歐洲2nm中試線，正式啟用

Imec即將在魯汶園區(qū)啟動一座全新4000平方米潔凈室的建設(shè)。

Imec在其魯汶總部正式啟用擴(kuò)建的2000平方米潔凈室，這標(biāo)志著歐洲納米集成電路（NanoIC）中試線建設(shè)迎來關(guān)鍵里程碑。

歐洲委員會執(zhí)行副主席亨娜?維爾庫寧、比利時首相巴特?德韋弗、弗拉芒大區(qū)政府主席馬蒂亞斯?迪彭代爾、阿斯麥（ASML）首席執(zhí)行官傅恪禮出席本次活動。來自歐洲高科技產(chǎn)業(yè)生態(tài)的代表、NanoIC 中試線聯(lián)盟成員，以及歐盟、比利時和弗拉芒大區(qū)的政策制定者共同參與儀式。

Imec潔凈室總面積超 12000 平方米，對落實(shí)《歐洲芯片法案》、助力歐洲躋身下一代半導(dǎo)體創(chuàng)新與制造前沿具有關(guān)鍵作用。這一戰(zhàn)略布局，將有力夯實(shí)歐洲在人工智能時代的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，同時為歐洲未來數(shù)十年的持續(xù)經(jīng)濟(jì)增長、安全與繁榮提供保障。

Imec首席執(zhí)行官呂克?范登霍夫表示：“自2024年5月宣布Imec承接 NanoIC 中試線項(xiàng)目以來，我們?nèi)偻七M(jìn)工作，加快設(shè)備采購，并啟動全面招聘計(jì)劃。如今，我們在Imec園區(qū)內(nèi)正式落成2000平方米潔凈室擴(kuò)建工程，此前的各項(xiàng)努力至此結(jié)出碩果。這里將配備全球頂尖設(shè)備，其中包括阿斯麥下一代高數(shù)值孔徑極紫外光刻（High NA EUV）光刻機(jī)，預(yù)計(jì)將于3月中旬到位。”

他補(bǔ)充道：“Imec的研究人員與集成器件制造商（IDM）、晶圓代工廠、設(shè)備及材料供應(yīng)商、系統(tǒng)公司、初創(chuàng)企業(yè)、高校及歐洲其他研發(fā)技術(shù)組織并肩工作。我們共同踏上雄心勃勃的征程，推動半導(dǎo)體技術(shù)突破2納米及以下工藝節(jié)點(diǎn)。NanoIC中試線將開放前沿半導(dǎo)體技術(shù)使用權(quán)，在強(qiáng)化歐洲人工智能時代產(chǎn)業(yè)根基、保障歐洲未來數(shù)十年經(jīng)濟(jì)增長、安全與繁榮方面發(fā)揮核心作用。”

戰(zhàn)略意義與未來展望

在歐盟、比利時及弗拉芒大區(qū)政府的大力支持，以及產(chǎn)業(yè)伙伴的緊密協(xié)作網(wǎng)絡(luò)支撐下，Imec即將在魯汶園區(qū)啟動一座全新4000平方米潔凈室的建設(shè)，這將成為推動歐洲 NanoIC 項(xiàng)目全面提速的又一核心載體。

未來五年內(nèi)，NanoIC中試線將引入超百臺全新設(shè)備，部署于Imec及法國原子能和替代能源委員會電子與信息技術(shù)實(shí)驗(yàn)室（CEA-Leti）、德國弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會（Fraunhofer）、芬蘭國家技術(shù)研究中心（VTT）、羅馬尼亞 CSSNT-UPB、愛爾蘭廷德爾國家研究所等合作機(jī)構(gòu)。

弗拉芒大區(qū)政府主席馬蒂亞斯?迪彭代爾表示：“我們沒有條件成為規(guī)模最大、實(shí)力最強(qiáng)的地區(qū)，但我們有選擇做到最頂尖。Imec匯聚了人才、知識與國際合作力量。依托NanoIC中試線，歐洲正將這一選擇變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)：追求技術(shù)卓越，實(shí)現(xiàn)戰(zhàn)略自主。Imec承接這條中試線，彰顯了弗拉芒大區(qū)在科研與創(chuàng)新領(lǐng)域積淀的卓越優(yōu)勢。在這里，我們正展現(xiàn)一個世界級地區(qū)如何塑造未來芯片技術(shù)。”

歐洲半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)力邁出重要一步

阿斯麥總裁兼首席執(zhí)行官傅恪禮表示：“我們在強(qiáng)化歐洲芯片技術(shù)生態(tài)、服務(wù)全球芯片制造客戶方面邁出重要一步。通過與Imec長達(dá) 40 年的合作，我們共同加速創(chuàng)新、深化協(xié)作、培育本土人才，這些都是支撐全球芯片產(chǎn)業(yè)與人工智能發(fā)展的必要條件。

正式啟用的 NanoIC 中試線搭載了阿斯麥高數(shù)值孔徑極紫外光刻系統(tǒng)，這是全球技術(shù)領(lǐng)軍者攜手匯聚最新技術(shù)與人才所能創(chuàng)造成果的最佳范例。感謝歐盟委員會主席馮德萊恩及《歐洲芯片法案》的有力支持，我們深感自豪與欣慰 —— 這一項(xiàng)目落地歐洲腹地，將讓歐洲在全球半導(dǎo)體生態(tài)中扮演更為關(guān)鍵的角色。”

NanoIC中試線的設(shè)備采購與運(yùn)營資金，由歐洲芯片聯(lián)合企業(yè)通過歐盟 “數(shù)字歐洲” 計(jì)劃（項(xiàng)目編號：101183266）與 “地平線歐洲” 計(jì)劃（項(xiàng)目編號：101183277），以及比利時（弗拉芒大區(qū)）、法國、德國、芬蘭、愛爾蘭、羅馬尼亞等參與國共同出資。

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