北京
中國科學院微電子研究院持股。
作者 | ZeR0
編輯 | 漠影
芯東西1月23日報道，1月22日，證監會官網披露，江蘇邳州半導體設備企業魯汶儀器在江蘇證監局辦理上市輔導備案登記，啟動A股IPO進程，輔導機構是中信證券。
魯汶儀器成立于2015年9月，注冊資本為1.96億元，法定代表人是董事長許開東。其控股股東Leuven Instruments持股19.82%。
企業信用查詢平臺企查查顯示，中國科學院微電子研究院是魯汶儀器的股東之一，持股2.98%。
官網顯示，魯汶儀器致力于為集成電路制造產業提供先進的裝備和工藝解決方案，針對邏輯、存儲、功率器件、光學、微顯示等領域的關鍵工藝道次，研發了業界領先的離子束塑形設備（IBS）、離子束沉積設備（IBD）等，也提供電感耦合等離子體刻蝕設備（ICP）、薄膜沉積設備（CVD），以及氣相分解金屬沾污收集設備（VPD）等晶圓工藝制造設備與檢測設備。
2025年9月，魯汶儀器入選2025年江蘇獨角獸企業名單。
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