光刻機核心零部件供應商華卓精科重啟IPO

朱煜為華卓精科的控股股東、實際控制人，直接持有公司總股數的持股37.81%。

證監會網站今日披露，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）于 2026 年 2 月 12 日在北京證監局辦理輔導備案登記，擬首次公開發行股票并上市，輔導券商為招商證券。輔導備案文件顯示，華卓精科本次IPO預計于2026年4—5月輔導驗收。

這已不是華卓精科首次沖刺資本市場。輔導備案報告顯示，該公司曾于2020 年 6 月申報科創板 IPO 并獲受理，于 2021 年 9 月通過上市委審議。后基于整體市場環境及自身資本運作發展規劃，公司于2024 年 6 月主動撤回 IPO 申請。

股東方面，朱煜為華卓精科的控股股東、實際控制人，直接持有公司總股數的持股37.81%，通過直接持股、間接持股和一致行動協議控制公司 51.89% 的表決權。

前次申報的招股書顯示，朱煜為公司董事、核心技術人員、首席科學家，1965年1月出生，2001年畢業于中國礦業大學，博士學歷，機械設計及理論專業。1983-2004年朱煜任教于中國礦業大學，先后任講師、副教授；2001-2004年，于清華大學從事博士后工作；2004年10月至今任清華大學精儀系制造所/機械系機電所長聘教授，博導。

2007-2013年朱煜任北京七星華創電子股份有限公司獨立董事，2016-2019年任北方華創科技集團股份有限公司獨立董事；2012-2015年任華卓有限董事長兼總經理；2015-2015年任華卓精科董事長；2015年9月至今任華卓精科董事、首席科學家；截至2021年11月，朱煜兼任新冶精特董事、艾西科技執行事務合伙人、艾西博銳執行事務合伙人、沈陽芯源微電子設備股份有限公司獨立董事、中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司獨立董事、沈陽富創精密設備股份有限公司獨立董事。

朱煜曾擔任科技部重點領域創新團隊負責人及02專項技術副總師；曾先后獲得2015年國家專利優秀獎、2018年國家專利銀獎、2018年北京市科學技術獎一等獎等多項榮譽。

華卓精科成立于2012年5月，注冊地于北京。主營業務為以超精密測控技術為基礎，研究、開發以及生產超精密測控設備部件、超精密測控設備整機并提供相關技術開發服務。目前產品包括超精密運動平臺（光刻機雙工件臺）、激光退火設備、晶圓鍵合設備、晶圓傳輸系統、主被動隔振器、靜電卡盤、精密測量系統等整機設備及半導體關鍵零部件。其中，公司稱其光刻機雙工件臺技術打破國際壟斷，成為全球第二家（僅次于ASML）掌握該核心技術的企業。雙工件臺是光刻機的核心子系統之一，主要用于承載晶圓并完成高速高精度運動，以提高光刻機生產效率。該技術被視為光刻機三大核心技術之一，需在高速運動下實現納米級精度（如2nm運動精度），技術難度極高。

公開報道顯示，2026年2月4日，華卓精科自主研發的D2W芯粒混合鍵合裝備交付武漢客戶，新一代D2W芯粒混合鍵合裝備（UP-D2W-HB）是一款面向HBM制造、Chiplet異構集成等前沿應用的關鍵設備。此外，公司面向HBM芯片制造的核心環節，已自主研發出多款系列高端裝備，包括：混合鍵合裝備（UP-UMA HB300）、熔融鍵合裝備（UP-UMA FB300）、激光剝離裝備（UP-LLR-300）、激光退火裝備（UP-DLA-300）等。2025年3月29日，其自主研發的鍵合設備獲第四屆北京市人民政府質量管理獎。

2024年5月，公司聘請的會計師大華所因在金通靈財務造假案中未勤勉盡責，被江蘇證監局暫停從事證券服務業務6個月。最終，在“新國九條”嚴監管背景下，已經歷4年長跑、財務數據數次過期的華卓精科，最終選擇與保薦人一起撤回申請。

而導致其撤回的真正原因，是交易所對公司科創屬性、業務真實性和獨立性的質疑。

華卓精科激光退火裝備成功出貨第100臺

去年11月，華卓精科宣布第100臺激光退火裝備完成檢測、包裝，正式發往客戶現場。這標志著公司激光退火裝備研發、制造、銷售、交付和服務全鏈條能力均已獲得市場高度認可，成功邁入新的規模化應用階段。

華卓精科稱，從零到百的跨越，感謝客戶朋友的信任與支持。專業的溝通、精準的需求反饋、嚴苛的標準讓每一臺裝備在實戰中淬煉出硬實力。感恩供應商伙伴的同心同行，上下游共同堅守“追求卓越”初心，用穩定可靠的供應鏈，支撐裝備的生產與應用。

華卓精科激光退火裝備始終聚焦集成電路高端裝備制造領域先進工藝需求，依托深厚的技術積淀自主研發高精密激光光學系統與超高精度運動平臺；憑借豐富的先進制程工藝經驗，為客戶生產線連續、穩定運行提供了堅實保障；目前，該系列裝備已在多家客戶端順利通過驗證，憑借出色的綜合性能贏得客戶高度肯定，百臺訂單的獲取正是產品實力與市場信心的有力證明。

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