總投資35億元！清溢光電平板顯示及半導體掩膜版生產基地在佛山投產

11月14日，深圳清溢光電股份有限公司（以下簡稱“清溢光電”）“平板顯示及半導體用掩膜版”佛山生產基地項目投產儀式在南海區丹灶鎮隆重舉行。

2024年，清溢光電啟動投資人民幣35億元建設佛山生產基地項目，包括高精度掩膜版生產基地、高端半導體掩膜版生產基地。2025年11月，清溢光電佛山高端半導體掩膜版生產基地引入佛山第一臺電子束光刻機，電子束光刻機是制造尖端半導體掩膜版的“王牌”設備，它的入駐正式開啟了佛山高端半導體用掩膜版的制造歷史，未來將向28nm目標發起沖擊。

其中，高精度平板顯示掩膜版基地總投資20億元，分三期建設，主要生產8.6代及以下高精度FPD掩膜版，產品覆蓋a-Si（非晶硅）、LTPS（低溫多晶硅）、AMOLED（柔性有機發光顯示）等平板顯示領域，尤其針對AMOLED用高精度掩膜版需求，可填補國內空白，實現高端掩膜版國產化替代。

高端半導體掩膜版基地總投資15億元，專注180nm-28nm制程半導體掩膜版生產，有望打破境外領先廠商的壟斷格局，助力解決我國半導體產業鏈“卡脖子”問題。今年11月，清溢光電佛山高端半導體掩膜版生產基地引入佛山第一臺電子束光刻機，電子束光刻機是制造尖端半導體掩膜版的“王牌”設備，它的入駐正式開啟了佛山高端半導體用掩膜版的制造歷史。

“我們將堅守技術創新與質量領先，深化產學研協同，加速掩膜版國產化進程，助力關鍵電子材料自主可控。”清溢光電董事唐嘉盛表示，基地投產標志著清溢光電在掩膜版領域邁上新臺階，佛山基地將繼續聚焦高世代面板及先進制程半導體掩膜版研發制造，成為公司新的增長引擎。

清溢光電是國內成立最早、規模最大的掩膜版生產企業之一，公司產品曾多次打破國外壟斷、填補國內空白，在我國掩膜版產業中處于領軍地位。

在其佛山生產基地中，高精度掩膜版生產基地建設項目主要生產8.6代及以下高精度FPD掩膜版，應用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、MicroLED等平板顯示掩膜版產品，特別是應對AMOLED用高精度掩膜版的需求（含建設中的8.6代AMOLED），填補國內空白，實現高端掩膜版的國產化替代。項目建成投產后，可進一步提升高精度平板顯示掩膜版國產化程度及配套水平。

高端半導體掩膜版生產基地建設項目是建設建設28—180nm的高端半導體掩模板，該項目將提升產品技術和工藝水平，擴充生產規模，促進公司可持續發展。與此同時，該項目能夠實現更高節點的高端半導體掩膜版的開發及產業化，有望打破境外領先廠商的壟斷格局，提高在半導體產業鏈領域的技術安全及自主可控能力。

清溢光電總經理姜巍表示：“一定不負眾望，努力將項目打造成行業標桿，為佛山夯實經濟高質量發展底盤作出應有貢獻！”

點擊圖片可聯系我們了解報告詳情

馬女士 Ms. Ceres

TEL：（+86）137-7604-9049

Email：CeresMa@cinno.com.cn

CINNO 公眾號矩陣