中國媒體炮轟路透社：惡意拼湊信息來捧殺中國光刻機，暗示中國設備采用違規(guī)方法獲取技術

散英魂寄千萬雄鷹翱翔神州，

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導讀

路透社在12月17日刊登了一篇專欄報告，該報告指出中國科學家已經(jīng)在深圳的實驗室內(nèi)完成了EUV光刻機的原型機制造。并且該原型機由前ASML工程師參與其中，通過逆向工程的方法完成了EUV的整機制造，預計2030年有望實現(xiàn)用國產(chǎn)EUV制造原型芯片。

該內(nèi)容在國際層面引起了巨大轟動，同時也引起了中國媒體的聲討。

上海觀察者網(wǎng)認為，該報告動用了西方媒體慣用的伎倆：內(nèi)容并非完全虛假，但也不完全真實。西方媒體的手段是將一些信息拼湊性的連接在一起，從而主動引導你得出相關結論。所以，我們需要對路透社的專欄報告提起高度警覺，其警覺的地方并不在于該媒體說了什么，而是在于該媒體是怎么說的。

參考資料： 關心：如何看待路透社的“中國版曼哈頓工程”？ https://www.guancha.cn/Guanxin/2025_12_18_800825.shtml

02

信息拼湊

我們提取一些關鍵詞：中國國產(chǎn)EUV光刻機、前ASML工程師、逆向工程，然后我們對這些關鍵詞進行分析。

前ASML工程師這個信息是真實發(fā)生的事情，該工程師名叫林楠，2015年至2021年在荷蘭ASML研究部擔任研發(fā)科學家。2021年至2025年9月，林楠在上海光機所擔任激光科學與技術實驗室副主任。10月份，林楠離開上海光機所，在北京航空航天大學擔任集成電路科學與工程學院教授。

林楠博士曾經(jīng)與荷蘭半導體觀察者、《新鹿特丹商報》記者馬克·海金克一起接受了觀察者網(wǎng)旗下心智對話欄目的專訪。在訪談當中，主持人對二人發(fā)起提問：其他企業(yè)是否可以效仿ASML的成功經(jīng)驗，復制出一套全新的光刻機體系？

馬克·海金克對此表示即便你了解了光刻原理，并且擁有了制造圖紙、制造材料、所需零部件，你也很難將其制造出來，況且也沒有圖紙給你看。

你必須要保證每個零部件之間相互有效的整合運行，這涉及到大量的工程問題和技術經(jīng)驗。我們并不是說復制ASML光刻機這條路徑是完全不可能的，但你想要制造出水平不錯并且可以商用的設備，需要花費很長時間。

林楠博士也進行分析稱，對于技術人員來說，如果有選擇的情況下，技術人員不愿意再做重復的事情，但問題是在于你有沒有能選擇的條件。單純的技術復制并不是什么挑戰(zhàn)，很多時候是在浪費工程師的時間。前人已經(jīng)把很多事情都做了，你重復去做是沒有意義的。如果你想做，那就應該用不同的方式去做。

參考資料： 【心智對話】光刻之巔——ASML四十年成長史與全球芯片博弈 https://www.bilibili.com/video/BV1pFo5YbE7c/?vd_source=8b4a152679270e4b24efe65164683d1b

林楠博士的態(tài)度很明白，雖然跟隨國外的技術方向發(fā)展技術是一條清晰的路徑，但這種方法終歸是別人主導的。想要實現(xiàn)真正的技術跨越，必須要從基礎開始一點點積累經(jīng)驗，持續(xù)深入研究相關的產(chǎn)業(yè)技術，只有自己搞懂的整個流程，才能最大限度實現(xiàn)光刻機的自主可控。

林楠博士的說法，與路透社發(fā)布的專欄報告存在明顯出入。

下面我們來談談逆向工程的問題。

03

逆向工程

在半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展史上，確實發(fā)生過對光刻機進行逆向工程，然后制造出另一臺光刻機的例子，不過這個事情建立在特定的歷史條件下。

時間回溯到20世紀80年代，彼時的光刻機霸主是美國的GCA公司（地球物理公司），其次是美國的珀金埃爾默、日本的尼康、佳能再加上荷蘭的ASML。

此刻的ASML并沒有太大的名氣，也沒有什么拿得出手的產(chǎn)品，光刻機的產(chǎn)業(yè)競爭變成了美日兩國企業(yè)的競爭。

日本通產(chǎn)省牽頭，推出了超大規(guī)模集成電路計劃（VLSI）。尼康、佳能、東芝、電氣株式會社（NEC）均是該計劃的扶持企業(yè)。由于尼康本身就是傳統(tǒng)光學技術起家，所以直接承擔了日本光刻機的研發(fā)項目。

日本NEC是美國GCA公司的客戶之一，GCA的服務經(jīng)理肯·皮恩在這個時期接到了日本NEC的求助，NEC購買的光刻機出現(xiàn)宕機的情況，要求皮恩進行技術分析。皮恩帶領工程師來到了日本NEC公司，在進行技術修復的過程中，皮恩發(fā)現(xiàn)光刻機存在被私拆的痕跡。

皮恩私下調(diào)查發(fā)現(xiàn)，NEC公司允許尼康對購買來的美國光刻機進行拆解，但是尼康對其拆解之后重新組裝的過程中出現(xiàn)問題，導致光刻機宕機，這才求助于美國GCA。

1981年，尼康發(fā)布了NSR-1010G步進式光刻機。經(jīng)客戶反饋，該光刻機與美國GCA的光刻機在架構、晶圓臺、對準系統(tǒng)等多個技術領域一模一樣，整個產(chǎn)業(yè)都將尼康的NSR-1010G光刻機認定為美國光刻機的復制品，但是美國GCA管理層對此卻毫不在意。

甚至有美國客戶將尼康抄襲美國技術的文件發(fā)送給GCA，GCA也對此嗤之以鼻，并表示日本企業(yè)就算抄襲了美國技術，那么他們也只能學到皮毛，制造出來的產(chǎn)品根本比不過美國。尼康能賣出貨去，完全是因為日本政府要求企業(yè)支持國產(chǎn)設備，所以尼康的光刻機被內(nèi)部消化了。

但是隨著技術的發(fā)展，日本企業(yè)占據(jù)上風，ASML也憑借著PAS系列光刻機打開市場，美國的光刻機產(chǎn)業(yè)開始走下坡路。珀金埃爾默被財團收購放棄光刻機業(yè)務，GCA則是被硅谷集團收購。

2001年，ASML全資收購了美國硅谷集團，將美國光刻機產(chǎn)業(yè)納入麾下。

逆向工程對于早期的簡單設備來說是可行的方案，但是隨著產(chǎn)業(yè)發(fā)展，EUV光刻機進入高精度和自動化，其整機零件達到了幾十萬個，牽扯到全球5000多家頂級供應鏈，涉及到的軟件體系超過億行代碼。

最為重要的，還是來自于ASML的技術專利。ASML與蔡司統(tǒng)治了EUV光刻機超1500項以上的技術專利，這些專利成為了后來者難以逾越的城墻。

并且EUV光刻機覆蓋了光學、化學、電學、機械、材料、控制、軟件等多個基礎工程，機器制造完成只是個開始，其真正的難點是將設備市場化，然后保證穩(wěn)定性和高效率，從而源源不斷地制造芯片進行盈利。

由此可見，路透社的內(nèi)容在關鍵信息上面大部分是真實的，但是將這些內(nèi)容整合到一起，就形成了一種較為空心化的結論，存在過度解讀的情況。

對于一些經(jīng)常關注中國芯片產(chǎn)業(yè)的觀眾來說，路透社的內(nèi)容好像很有道理，但是對于整個中國芯片產(chǎn)業(yè)來說，路透社的內(nèi)容又存在多種不合理的說法。

尤其是路透社將逆向EUV這種方法強加給中國團隊，暗示中國團隊采用該技術制造國產(chǎn)光刻機，讓中國企業(yè)陷入一種被動的輿論境地。

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