一氟甲烷(氟甲烷)可應用范圍較廣 高純電子級一氟甲烷在半導體工業中發展空間大
一氟甲烷,也直接稱作氟甲烷,別名甲基氟、HFC-41、R41,CAS號593-53-3,化學式CH3F,分子量34.03,無色氣體,有醚樣氣味,熔點-142℃,沸點-78.4℃,臨界溫度44.5℃,微溶于水,可溶于醇、醚等有機溶劑,易燃燒,受熱可分解釋放出有毒氟化氫氣體。
一氟甲烷的制備方法主要有:以氯甲烷為原料,在催化劑作用下,與氟化氫進行反應得到,該工藝反應選擇性較好、產品純度較高,但對催化劑、反應條件要求高;以甲醇為原料,在催化劑作用下,與氟化氫進行反應得到,該工藝原料易得、反應過程較為簡單,但會產生副產物。
![]()
根據新思界產業研究中心發布的《2026-2030年全球及中國一氟甲烷(氟甲烷)行業研究及十五五規劃分析報告》顯示,高純一氟甲烷可以用作電子氣體,在半導體工業中用于刻蝕工藝環節,作為刻蝕氣體使用,其可與硅、二氧化硅等半導體材料發生化學反應,去除未被光刻膠保護的材料,實現圖形轉移,具有刻蝕選擇性較好、刻蝕精度較高、刻蝕速率可調控等特點。一氟甲烷ODP值(臭氧消耗潛能值)為零,不會對臭氧層造成破壞,是一種綠色電子氣體。
一氟甲烷也可以應用在半導體清洗工藝中,其可與硅片表面殘留的雜質發生反應,生成可揮發或者可溶解物質,從而達到硅片表面雜質清洗目的。一氟甲烷還可以用于薄膜沉積工藝中用作氟源,用作有機合成中間體用來制備醫藥(例如麻醉劑)、農藥、制冷劑、高分子聚合物、其他精細化學品等。
一氟甲烷可應用范圍較為廣泛,特別是高純電子級一氟甲烷產品技術含量高、附加值高,能夠提高生產企業的核心競爭力與盈利能力。2024年8月1日,我國《關于嚴格控制氫氟碳化物化工生產建設項目的通知》(環辦大氣[2024]22號)執行,在附件2“受控氫氟碳化物名單”中,HFC-41(一氟甲烷)被列入。我國一氟甲烷行業進入壁壘正在提升。
![]()
新思界行業分析人士表示,現階段在我國市場中,一氟甲烷布局企業主要有福建德爾科技股份有限公司、泉州宇極新材料科技有限公司、金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學品有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、浙江博瑞電子科技有限公司等。例如,福建德爾科技股份有限公司可以提供純度99.999%的電子級一氟甲烷,泉州宇極新材料科技有限公司可以提供純度99.9%、99.99%的一氟甲烷產品。
2026-2030年全球及中國一氟甲烷(氟甲烷)行業研究及十五五規劃分析報告
報告來源:新思界
2行業發展現狀及“十五五”前景預測
2.1全球一氟甲烷(氟甲烷)行業規模及預測分析
2.1.1全球市場一氟甲烷(氟甲烷)總體規模( 2021-2030 )
2.1.2全球市場一氟甲烷(氟甲烷)產能、產量分析( 2021-2030 )
2.1.3中國市場一氟甲烷(氟甲烷)總體規模( 2021-2030 )
2.1.4中國市場一氟甲烷(氟甲烷)產能、產量分析( 2021-2030 )
2.1.5中國市場一氟甲烷(氟甲烷)總規模占全球比重( 2021-2030 )
2.2全球一氟甲烷(氟甲烷)區域需求格局
3一氟甲烷(氟甲烷)行業發展環境分析
3.1 中國一氟甲烷(氟甲烷)行業政策環境分析
3.1.1 行業主管部門及監管體制
3.1.2 行業相關政策動向
3.1.3 行業相關規劃
3.1.4 政策環境對一氟甲烷(氟甲烷)行業的影響
3.2 行業技術環境分析
3.2.1 行業技術現狀
3.2.2 行業國內外技術差距
3.2.3 行業技術發展趨勢
3.3 一氟甲烷(氟甲烷)行業經濟環境分析
3.3.1 全球宏觀經濟運行分析
3.3.2 國內宏觀經濟運行分析
3.3.3 行業貿易環境分析
3.3.4 經濟環境對一氟甲烷(氟甲烷)行業的影響
4行業競爭格局
4.1全球市場競爭格局分析
4.1.1全球市場主要企業一氟甲烷(氟甲烷)收入分析( 2021-2025)
4.1.2一氟甲烷(氟甲烷)行業集中度
4.1.3全球主要企業一氟甲烷(氟甲烷)類型及應用
4.1.4全球行業并購及投資情況分析
4.2中國市場競爭格局
4.2.1 現有企業間競爭
4.2.2 上游議價能力
4.2.3 下游議價能力
4.2.4 潛在進入者
4.2.5 替代者威脅
5一氟甲烷(氟甲烷)行業價格分析(2021-2025)
5.1 一氟甲烷(氟甲烷)產品價格變動情況(2021-2025)
5.2 一氟甲烷(氟甲烷)上游原材料市場情況
5.3 一氟甲烷(氟甲烷)行業成本分析
5.4 一氟甲烷(氟甲烷)產品價格未來走勢分析(2021-2030)
6不同產品類型一氟甲烷(氟甲烷)分析
6.1全球市場不同產品類型一氟甲烷(氟甲烷)總體規模
更多資料請參考新思界產業研究中心發布的《2026-2030年全球及中國一氟甲烷(氟甲烷)行業研究及十五五規劃分析報告》,同時新思界產業研究中心還提供,產業大數據、行業研究報告、行業地位證明、可行性研究報告、產業規劃、產業鏈招商圖譜、產業招商指引、產業鏈招商考察&推介會、“十五五”規劃等咨詢服務。
特別聲明:以上內容(如有圖片或視頻亦包括在內)為自媒體平臺“網易號”用戶上傳并發布,本平臺僅提供信息存儲服務。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.