盤中漲超323%！廣東沖出一個半導體IPO，市值264億

芯東西（公眾號：aichip001）
作者 ZeR0
編輯 漠影

芯東西1月28日報道，剛剛，廣東深圳半導體設備核心零部件供應商恒運昌在科創板敲鐘上市。

恒運昌發行價為92.18元/股，發行市盈率為48.39倍，開盤價為310元/股，漲幅達236%。截至9點50分，其股價最高上漲323%至390元/股，市值為264億元。

恒運昌成立于2013年3月，是國產等離子體射頻電源系統行業龍頭企業、國內極少數實現半導體級等離子體射頻電源系統量產的企業，獲評國家專精特新重點“小巨人”企業。

等離子體射頻電源系統是半導體設備零部件國產化最難環節之一，直接決定設備工藝能力、產品良率，國產化率極低。

歷經十年，恒運昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產品系列等離子體射頻電源系統，打破了美系兩大巨頭MKS和AE在國內長達數十年的壟斷格局。

根據弗若斯特沙利文統計，2024年，中國大陸半導體領域等離子體射頻電源系統的國產化率不足12%，恒運昌在國產等離子體射頻電源系統廠商中的市場份額位列第一。

恒運昌是首家出貨過億元和首家實現等離子體射頻電源系統（支持半導體先進制程）量產的國產廠商，產品系列已交付拓荊科技、中微公司、北方華創、微導納米等國內頭部半導體設備商，并配套中芯國際、長江存儲等國內晶圓廠。

其量產產品已達國際龍頭企業的次新一代同等技術水平，可支持7-14nm制程。

國產薄膜沉積設備龍頭拓荊科技不僅是恒運昌的第一大客戶，也是其第七大股東，直接持股3.09%，同時拓荊科技全資子公司上海巖泉持股0.33%。

本次IPO，恒運昌募資總額為15.61億元，募資凈額為14.14億元，擬用于沈陽半導體射頻電源系統產業化建設等項目。

一、年收入超5億元，產品可支撐7-14nm先進制程

恒運昌主要從事等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發、生產、銷售及技術服務，并引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。

等離子體工藝廣泛應用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等芯片制造的重要環節，并隨著先進封裝技術的發展應用于更多工藝環節中。

恒運昌聚焦于等離子體射頻電源系統的技術攻關，在2021年向中芯國際交付Bestda等離子體射頻電源，實現了國內首顆刻蝕設備用射頻電源的原位替換。

其自主研發的第二代產品Bestda系列可支撐28nm制程，第三代產品Aspen系列可支撐7-14nm先進制程，達到國際先進水平，填補國內空白。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運昌營收分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元、3.04億元，凈利潤分別為0.26億元、0.80億元、1.42億元、0.69億元，研發費用分別為0.22億元、0.37億元、0.55億元、0.43億元。

▲2022年~2025年1-6月恒運昌營收、凈利潤、研發支出變化（芯東西制圖）

自研產品占恒運昌整體收入的比例逐年增長，2025年上半年達到84.81%。

報告期各期，恒運昌三代等離子體射頻電源和匹配器銷售收入占比情況如下：

同期，該公司主營業務毛利率為41.49%、45.86%、48.51%、49.01%，與MKS較為接近。

截至2025年6月末，恒運昌在手訂單金額為1.07億元，較2024年末下滑22.13%。

二、已量產交付國內頭部半導體設備商，24款自研產品實現千萬級收入

截至2025年6月30日，恒運昌共有研發人員158名，占全部員工比例為42.13%。截至報告期末，該公司擁有已授權發明專利108項，在申請發明專利133項。

其核心技術包括：1）從測量、控制、架構三方面構建的底層通用的3大基石技術；2）基于3項基石技術，結合半導體設備中的應用，特別是先進制程中更快速、更精準、更穩定的應用訴求和實現難點，發展出8大產品化支撐技術。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運昌產能超負荷運行，產能利用率分別達到121.34%、102.12%、111.24%、106.35%。

其產品已量產交付拓荊科技、中微公司、北方華創、微導納米、盛美上海等國內頭部半導體設備商，并配套中芯國際、長江存儲等國內晶圓廠，成為薄膜沉積、刻蝕環節國內頭部設備商的戰略級供應商。

截至2025年6月30日，恒運昌與上述客戶已實現百萬級收入的自研產品共38款，實現千萬級收入的自研產品共24款。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，前五大客戶產生的收入占恒運昌主營業務收入的比例分別為73.54%、80.39%、90.62%、89.37%，其中向第一大客戶拓荊科技的銷售收入占比分別為45.23%、58.16%、63.13%、62.06%，客戶集中度較高。

報告期內，該公司已穩定批量供應拓荊科技PECVD設備，是拓荊科技2024年度第一大等離子體射頻電源系統供應商、前十大零部件供應商。

恒運昌在2024年對中微公司、北方華創、微導納米已實現收入4288.56萬元、2813.65萬元、2306.19萬元，相比2023年分別翻7倍、25倍、3倍，同比大幅增長。

除已定型并批量供應的產品外，目前恒運昌正在為中微公司、微導納米、北方華創、盛美上海的多種機型開發多款等離子體射頻電源及匹配器，并且為中芯國際等晶圓廠開發多款原位替換等離子體射頻電源及匹配器。

2025年1-6月，該公司進一步拓展新客戶，實現對屹唐股份、思銳智能、無錫邑文等細分領域頭部客戶的銷售收入突破。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運昌前五名供應商采購金額占比分別為64.13%、60.18%、58.33%、60.01%。

三、拓荊科技是第七大股東，多位核心技術人員曾在AE任職

截至招股書簽署日，恒運昌的法定代表人、實際控制人、董事長、總經理樂衛平合計控制恒運昌72.8727%的股份表決權。

其控股股東為恒運昌投資，第七大股東是拓荊科技，拓荊科技全資子公司上海巖泉也持有恒運昌0.33%的股份。

樂衛平出生于1973年，曾任職于湖南省桃源縣郵電局電信設備廠、 AE（深圳）、AE（上海），是恒運昌的核心技術人員之一。

其他多位核心技術人員均有AE任職背景，例如，研發總監林偉群曾任AE（深圳）高級工程師、AE（上海）深圳分公司高級工程師，職工董事、軟件研發經理姚志毅曾任AE（深圳）工程師、AE（上海）深圳分公司工程師。

恒運昌現任董事俞日明是樂衛平配偶的妹夫。

2024年，恒運昌董事、監事、高級管理人員與核心技術人員從該公司領取薪酬的情況如下：

結語：填補國產化空白，推動核心零部件自給自足

當前，國產等離子體射頻電源系統與MKS、AE等國際企業仍有一定差距，產品尚未進入國際半導體市場，主要用于國產半導體設備商。

作為國內極少數實現量產半導體級等離子體射頻電源系統的企業，恒運昌填補了國產等離子體射頻電源系統在高端半導體設備上應用的空白，為半導體設備核心零部件的國產化和自給自足、擺脫海外供應鏈依賴做出重要貢獻。