ASML工程師：中國要復(fù)制一臺光刻機并不難，但他們選了另外一條路

在中國半導(dǎo)體日新月異，不斷突破的背景下，ASML工程師認(rèn)為，只要有圖紙、有零件、有資金，中國復(fù)制 ASML 的光刻機并非天方夜譚。然而，與其“復(fù)制”舊技術(shù)，不如走出一條自主研發(fā)的新路這條道路，或許更值得期待。

PART.01

復(fù)制，并非完全不可能

為什么“復(fù)制 ASML”的想法看似可行-- 技術(shù)原理并非絕密，理論上有跡可循。

對很多業(yè)內(nèi)觀察者來說，光刻機的基礎(chǔ)工作原理（光-掩模-成像-對準(zhǔn)-曝光）并不是國家機密；只要掌握光學(xué)、機械、控制軟件等知識，理論上“照葫蘆畫瓢”是可能的。

有人指出，只要“有足夠技術(shù)人才參與到光刻機的開發(fā)當(dāng)中”，確實有可能“重新打造一臺跟 ASML 類似的產(chǎn)品”。這種觀點也在某些公開討論中被提及。

在現(xiàn)實中已有嘗試：試圖拆解、逆向 ASML 設(shè)備。最近有媒體報道，一臺使用的 ASML DUV（深紫外）光刻機，因為被某實體拆解嘗試逆向工程，結(jié)果在重組過程中損壞系統(tǒng)，不得不請 ASML 派工程師來維修。 這一事件說明：已經(jīng)有人對“通過拆解學(xué)習(xí) ASML”的思路至少進行了嘗試。讓“復(fù)制 ASML”的思路，在外界看來，似乎并非完全不可能。

PART.02

我們選擇另外一條路

“復(fù)制”是一種治標(biāo)不治本的方法。

拆過來再組裝，最多只能復(fù)刻“過去”的技術(shù) —— 這種方式無法帶來真正的技術(shù)積累和長期競爭力。一旦國外（尤其是西方）加大出口管制、零部件封堵，復(fù)制得到的設(shè)備很可能會因基礎(chǔ)材料或核心組件斷供而無法維持。

近兩年，國內(nèi)多家光刻機與半導(dǎo)體設(shè)備公司在低、中端光刻設(shè)備領(lǐng)域已有實質(zhì)性進展。比起復(fù)制這種選擇具有明顯優(yōu)點：

1.穩(wěn)定可控：不依賴國外出口許可與零部件供應(yīng)，降低被“卡脖子”的風(fēng)險。

2.產(chǎn)業(yè)積累：通過自研、自制，逐步發(fā)展起完整供應(yīng)鏈與技術(shù)能力，為將來更高級、復(fù)雜光刻設(shè)備的研發(fā)奠定基礎(chǔ)。

3.經(jīng)濟與戰(zhàn)略平衡：對于大多數(shù)成熟工藝（如 28nm、40nm 甚至更大節(jié)點）來說，國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)足夠；對于高端、特殊用途芯片，自主技術(shù)路徑也正在鋪開。

PART.03

復(fù)制 VS 自研

復(fù)制 + 拆裝（逆向）ASML

上手相對快速、不需要從零開始設(shè)計。但是難以實現(xiàn)整體工藝一致性；高精度、高良率、高穩(wěn)定性難以保障；極易損壞設(shè)備。多數(shù)專業(yè)人士認(rèn)為，這條路頂多作為短期“試探”，難以長期維持。

自主研發(fā) + 本地化供應(yīng)鏈 + 多圖案 + DUV + 替代方案

可控自主、供應(yīng)鏈穩(wěn)定、適配中國產(chǎn)業(yè)需求、有長期積累價值。雖然起步慢、技術(shù)門檻高、仍需克服材料、設(shè)計、工藝整合等難題，但更有潛力，已經(jīng)有公司進入測試階段，有望逐步成為主流路線。

也許，就是因為“復(fù)制容易，創(chuàng)新難”，中國芯片產(chǎn)業(yè)才選擇了后者 —— 這條或許更漫長、更艱辛，但也更有價值、更具戰(zhàn)略意義的道路。

在全球科技博弈不斷升級的今天，誰掌握了先進芯片制造技術(shù)，就可能在未來科技競爭中占得先機。對中國而言，復(fù)制曾經(jīng)的設(shè)備顯然不是長久之計；而自主研發(fā)、自建產(chǎn)業(yè)鏈、自主控制關(guān)鍵設(shè)備，才是破局之道。

未來，無論是中端芯片的大規(guī)模國產(chǎn)化，還是高端芯片設(shè)備的自主研發(fā)，只要貫徹“自研優(yōu)先、穩(wěn)步推進”的原則，中國都有可能走出一條不同于過去、不同于他國的半導(dǎo)體發(fā)展之路。

小小寰球，有幾個蒼蠅碰壁。嗡嗡叫，幾聲凄厲，幾聲抽泣。螞蟻緣槐夸大國，蚍蜉撼樹談何易。正西風(fēng)落葉下長安，飛鳴鏑。

多少事，從來急；天地轉(zhuǎn)，光陰迫。一萬年太久，只爭朝夕。四海翻騰云水怒，五洲震蕩風(fēng)雷激。要掃除一切害人蟲，全無敵。

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