12月9日
湖北興福電子材料股份有限公司發布公告
以4626.78萬元收購
湖北三峽實驗室重大科技成果
“光刻膠用光引發劑制備
專有技術及實驗設備所有權”
這項半導體領域“卡脖子”技術走向市場后
將打破該材料
長期被境外企業壟斷的局面
湖北三峽實驗室光引發劑項目研發負責人介紹,此次轉讓的成果G/I線光刻膠用光引發劑的關鍵技術,主要用于芯片和顯示領域。
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湖北三峽實驗室科研人員正在從事半導體光刻膠用光引發劑試驗。(通訊員 李陽 攝)
芯片制造需要幾百種設備和材料,其中光刻機和光刻膠是常被提起的“卡脖子”產品。而對光刻膠的感光度和分辨率起決定性作用的,就是光引發劑。“目前,在國產芯片和顯示領域,光刻膠用光引發劑幾乎全部依賴美日韓進口。”該負責人表示。
“這是一次市場需求倒逼的研發創新,企業出題,實驗室答題。”湖北三峽實驗室主任池汝安透露,微電子新材料是三峽實驗室的研究方向之一,近年來,許多半導體客戶表示,因光引發劑遭遇限購和斷供,國產光刻膠多次被“卡脖子”,給國內半導體產業鏈的生產帶來極大壓力。
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湖北三峽實驗室外景(資料圖片)
主攻芯片蝕刻電子級磷酸、電子級硫酸等產品的興福電子,希望切入光引發劑產業賽道,但從0到1的研發風險卻成了難題。“一旦研發失敗,巨大的投入和時間成本,將令企業難以承受。”興福電子總工程師賀兆波表示,企業想到了三峽實驗室。
興福電子提出研發需求意向后,三峽實驗室當即決定開展光引發劑關鍵技術的攻關。“面向產業需求做研發,本就是湖北實驗室的特色和使命。”池汝安說。
在歷經三年研發攻堅后,今年5月,上海一家光刻膠龍頭企業回復三峽實驗室:“送樣各項指標與國外進口廠商達到同一水平。”
隨后,中試樣品在多家光刻膠企業都通過了初輪驗證,相關技術終于具備產業化條件。
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光刻膠用光引發劑成果歷經三峽實驗室研發團隊三年攻堅(通訊員 李陽 攝)
池汝安介紹,該成果已進入產業化前期階段,投產后將成為湖北第一條光刻膠用光引發劑生產線,對我國光刻膠產業發展將起到積極作用。
來源丨湖北日報
編輯丨胡馨月
編審丨陳勇
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