昨天刷到央視拍的EXE:5200B光刻機,真家伙,180噸,四億美元一臺,要七架747才能運完。不是夸張,是實打實的鐵疙瘩,不是科幻片里的道具。它干的事也實在:把光線打在硅片上,誤差控制在0.5納米——相當于頭發絲直徑的二十萬分之一。
這機器不是剛造出來就滿世界賣的。英特爾搶著第一個用,臺積電反而拖著不用,三星砸了5000億韓元還只能靠ASML派人蹲點調試。為啥?因為這機器太嬌氣,開機三分鐘,調試三天,良率開頭只有六成,比老款低三十個點。不是誰技術差,是現在拼的早不是能不能做出來,而是能不能天天穩定開工。
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光源這塊,ASML用的是幾十米長的CO?激光器,中科院搞的是固態激光器,才五米,體積小了九成,效率目前3.42%,實驗室能跑,但還沒進產線。不是抄作業,是換條路走——繞開專利墻,自己搭新灶臺。
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臺積電財報里寫得明白:2025年研發預算漲了37%,悄悄摸著NA=0.7的路線走。三星一邊喊2nm量產,一邊連EXE:5200B都沒法全自主維護,還得靠ASML工程師駐廠。英特爾最急,不是為了快,是要讓蘋果和高通信它真能代工,不然客戶全跑光。
晶瑞電材的光刻膠,國產占比已經七成;金宏氣體的特種氣體,八成五不用進口;長春光機所磨的鏡片,過了ASML二級供應商認證——不是全替代,是關鍵環節不再卡死。
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AI芯片火了以后,大家發現,真正撐起市場的不是3nm手機芯,而是車規、工控、IoT這些7nm到28nm的“老制程”。2023年先進制程占全球產能31%,到2025年掉到22%。廠子不全往尖端擠了,有些事,慢一點反而更穩。
EXE:5200B還在運,還在裝,還在調。但它的影子,沒以前那么長了。
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