近日,網絡上一則日本業內人士放話:不給中國化學氣體,中國連 7nm 的影子都看不見,這種論調甚囂塵上。這種夸張、甚至帶有霸權色彩的斷言,看起來像一針挑釁的宣言,卻實實在在反映了現實世界一個重要話題:半導體產業供應鏈中,那些你看不見卻決定成敗的化學氣體,究竟有多重要?中國在這塊真是靠日本撐著?事實又是否如其口中所言?
在我們看不見的芯片生產背后,有一種非常不起眼但卻決定芯片生死存亡的“隱形原料”——半導體制造用的電子特種氣體與化學氣體。它們不是普通氣體,而是經過高度純化、精密控制、在極端條件下使用的特殊材料,用于清洗、蝕刻、沉積、光刻等關鍵工藝。
三氟化氮(NF3) 是半導體制造中用于等離子蝕刻和反應腔清洗的關鍵氣體,幾乎每一片晶圓的生產都離不開它。它用于去除腔體內殘留的硅化物,防止污染和缺陷產生。
氬氣、氮氣、氖氣、氪氣一類的稀有氣體,在光刻、環境保護、等離子體發生等環節扮演著不可替代的角色。
這些氣體純度要求高達 “6N” 或更高(即 99.9999% 的純度),哪怕一個微小雜質都可能導致芯片良率的崩盤。
正因為這些“看不見的”東西決定了芯片產線能不能正常運行,日本、韓國乃至歐美長期在這類化學氣體與材料上保持技術優勢,被認為是產業鏈中“難以撼動的堡壘”之一。
確實,日本在半導體材料領域擁有深厚積累,其企業曾在很多高端化學品和設備上占據全球大份額。例如:日本供應商在超高純度氟化氫、氬氣等特氣領域曾占據重要市場位置。日企在高端光刻膠、光刻氣體等上游材料上過去一度“幾乎壟斷”。
這種技術積累并非空穴來風,它來源于幾十年產業累積、嚴苛質量管理和長期研發投入。正是這些優勢,讓一些人在論及中國半導體時,不免用帶有點傲慢的語氣說出類似“不給氣體中國連 7nm 的影子都看不見”的言論。
但現實世界從未像他們口中那樣簡單。事實上,中國在化學氣體供應鏈上并非毫無作為。過去幾年,中國企業在電子氣體領域已經實現了明顯的國產化突破:
1.國產特氣產能迅速增長
以 NF3 為例,中國從過去依賴進口供應,到現在成為全球重要的 NF3 生產基地之一。據行業數據,中國的 NF3 產能在近年來實現了高速增長,而且部分產品已經能夠外銷。
2.本土企業技術實用性不斷提升
類似中船特氣、華特氣體等國內企業已經實現了 NF3、WF6、Ar/F/Ne 等多種電子氣體的穩定供應,并且其產品在 14nm、7nm 等制程產線中已被批量應用,得到了國際客戶認證。
3.進口替代加速布局
在進口材料受貿易摩擦影響的情況下,中國加大對國產化的支持力度,不僅在 NF3,還涵蓋了更大種類的特氣與前驅體材料,通過政策與市場共同作用快速補充產業鏈短板。
這些進展說明,中國已經不是看到日本“氣體就跪拜”的階段,而是在用實際行動改變供應格局。在特定種類產品上,國內產能甚至已出現供過于求的趨勢,這在過去是難以想象的。
值得注意的是,日本所謂“卡脖子斷供就會讓中國連7nm影子都看不見”的言論,本身夸大了單一環節的影響力。芯片制造是一個極其復雜與龐大的系統工程,僅有“化學氣體”這一環節的斷供,并不會讓中國整個先進制程徹底停擺。
事實上,中國芯片產業已經在多個關鍵領域展開應對與替代:
在光刻機、裝備層面,中國企業通過升級舊款設備與自主創新,已能實現某些先進節點的量產,即使仍受國際出口管制限制,中國仍在 靠技術途徑突破困局。在材料領域,不僅局限于氣體,中國已在光刻膠、CMP 材料等關鍵材料上布局國產替代方案。
通俗來說,半導體節點是否能推進,不是單靠某一種氣體就能左右。即使日本斷供某類材料,中國的產業鏈有足夠的彈性與替代路徑,而這種抗風險能力正是在長期“卡脖子”壓力下逐步鍛造出來的。
反過來看,日本國內其實同樣深受全球供應鏈的影響:日本自身極高價值的半導體產品,也需要從中國進口大量中間材料與終端電子設備。任何單邊斷供都可能反噬本國企業的生產與市場。日本對氦氣等稀有氣體也存在進口依賴,而在全球采購競爭中還出現了不如中國。這說明供應鏈不是誰單方面“說停就停”的權力游戲,而是全球共同發展、互相依賴的復雜生態。
中國不是在等待供應,而是在自己造供應。中國不是被動依靠,而是在加快趕超與替代。中國不是技術貧瘠,而是在開放與競爭中積累實力。
中國半導體材料產業的奮起不僅反擊了這種論調,更在全球供應鏈中重塑了中國方案的影響力。國的芯片產業發展,絕不是依賴某一個國家的氣體供應,而是靠無數人鉆研、突破與堅持的積累。正所謂——別人斷供,我們自我突破;別人夸夸其談,我們以實力回應。
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