突破技術“卡脖子”，北大系公司實現原子力顯微鏡探針量產，拿下千萬元融資｜硬氪首發

作者 | 喬鈺杰

編輯 | 袁斯來

硬氪獲悉，近日，專攻原子力顯微鏡（AFM）探針研發的探真納米科技（衢州）有限公司完成新一輪股權融資，獲得衢州綠石新材料股權投資合伙企業（有限合伙）與杭州德甫股權投資有限責任公司共計超千萬元的投資。我們總結了本輪融資信息和該公司幾大亮點：

融資金額及投資機構

融資輪次：Pre-A / A 輪

融資規模：千萬元

基金用途：將重點優化探針的批量化制備工藝，提升產品穩定性和良率。此外還將用于原子力顯微鏡（AFM）探針的全品類研發與新產線的布置。

公司基本信息

成立時間：2016年

注冊地址：浙江省衢州市

技術亮點：探真納米科技憑借其在微納加工領域多年的技術與工藝積累，通過基于干法刻蝕的創新微納加工工藝，實現了從晶圓起步的探針開發，在探針的曲率半徑、深寬比和使用壽命等關鍵指標上已部分處于國際領先水平。今年年初，公司自主研發的AFM探針產品已實現上市銷售。

小球探針（圖源/企業）

市場空間

原子力顯微鏡（AFM）是納米科技、材料科學，半導體工業以及生命科學等諸多領域不可或缺的高精度檢測儀器，在半導體制造中，AFM承擔著“質量把關”的角色，通過納米級別的探針對芯片進行精密掃描，判斷工藝是否達標。AFM探針作為原子力顯微鏡的核心消耗部件，使用頻率高且復購屬性強，但長期以來依賴進口，價格高昂且供應受限，在科研和產業應用中逐漸成為成本與供應鏈風險的來源。

TZ Edge系列邊緣探針（圖源/企業）

在半導體國產化和科研儀器自主可控背景下，AFM探針這一小體量、高附加值、高復購率的細分市場，正顯現出明確的國產替代空間，其國產化進程還將帶動相關配套產業鏈的發展。

團隊背景

公司創始人崔波教授，本科畢業于北京大學物理系，博士畢業于普林斯頓大學電子工程系，曾在加拿大滑鐵盧大學擔任教授多年，從事微納加工領域研究近三十年的時間，近十余年持續專注于AFM探針的研發與產業化工作。2024年，崔波教授加入寧波東方理工大學，其課題組與公司在技術方向上保持深度協同，除了形貌檢測探針之外，圍繞導電探針、快速定位探針、金剛石探針、球形探針以及磁性探針等各種AFM探針持續進行技術攻關。

創始人問答

硬氪：目前國內AFM 探針行業整體處于什么階段？您基于怎樣的產業環境決定回國創業？

崔波：目前國產原子力顯微鏡探針市場99%都是依賴進口的。國內有一些公司做改進型的探針，比如在通用探針基礎上增加功能，但從晶圓開始做探針的只有我們在做。

選擇回國創業，一方面是國內整體創業氛圍更為活躍，另一方面在融資、政策支持以及產業配套方面條件更加成熟。以金剛石探針為例，國內可以找到多家成熟的金剛石薄膜供應商，上下游配套更加完備。

硬氪：選擇干法刻蝕的微納加工工藝的核心優勢是什么？

崔波：干法刻蝕的核心優勢是更可控。濕法刻蝕探針的形狀是由硅的晶向決定的，不好調整，干法刻蝕可以根據不同的應用場景調整探針的尖銳度等關鍵參數。干法刻蝕的成本原本要更高，最近這二十年干法刻蝕技術發展得非常快，成本也有所下降，已經可以達到替代濕法刻蝕的水平了。

硬氪：目前的客戶群體是怎么樣的？客戶反饋如何？

崔波：目前我們的客戶以科研院所為主，同時也覆蓋部分半導體廠商。其中，集成電路制造相關的大型半導體廠商仍處于測試和驗證階段，在其他半導體領域，已實現一定規模的實際銷售。

整片晶圓（圖源/企業）

客戶選擇我們的主要原因在于性價比優勢。相比國際頭部品牌，我們的價格低30%—40%，但在深寬比、針尖曲率半徑和使用壽命等指標上，性能并不遜色，部分指標甚至更優。我們目前欠缺的就是穩定性，但使用測試掃描圖像已經沒問題了。

硬氪：AFM探針實現相當比例的國產替代的難點在哪？

崔波：目前最大的挑戰在于品牌建設。很多用戶測試階段認可國產產品的性能，但在實際采購時仍傾向于長期使用的國際品牌，例如Olympus、NanoWorld等，已經形成了使用慣性。

從技術角度看，我并不太擔心。我們今年年初才開始銷售，現在大多數問題已經解決了，還有一些次要問題，主要集中在良率和外觀一致性上，這些在未來半年內是可以逐步改善的。但品牌信任的建立，可能需要更長的時間。