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據中國地震臺網測定,12月27日23時05分,在臺灣宜蘭縣海域(北緯24.67度,東經122.06度)發生里氏6.6級地震,震源深度60公里。
根據中國臺灣氣象署發布的報告顯示,此次地震規模為里氏7.0地震,震源深度72.8公里,震中位于宜蘭縣政府東方32.3公里,最大震度為4級。各地最大震度為宜蘭、新北、花蓮、臺北、基隆、桃園、新竹縣市、臺中、南投、苗栗、云林、臺東、嘉義時、臺南4級,屏東3級、馬祖、澎湖、高雄2級、金門1級。
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臺灣電力公司臺電表示,本次地震不影響各水火力及核電廠運作,配電系統部分,地震造成宜蘭東澳變電所跳脫,影響周邊3465戶停電,已于12月27日23時15分全數復電。
晶圓代工大廠臺積電回應表示,“公司少數竹科廠區達疏散標準,我們以人員安全為第一優先,依緊急應變程序進行人員室外疏散與清點中,各廠區工作安全系統運作正常。”要知道在2024年4月的臺灣大地震當中,臺積電生產受損,損失達到了9240萬美元。
另一家晶圓代工廠聯電則指出,經過廠區各單位初步盤點,目前所有在崗人員與廠區內的同仁皆確認人員安全。地震發生時,各部門皆依指引就地避難或進行疏散,并無傳出任何受傷情事,將持續關注后續情形。
此外,從事邏輯與存儲晶圓代工服務的力積電則于12月28日對外表示,力積電竹科與竹南的8英寸和12英寸晶圓廠產線均受地震影響,主要為石英相關設備與材料,相關損害仍在評估與盤點,受損細節尚未完全明朗。目前影響范圍涵蓋產線設備與關鍵材料,待盤點結果出爐后,才能更精準量化對財務與產能的沖擊。
資料顯示,石英爐管是半導體制造過程中,位于擴散制程機臺核心的圓柱形容器,能提供相對純凈的空間,確保硅晶圓在加工過程中不被金屬離子污染。由于石英“硬而脆”的特性,地震時的劇烈晃動容易導致爐管與機臺框架發生碰撞而破碎。
力積電指出,此次地震的嚴重程度僅次于1999年9月21日大地震和2024年4月3日地震,排在第3。從過往經驗看,規模較小的地震后約2至3天,產線可恢復正常運作,但此次需視石英爐管備料與實際損壞狀況而定。
力積電表示,石英爐管屬關鍵流程環節,修復與更換所需時間較長,其他機臺將盡快復歸,但整體復原時程取決于石英爐管材料供應與安裝恢復。雖然去年4月3日地震后已增加石英材料庫存,仍需評估可用性與匹配度,若有破碎需更換,將延長裝機與校準的時間,進而影響后續晶圓交期。
存儲芯片大廠南亞科技則表示,內部仍在針對地震災損進行完整詳細的確認,還需要多一些時間。
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