,以更貼近客戶生產。 這意味著“供應鏈被歐洲控制”理論同樣有局限:全球制造體系本身就是國際分工的產物,而非簡單某一方“控制”。
國產替代需要從以下幾個方面同步提升:精密制造能力:包括材料科學、加工精度、潔凈制造等;標準與認證體系:高端設備需通過晶圓廠的驗收與長期穩定性檢驗;產業資本與生態:需要形成規模效應與上下游協同創新體系。這不是一句“補貼就能解決”的問題,而是產業體系成熟度的長期積累。
近年來中國設備制造商在真空子系統相關領域正加速追趕。例如在干泵、粗真空泵、氣體流量控制組件等細分環節,本土供應商已取得較大市場份額,一些產品已經進入國內晶圓廠供應鏈。政府專項資金與產業聯盟也在推動國產零部件研發與產業化。
此外,中國半導體設備整體國產化率也在逐年提升,尤其在刻蝕、沉積等設備板塊,自主設備的市占率從過去的個位數上升到20%以上。 這些都顯示出國產設備制造的進步與市場認可。
不過現實中仍有幾個關鍵瓶頸:高端真空閥門與整體系統集成:歐、美廠商的成熟度與穩定性仍難以短時間超越;技術標準與可靠性驗證周期長:晶圓廠對組件異常敏感,替代周期往往需要更長時間積累;全球供應鏈依然復雜:即使國產產品技術達到要求,供應鏈配套與服務能力也需同步提升。
這些短板決定了中國在高端真空子系統的國產化路徑仍需時間與更深層次的技術積累。
真實狀況是:中國在高端零部件與系統集成方面確實尚需進口支持,但這一狀況正在被逐步改變;依賴是產業鏈發展階段性的特征,而非永恒的宿命。
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