一臺EUV光刻機報關價約一億美元,重量180噸,拆分后要十個集裝箱才能裝完,過去它只在鹿特丹港啟程,中國人站在碼頭上抬頭看船離岸
ASML公布的記錄顯示,EUV設備從誕生到現在全球累計發貨不足240臺,去年53臺,今年44臺,總量還抵不上國內常見的掃地機器人月產,卻成為光刻機與卡脖子并列搜索熱詞
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市場規模如此袖珍卻牽動百億資本,原因很直白,在三納米節點后,沒有EUV就沒有良率,沒有良率就沒有盈利,別說5G基站和AI訓練,連旗艦手機都得停擺
2018年,中芯國際拿出全年凈利潤1點2億美元,只換來ASML一紙訂單,機器卡在荷蘭海關,那一年,美國商務部給出的禁運文件厚度超過一厘米,北京中關村不少設計公司把PPT里的路線圖直接換頁
今年一季度,中國大陸光刻機招標數量首次破百,其中NA0點75級原型機兩臺,上市公司華海清科公告稱,自研KrF光刻機已交付29臺,對外報價3200萬至4000萬元人民幣,折算僅為EUV單價的3%,一句話,高端沒到手,國產先把中低端包圓
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有人疑惑,筆尖鋼和EUV能放一起講嗎,先看一張單子,太鋼集團筆尖鋼年產兩萬噸,全球市占45%,讓0點6毫米鋼絲的到岸價從每噸5萬元降到2萬元,中性筆芯批發價掉到3毛,寫字的人沒感覺,瑞士供應商直接關停兩條產線,這就是規模杠桿
再看另一組數字,中國每年消耗12億支中性筆,每年進口半導體設備金額卻高達400億美元,兩條曲線重疊時,國內設備企業的研發投入突然跳升,去年的研發費占比,北方華創17%,中微公司24%,芯源微28%,行業平均線不到10%,人被逼到墻角,預算就不再計較
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EUV之難不只在極紫外光波長13點5納米,還在于每臺動輒6000萬歐的CoStar光源,熒光陶瓷鏡片需要零瑕疵,極低缺陷率決定了成品率,ASML用1400家供應商拼成這臺怪獸,頂層整合加知識產權編織一張網,讓買家連螺絲都拆不開
上海微電子選擇的破局方法是,先把ArF浸沒式做到批量可交付,再用同一條供應鏈往后推,關鍵環節亮點頻出,如極紫外多層膜反應靶材,中科院上海光機所已經做到50對MoSi層的厚度偏差小于0點3埃,這是去年發布會上放大的那張TEM截面圖
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外界擔心ASML的100%壟斷,卻忽略了另一組對照,1990年之前,全球磁浮列車核心部件也被德國和日本獨占,中國企業花14年迭代,現在長三角運行的最高運營時速磁浮列車,核心系統自產率已超85%,光刻機和磁浮不屬于同一物理學,但屬于同一種供應鏈哲學,時間換空間,批量換成本,成本換話語權
芯片行業講良率,資本市場講回報率,國家戰略講安全系數,三個指標堆在一起,每一次加碼都在拉高閾值,也在拉平追趕曲線,當內循環訂單大到可以自我消化,海外封鎖會被稀釋,筆尖鋼已經給出測量尺
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今年一月,荷蘭議會公布對外技術出口許可清單,高數值孔徑EUV再度延遲,與此阿斯麥對外財報提到,新簽單里中國客戶比例降到15%,而國產設備訂單里,大陸晶圓廠占比沖到72%,兩條曲線一升一降,新的臨界點正被推近
對比當年圓珠筆筆芯材料要靠進口,今天中性筆整盒售價9點8元,對比中芯國際砸凈利潤換設備,今天國內設備一季度狂飆150臺,下一個被點名的高壁壘環節會是哪塊材料還是哪種工藝
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