01 產業鏈全景圖
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02 HBM介紹
存儲芯片是半導體打造的電子記憶倉庫,核心作用就是存放數據和程序。半導體存儲市場的賽道上,DRAM 和 NAND Flash 是當之無愧的雙巨頭。前者占據約 55.9% 的市場份額,后者拿下大概 44.0% 的份額,兩者聯手,幾乎壟斷了整個存儲市場。
DRAM 是存儲界的一個大家族,HBM 只是這個家族里 GDDR 分支下的一員。整個家族主要分成四大類:傳統型 DRAM(Legacy/SDR)、DDR、LPDDR 和 GDDR。其中 DDR 和 LPDDR 是家族里的頂梁柱,兩者合計占據了 90% 左右的市場份額,是目前應用最廣的成員。
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HBM(高帶寬存儲器)是存儲界的立體高速倉庫,它采用 3D 堆疊工藝打造,把多塊 DRAM 芯片像摞書一樣垂直堆疊,再通過 2.5D/3D 先進封裝技術直接與 GPU 芯片封裝在一起,相當于把倉庫建在工廠旁邊,大幅縮短數據傳輸距離,最終形成大容量、高位寬的 DDR 組合陣列,實現遠超傳統存儲的高帶寬與高能效。
作為新一代 CPU/GPU 的核心內存芯片,它專門服務于超級計算機、網絡交換及轉發設備這類需要巨量高速數據吞吐的場景。
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核心優勢
HBM 技術相較于傳統內存技術,憑借串行接口與優化信號傳輸、3D 堆疊、垂直堆疊結合 TSV 技術等手段,具備高帶寬、高容量、低功耗和小尺寸四大優勢。
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03 上游產業鏈--制造
制造工藝是 HBM 產業的核心壁壘,其成熟度直接決定產品上限。
從產業鏈結構來看,HBM 產業的上游環節對應著建造倉庫所需的基礎物料與專業設備:電鍍液、前驅體、IC 載板等半導體原材料;TSV 設備、檢測設備等半導體設備供應商,則是提供高精度塔吊與專業質檢儀器的核心角色。
03-1、關鍵設備及材料
HBM 的生產閉環中 TSV 工藝、鍍銅、TCB 熱壓鍵合、晶圓切割、CMP 及拋光液等核心工藝與材料,相當于手表的機芯、齒輪等關鍵部件,目前主要由歐美、日本企業掌控;
國內企業中,華海清科在 CMP 工藝、鼎龍股份在 CMP 拋光液領域已實現突破,相當于在手表表鏡打磨、專用拋光劑這類環節站穩了腳跟,但在TSV 刻蝕、TCB 熱壓鍵合等更核心的 “機芯制造” 環節及相關材料上仍有明顯差距,整體國產化率仍處于較低水平。
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03-2、關鍵參與公司--盛美上海
公司自主開發了面向 28nm 及以下先進制程的芯片前道銅互聯鍍銅技術 Ultra ECP map,以及三維電鍍設備 Ultra ECD 3d。其多陽極局部電鍍技術,能在極薄的底層金屬膜上實現無空隙的銅填充,且最終銅層厚度均勻,適配各類鍍銅工藝需求。
在三維堆疊電鍍設備領域,公司推出的 Ultra ECP 3d 設備,專為填充 3D 硅通孔(TSV)和 2.5D 轉接板設計。
TSV 就像芯片之間的垂直高速電梯,該設備基于盛美半導體電鍍設備平臺,能為高寬比超過 10:1 的深孔銅填充提供高性能、無孔洞的鍍銅效果,保障 “電梯通道” 的順暢連接。
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03-3、關鍵參與公司--華海清科
公司提供一套完整的芯片制造 “工具箱”,包含打磨、減薄、清洗等設備及配套服務,在 HBM 生產中可覆蓋減薄、鍵合等關鍵環節,提供一體化工藝設備支持。
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04 中游產業鏈--核心工藝
04-1、HBM行業規模
高性能計算(HPC)硬件市場就像一條高速擴張的超級算力賽道,機構預測 2025-2035 年將保持 13.6% 的年化增長率,最終市場規模突破 5810 億美元。
這條賽道上,95% 的 HPC 設備都需要搭載 HBM 技術作為核心性能支撐,相當于給超級算力裝上專屬動力引擎,預計到 2035 年,HBM 的單位銷售額將較 2024 年實現 15 倍的爆發式增長。
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04-2、HBM行業格局
全球 HBM 供給市場被三星、海力士、美光三家海外巨頭牢牢壟斷,相當于高端存儲領域的 “三分天下” 格局,2024-2025 年這一格局仍將延續,國產產品的市場份額幾乎為零。
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根據 Trendforce 數據,2024 年三家的 TSV 月產能分別為 12 萬片、12 萬片、2.5 萬片,對應市場占比 45%、45%、10%;2025 年產能占比將調整為 47%、41%、12%。
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04-3、TSV(硅通孔)環節
TSV 工序是 HBM 制造環節里的核心技術難關,相當于給立體堆疊的芯片打通垂直數據高速通道,涉及光刻、涂膠、刻蝕等一系列精密操作,也是整條產業鏈中價值量最高的環節。
其本質是一種垂直互聯方案,就像在多層堆疊的芯片 “高樓” 里打通垂直電梯井,再在井內填充導電性良好的金屬作為 “電梯軌道”,從而讓信號在各層芯片之間直接高速傳輸,無需繞路。
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成本拆分
假設 HBM 毛利率維持在 50% 左右,2024 年 HBM 全生產環節的市場空間達 92 億美元。
按照 3D InCites 的數據,以 4 層 DRAM 存儲芯片加 1 層邏輯芯片的堆疊方案為例,在 99.5% 的封裝良率下,TSV 生產、TSV 顯露、晶圓凸點、TC-NCF 法組裝的成本占比分別為 18%、12%、3%、15%。
其中 TSV 相關環節(含創建與顯露)的成本占比合計達到 30%,對應市場規模約 27.6 億美元,這一環節的工藝水平直接決定了 HBM 產品的最終良率。
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TSV國內供應商(設備)
TSV工藝的國產化鏈條已初步形成,覆蓋了從刻蝕、薄膜沉積、電鍍、拋光等關鍵設備,到電鍍液、拋光液、前驅體等核心材料。
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04-4、晶圓微凸點技術
晶圓微凸點是先進封裝領域的微型橋梁,核心作用是承擔芯片間的電信號傳輸與機械支撐功能,幾乎所有先進封裝方案都離不開這項基礎技術,而凸點制備就是搭建這些 “微型橋梁” 的核心工序。
凸點制備有蒸發濺射法、電鍍法、化學鍍法等多種技術路線,相當于搭建橋梁的不同施工方案。HBM 選擇電鍍法作為專屬技術路徑,其 DRAM 芯片之間的互連,依靠的正是電鍍工藝制成的銅柱微凸點,通過這些微小的導電 “橋墩”,實現芯片層間的穩定連接。
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04-5、國內現狀
國內已經掌握 HBM 生產所需的 TSV、bumping、堆疊等先進封裝工藝,以武漢新芯的晶圓級三維集成技術為例,其核心原理就是在垂直方向上堆疊載片或功能晶圓,再通過 TSV、混合鍵合等工藝,為不同芯片層搭建起直接的電氣互連通道,這項技術已經覆蓋了 HBM 生產的三大核心工藝。
但國內目前缺乏 HBM 商業化量產的實戰經驗,像工匠掌握了所有工序卻沒有大規模造器的實操積累。量產良率的高低,恰恰取決于對晶圓級先進封裝工藝的熟練駕馭程度,國內 HBM 產業化落地,還需要積累大量的實際生產經驗。
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05 下游產業鏈--應用場景
AI 服務器是 HBM 最大需求端,占比 70%,是 AI 大模型的 “數據高速通道”,貢獻主要增量;HPC 作為傳統核心場景,95% 設備依賴 HBM 支撐超算任務。自動駕駛是未來藍海,以 75% 高增速領跑。
2024 年 HBM 市場約 170 億美元,后續呈爆發式增長,需求核心由 AI、超算、汽車電子三大領域驅動。
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