光刻機(jī)沒造出來？美國自己也做不到全自產(chǎn)，那到底卡在哪。

朱士堯那句話火了，不是因?yàn)樗R誰，而是很多人聽岔了。2024年9月在上海一個(gè)普通訪談里，他說“美國造不出，中國永遠(yuǎn)不可能”，結(jié)果被轉(zhuǎn)發(fā)成“中國光刻機(jī)沒希望”。其實(shí)他后面緊跟著解釋：ASML自己都做不到100%國產(chǎn)，靠的是一千多家全球供應(yīng)商。這話不是泄氣，是說清楚一件事——光刻機(jī)不是擰幾個(gè)螺絲就能造出來的機(jī)器，它是一張網(wǎng)，一張扯動(dòng)全世界精密制造的網(wǎng)。

這玩意重180噸，零件超過十萬件。鏡頭要平到什么程度？北京到上海的距離，誤差不能超過一毫米。蔡司的鏡片、美國的光源、日本的膠、瑞士的真空泵……少一樣都不行。當(dāng)年美國搞EUV項(xiàng)目，拉上英特爾、摩托羅拉一起干，十年砸了上億美金，最后還是靠和歐洲合作才慢慢跑通。不是技術(shù)不行，是信任鏈沒法一夜建成。

國內(nèi)這邊沒硬剛整機(jī)，而是分兩步走。DUV這條線，是實(shí)打?qū)嵟艹鰜砹恕?024年上海微電子90納米光刻機(jī)量產(chǎn)，2025年中芯國際開始用國產(chǎn)28納米浸沒式設(shè)備做車規(guī)芯片。光學(xué)系統(tǒng)、工件臺(tái)、控制軟件，國產(chǎn)率超八成，良率到90%以上。去年全國買的DUV設(shè)備里，三分之一是國產(chǎn)的，用在電源管理、傳感器、LED驅(qū)動(dòng)這些不靠最尖端制程但量大的地方。

EUV沒喊口號(hào)，也沒說今年交付明年商用。哈工大做的13.5納米光源，2025年通過了能量穩(wěn)定性測(cè)試，體積比ASML的小四成；長春光機(jī)所的反射鏡鍍膜，2026年初反射率干到72%；福晶科技的激光晶體，已經(jīng)進(jìn)了國際供應(yīng)鏈名單。光刻膠也在往前趕，28納米節(jié)點(diǎn)良率過了90%，不是實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)，是產(chǎn)線實(shí)測(cè)。國家專項(xiàng)資金1500億美元，六成多投向材料純度、算法、微納加工這些“看不見”的環(huán)節(jié)。

有人總以為“自主”就是全部自己造。其實(shí)不是。就像汽車?yán)镉貌┦赖腅SP，但整車標(biāo)準(zhǔn)、裝機(jī)流程、故障響應(yīng)全由自己定，這就叫可控。上海微電子設(shè)備現(xiàn)在占國內(nèi)先進(jìn)封裝光刻機(jī)市場(chǎng)八成以上，Chiplet需要的高精度對(duì)準(zhǔn)，國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)扛得起來。2026年，中國第一次牽頭寫光刻膠純度檢測(cè)的ISO標(biāo)準(zhǔn)方法，不是抄別人，是把國產(chǎn)產(chǎn)線的經(jīng)驗(yàn)變成規(guī)則。

ASML的High-NA EUV推遲了，原定2025年交貨，現(xiàn)在看要拖到2026下半年。荷蘭出口管制加碼，他們?cè)谥袊袌?chǎng)的份額，預(yù)計(jì)今年會(huì)掉到20%。不是客戶不想買，是買不到；買不到，就只能轉(zhuǎn)頭用國產(chǎn)DUV+先進(jìn)封裝組合方案。全球83%的功率半導(dǎo)體，本來也不需要5納米以下工藝。

朱士堯那句話，真正在提醒的，是我們常把“能造”等同于“能穩(wěn)造”。造出一臺(tái)能亮燈的樣機(jī)容易，造出每天24小時(shí)不停、連續(xù)跑三個(gè)月不出錯(cuò)、換人操作也不翻車的設(shè)備，才最難。這背后是材料批次的一致性，是軟件和硬件咬合的精度，是一百個(gè)工程師對(duì)同一個(gè)誤差值的共同理解。

中芯國際的28納米產(chǎn)線用上了國產(chǎn)設(shè)備，不是宣傳圖，是實(shí)打?qū)嵙髌?。上海微電子的廠房里，新一批雙工件臺(tái)正在做壽命測(cè)試，標(biāo)稱20萬次往復(fù)，現(xiàn)在跑了17萬次，抖動(dòng)值還在允許范圍內(nèi)。國產(chǎn)光刻膠供應(yīng)商最近換了三條產(chǎn)線，不是為了擴(kuò)產(chǎn)，是為了把金屬雜質(zhì)從0.1ppb再壓一壓。

這些事沒上熱搜，新聞里也不常提。但它們就發(fā)生在你刷短視頻的那幾分鐘里，發(fā)生在南方一座工業(yè)園的無塵車間里，發(fā)生在東北實(shí)驗(yàn)室凌晨三點(diǎn)的示波器屏幕上。

光刻機(jī)這事，從來不是賭一把贏不贏，而是每天多擰緊一顆螺絲，多校準(zhǔn)一次參數(shù)，多記下一條異常曲線。

它不靠奇跡?？康氖菦]停過的流水線，和沒關(guān)過的電腦。