外媒在分析全球光刻機專利的時候發現,中國研發EUV光刻機的時間遠超過西方的預估,早在2018年就已開始申請EUV光刻專利,凸顯出中國對芯片技術自主研發的執著和堅持,而那時候中國還在推進14納米的量產。
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促使中國關注EUV光刻技術,在于2018年中國一家芯片企業下單采購EUV光刻機遇阻,由此中國芯片行業開始認識到發展先進芯片技術恐怕不會那么容易,西方可能會在先進設備方面予以阻撓,只是沒想到西方這么多年過去放行EUV光刻機。
從2018年開始研發EUV光刻機至今已有7年時間了,這7年時間里中國諸多企業陸續提交了更多的專利申請,在技術上也不斷取得進展,諸如雙工作臺、激光對準技術等都陸續取得了突破。
只不過EUV光刻機的技術難度實在太高,而且光刻機本身就是一個龐大的產業鏈,DUV光刻機的零件高達10萬個,而EUV光刻機的零件更是高達45萬個之多,據悉EUV光刻機需要全球數十個國家的5000家企業配合才能完成,生產EUV光刻機的ASML僅是生產了其中15%的零件。
這就導致中國的光刻機產業鏈即使在部分技術方面取得突破,但是仍然有太多關鍵技術需要突破,真正將EUV光刻機生產出來恐怕仍然需要不短的時間。
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在光刻機技術方面繼續努力之余,中國也在基于現有的DUV光刻機開發先進工藝,普遍認為中國已在利用DUV光刻機生產7納米工藝,這是全球繼臺積電之后第二家利用DUV光刻機生產7納米工藝。
西方推測中國可能也在推進以DUV光刻機生產5納米工藝,而浸潤式光刻機之父林本堅認為中國以現有的DUV光刻機生產5納米的可行性是有的,只是5納米工藝大概率就是DUV光刻機的極限了,而且即使可以生產5納米,成本可能也遠超經濟成本。
除了基于現有的硅基芯片技術繼續推進之外,西方更擔憂的則是在先進的量子芯片、光子芯片技術方面,這些先進芯片技術,目前全球僅有中國和美國有能力推進并已取得了進展,如果這些先進芯片技術成功商用,普遍預計中國將與美國居于同一技術水平。
在量子芯片、光子芯片技術方面,中國則與美國一樣,從產業鏈到技術都完全自主化,因為這些先進技術全球都沒有先例,只能各自摸索,這些先進芯片技術將再無卡脖子之憂。
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從EUV光刻技術到量子芯片、光子芯片技術,可以看出中國作為全球大國向來是從來未雨綢繆,這恰恰是西方所擔憂的,也難以評估中國在先進芯片技術方面的進展,相比之下如今的美國在先進芯片技術已失去了銳氣,以至于美國最大的芯片企業Intel如今竟然傳出從臺積電竊取2納米技術,更讓人質疑在更先進的量子芯片、光子芯片等技術方面是否真的如預期般取得進展。
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