剛剛，廣東半導(dǎo)體“小巨人”過會(huì)！背靠設(shè)備大廠，擬募資14.69億

24款自研產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)千萬級(jí)收入。

作者 |ZeR0

漠影

芯東西11月14日?qǐng)?bào)道，剛剛，廣東深圳半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件供應(yīng)商恒運(yùn)昌通過上市委會(huì)議審議，向科創(chuàng)板IPO又邁出關(guān)鍵一步。

恒運(yùn)昌成立于2013年3月，是國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)龍頭企業(yè)、國(guó)內(nèi)極少數(shù)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體級(jí)等離子體射頻電源系統(tǒng)量產(chǎn)的企業(yè)，獲評(píng)國(guó)家專精特新重點(diǎn)“小巨人”企業(yè)。

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化最難環(huán)節(jié)之一，是半導(dǎo)體制程工藝中薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠及鍵合等工藝控制的關(guān)鍵，直接決定設(shè)備工藝能力、產(chǎn)品良率。

根據(jù)弗若斯特沙利文統(tǒng)計(jì)，2024年，中國(guó)大陸半導(dǎo)體領(lǐng)域等離子體射頻電源系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化率不足12%，恒運(yùn)昌在國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)廠商中的市場(chǎng)份額位列第一

歷經(jīng)十年，恒運(yùn)昌先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列等離子體射頻電源系統(tǒng)，成功打破了美系兩大巨頭MKS和AE在國(guó)內(nèi)長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的壟斷格局。其量產(chǎn)產(chǎn)品已達(dá)國(guó)際龍頭企業(yè)的次新一代同等技術(shù)水平，可以支持7-14nm制程。

在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域，恒運(yùn)昌是首家出貨過億元首家實(shí)現(xiàn)等離子體射頻電源系統(tǒng)（支持半導(dǎo)體先進(jìn)制程）量產(chǎn)的國(guó)產(chǎn)廠商。

其產(chǎn)品系列不斷通過拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米等國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備頭部廠商的驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)批量交付，并配套中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)晶圓廠。

該公司最近一次市場(chǎng)化融資完成于2023年12月，投后估值為32.92億元

值得一提的是，國(guó)產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備龍頭拓荊科技不僅是恒運(yùn)昌的第一大客戶，也是其第七大股東，直接持股3.09%，同時(shí)拓荊科技全資子公司上海巖泉持股0.33%。

本次IPO，恒運(yùn)昌擬使用募資投入金額14.69億元，投資于沈陽(yáng)半導(dǎo)體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目、半導(dǎo)體與真空裝備核心零部件智能生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)基地項(xiàng)目、研發(fā)與前沿技術(shù)創(chuàng)新中心項(xiàng)目、營(yíng)銷及技術(shù)支持中心項(xiàng)目及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

01.

產(chǎn)品可支撐7-14nm先進(jìn)制程，

達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化最難關(guān)卡之一，技術(shù)壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期長(zhǎng)、生產(chǎn)的“精確復(fù)制”要求極高，國(guó)產(chǎn)化率極低。

恒運(yùn)昌主要從事等離子體射頻電源系統(tǒng)、等離子體激發(fā)裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，并引進(jìn)真空獲得和流體控制等相關(guān)的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。

如果把芯片制造比喻成版畫藝術(shù)品的高科技復(fù)刻，那么產(chǎn)生及控制等離子體的等離子體射頻電源系統(tǒng)就是這場(chǎng)高科技復(fù)刻的“指揮家”。

等離子體射頻電源系統(tǒng)通過精確控制電流頻率和功率，指揮著半導(dǎo)體制造過程中的等離子體變化，確保在晶圓表面精確、均勻地沉積出薄膜層、精細(xì)地刻蝕出復(fù)雜圖形和去除光刻膠等。

由于具有獨(dú)特的光、熱、電物理特性以及高活性、高能量的特點(diǎn)，等離子體為半導(dǎo)體精密制造提供了不可替代的工藝基礎(chǔ)。

如今等離子體工藝廣泛應(yīng)用于薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等芯片制造的重要環(huán)節(jié)，并隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展應(yīng)用于更多工藝環(huán)節(jié)中。

恒運(yùn)昌聚焦于等離子體射頻電源系統(tǒng)的技術(shù)攻關(guān)，在2021年向中芯國(guó)際交付Bestda等離子體射頻電源，實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)首顆刻蝕設(shè)備用射頻電源的原位替換；2022年，其Aspen系列等離子體射頻電源和Basalt系列匹配器在中芯國(guó)際晶圓產(chǎn)線上替代了CVD（化學(xué)氣相沉積）工藝設(shè)備中的海外等離子體射頻電源及匹配器產(chǎn)品。

2023年，其最新一代Aspen系列等離子體射頻電源和Basalt系列匹配器已經(jīng)隨拓荊科技新一代P系列薄膜沉積設(shè)備、中微公司新一代N系列刻蝕設(shè)備交付國(guó)內(nèi)頭部晶圓廠，目前已進(jìn)入晶圓生產(chǎn)的正式驗(yàn)證。

恒運(yùn)昌自主研發(fā)的第二代產(chǎn)品Bestda系列可支撐28nm制程，第三代產(chǎn)品Aspen系列可支撐7-14nm先進(jìn)制程，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。

其核心技術(shù)包括兩方面：1）從測(cè)量、控制、架構(gòu)三方面構(gòu)建的底層通用的3大基石技術(shù)；2）基于3項(xiàng)基石技術(shù)，結(jié)合半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用，特別是先進(jìn)制程中更快速、更精準(zhǔn)、更穩(wěn)定的應(yīng)用訴求和實(shí)現(xiàn)難點(diǎn)，發(fā)展出8大產(chǎn)品化支撐技術(shù)。

截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌共有研發(fā)人員158名，占全部員工比例為42.13%。截至報(bào)告期末，該公司擁有已授權(quán)發(fā)明專利108項(xiàng)，在申請(qǐng)發(fā)明專利133項(xiàng)。

02.

去年收入為5.41億元，

凈利潤(rùn)達(dá)1.42億元

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運(yùn)昌營(yíng)收分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元、3.04億元，凈利潤(rùn)分別為0.26億元、0.80億元、1.42億元、0.69億元，研發(fā)費(fèi)用分別為0.22億元、0.37億元、0.55億元、0.43億元。

▲2022年~2025年1-6月恒運(yùn)昌營(yíng)收、凈利潤(rùn)、研發(fā)支出變化（芯東西制圖）

根據(jù)招股書，其2025年1-6月收入較上年同期上升而凈利潤(rùn)下降，主要因?yàn)樵?025年上半年加大研發(fā)投入。

自研產(chǎn)品占恒運(yùn)昌整體收入的比例逐年增長(zhǎng)，2025年上半年達(dá)到84.81%。

報(bào)告期各期，恒運(yùn)昌三代等離子體射頻電源和匹配器銷售收入占比情況如下：

同期，該公司主營(yíng)業(yè)務(wù)毛利率為41.49%、45.86%、48.51%、49.01%，與MKS較為接近。

截至2025年6月末，恒運(yùn)昌在手訂單金額為1.07億元，較2024年末下滑22.13%。

03.

已量產(chǎn)交付國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商，

24款自研產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)千萬級(jí)收入

報(bào)告期內(nèi)，恒運(yùn)昌產(chǎn)能已于最近三年及一期超負(fù)荷運(yùn)行，產(chǎn)能利用率分別達(dá)到121.34%、102.12%、111.24%、106.35%。

其產(chǎn)品已量產(chǎn)交付拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米、盛美上海等國(guó)內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商，并配套中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)晶圓廠，成為薄膜沉積、刻蝕環(huán)節(jié)國(guó)內(nèi)頭部設(shè)備商的戰(zhàn)略級(jí)供應(yīng)商。

截至2025年6月30日，恒運(yùn)昌與上述客戶已實(shí)現(xiàn)百萬級(jí)收入的自研產(chǎn)品共38款，實(shí)現(xiàn)千萬級(jí)收入的自研產(chǎn)品共24款

等離子體射頻電源系統(tǒng)作為半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件，需要得到設(shè)備商及晶圓廠的雙重認(rèn)證，設(shè)備定型通過晶圓廠驗(yàn)證后，不再輕易更換供應(yīng)商；同時(shí)，半導(dǎo)體設(shè)備商為保證核心零部件的安全供應(yīng)，選擇與頭部等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商長(zhǎng)期合作。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，前五大客戶產(chǎn)生的收入占恒運(yùn)昌主營(yíng)業(yè)務(wù)收入的比例分別為73.54%、80.39%、90.62%、89.37%，其中向第一大客戶拓荊科技的銷售收入占比分別為45.23%、58.16%、63.13%、62.06%，客戶集中度較高。

恒運(yùn)昌自2018年開始與國(guó)產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備龍頭拓荊科技開展多款PECVD設(shè)備所需等離子體射頻電源系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化開發(fā)及驗(yàn)證工作，2020年獲得批量訂單，供貨規(guī)模逐步起量。報(bào)告期內(nèi)，該公司已穩(wěn)定批量供應(yīng)拓荊科技PECVD設(shè)備，是拓荊科技2024年度第一大等離子體射頻電源系統(tǒng)供應(yīng)商、前十大零部件供應(yīng)商。

其2024 年對(duì)中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米已實(shí)現(xiàn)收入4288.56萬元、2813.65萬元、2306.19萬元，相比2023年分別翻7倍、25倍、3倍，同比大幅增長(zhǎng)。

除已定型并批量供應(yīng)的產(chǎn)品外，目前恒運(yùn)昌正在為中微公司、微導(dǎo)納米、北方華創(chuàng)、盛美上海的多種機(jī)型開發(fā)多款等離子體射頻電源及匹配器，并且為中芯國(guó)際等晶圓廠開發(fā)多款原位替換等離子體射頻電源及匹配器。

2025年1-6月，該公司進(jìn)一步拓展新客戶，實(shí)現(xiàn)對(duì)屹唐股份、思銳智能、無錫邑文等細(xì)分領(lǐng)域頭部客戶的銷售收入突破，客戶結(jié)構(gòu)持續(xù)多元化。

2022年、2023年、2024年、2025年1-6月，恒運(yùn)昌前五名供應(yīng)商采購(gòu)金額占比分別為64.13%、60.18%、58.33%、60.01%。其引進(jìn)日本供應(yīng)商S的真空泵產(chǎn)品，為下游客戶提供半導(dǎo)體及其他工業(yè)真空裝備的核心零部件整體解決方案，因此各期采購(gòu)金額較高。

04.

拓荊科技是第七大股東，

多位核心技術(shù)人員有AE背景

恒運(yùn)昌的注冊(cè)資本為5077萬元，法定代表人、實(shí)際控制人是其董事長(zhǎng)、總經(jīng)理樂衛(wèi)平，控股股東為深圳市恒運(yùn)昌投資有限公司，擁有3家全資子公司，無參股公司。

拓荊科技是其第七大股東，直接持股3.09%。拓荊科技全資子公司上海巖泉持有恒運(yùn)昌0.33%的股份。

本次發(fā)行前，樂衛(wèi)平直接持有恒運(yùn)昌23.0866%的股份表決權(quán)，并通過恒運(yùn)昌投資、投資中心、投資發(fā)展中心分別間接控制恒運(yùn)昌25.8179%、20.7787%、3.1895%的股份表決權(quán)，合計(jì)控制恒運(yùn)昌72.8727%的股份表決權(quán)。

樂衛(wèi)平出生于1973年，曾任職于湖南省桃源縣郵電局電信設(shè)備廠、 AE（深圳）、AE（上海），是恒運(yùn)昌的核心技術(shù)人員之一。

其他多位核心技術(shù)人員均有AE任職背景，例如，研發(fā)總監(jiān)林偉群曾任AE（深圳）高級(jí)工程師、AE（上海）深圳分公司高級(jí)工程師，職工董事、軟件研發(fā)經(jīng)理姚志毅曾任AE（深圳）工程師、AE（上海）深圳分公司工程師。

恒運(yùn)昌現(xiàn)任董事俞日明是樂衛(wèi)平配偶的妹夫。除上述情形外，截至招股書簽署日，恒運(yùn)昌現(xiàn)任董事、原監(jiān)事、高級(jí)管理人員及其他核心人員之間不存在親屬關(guān)系。

2024年，恒運(yùn)昌董事、監(jiān)事、高級(jí)管理人員與核心技術(shù)人員從該公司領(lǐng)取薪酬的情況如下：

05.

結(jié)語(yǔ)：等離子體射頻電源系統(tǒng)

國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行

等離子體射頻電源系統(tǒng)作為薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠和鍵合環(huán)節(jié)生產(chǎn)設(shè)備的核心零部件，是半導(dǎo)體制造中等離子體工藝控制的核心。受近年來的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈“卡脖子”的影響，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件的國(guó)產(chǎn)化和自給自足勢(shì)在必行。

當(dāng)前，國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)與MKS、AE等國(guó)際企業(yè)仍有一定差距，產(chǎn)品尚未進(jìn)入國(guó)際半導(dǎo)體市場(chǎng)，主要用于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商。

作為國(guó)內(nèi)極少數(shù)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)半導(dǎo)體級(jí)等離子體射頻電源系統(tǒng)的企業(yè)，恒運(yùn)昌填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)在高端半導(dǎo)體設(shè)備上應(yīng)用的空白，產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)向國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備廠商批量交付，并批量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)新建晶圓廠中，對(duì)進(jìn)口機(jī)臺(tái)的等離子體射頻電源原位替換或維修保障了國(guó)內(nèi)晶圓產(chǎn)線的可持續(xù)生產(chǎn)，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擺脫海外供應(yīng)鏈依賴、解決“卡脖子”問題做出了貢獻(xiàn)。