光刻機(jī),絕對是最牽動網(wǎng)友們心的半導(dǎo)體設(shè)備了。
原因是國產(chǎn)光刻機(jī),離全球頂尖水平差太遠(yuǎn)了,應(yīng)該有10年的差距,這個應(yīng)該是差不多的,甚至差距會更大。
更重要的是,美國卡住高端光刻機(jī),比如EUV光刻機(jī),高端的浸潤式DUV光刻機(jī),不準(zhǔn)ASML賣給中國,免得中國芯片制造產(chǎn)業(yè)追上來。
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而沒有EUV,幾乎就無法進(jìn)入7nm以下,雖然很多人說,使用浸潤式DUV也可行,但我們也沒有高端的浸潤式DUV,按照ASML的說法,賣給我們的,是落后8代的,相當(dāng)于2013年的水平,你說用這種浸潤式DUV,能行么,就算行,良率會高么?
所以研發(fā)出自己的EUV,是大家共同的心愿。
所以最近有媒體報道稱,日本DNP(日本印刷株式會社)宣布研發(fā)出了線寬10nm的NIL納米壓印機(jī)時,網(wǎng)友們很郁悶。
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因為很多人說,線寬10nm的NIL納米壓印機(jī),可以制造1.4nm的芯片,這個比ASML現(xiàn)在的EUV還先進(jìn)了。
所以很多人稱,我們要學(xué)習(xí)日本,為何它們能夠彎道超車,不采用EUV技術(shù),制造出1.4nm的光刻機(jī),我們?yōu)楹尾恍校覀円部梢匀パ芯縉IL技術(shù)。
但說實話,我們真不能去學(xué)日本,搞NIL,當(dāng)然也不是不能搞,而不是將寶押在NIL技術(shù)上,還是得去搞EUV。
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為何這么說?
NIL的技術(shù),相當(dāng)蓋章,先雕刻一個芯片線路圖的章子,然后再將這個章子蓋到制造芯片的硅晶圓上,圖案就留了下來,這就是NIL的原理。
這種方式效率非常低,一臺NIL連一臺EUV光刻機(jī)的百分之一的效率都沒有。幾乎就無法用于大規(guī)模的芯片制造。
其次,雕刻這個章子的大小精細(xì)程度,需要與芯片線路圖是1:1的,難度大,門檻高,復(fù)雜一點芯片,不可能雕出來,并且多層電路時,需要雕多個章子,面臨著對準(zhǔn)的大問題,同時一個這樣的章子,蓋50次就得報廢,要重新雕,所以速度也慢。
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所以說,這種NIL技術(shù),只能用于簡單的,線路圖非常簡潔的芯片,復(fù)雜的邏輯芯片就別想了,同時還不能大規(guī)模用來制造芯片,只能是小批量的,試驗性的制造一些,這也是為何佳能早就有了NIL,但沒人買單的原因。
所以,我們還真不能學(xué)日本,可以去嘗試,但不是說有了這個NIL,就放棄EUV了,EUV才是大規(guī)模制造復(fù)雜的邏輯芯片必不可少的,NIL是替代不了的。
事實上,目前國內(nèi)在NIL上也有突破的,之前璞璘科技就官宣了首臺PL-SR系列噴墨步進(jìn)式納米壓印設(shè)備,已經(jīng)交付給客戶了,這臺NIL設(shè)備,線寬<10nm ,且是量產(chǎn)的設(shè)備了,這個線寬也小于10nm,為何沒人吹呢,反而日本的設(shè)備被國內(nèi)網(wǎng)友吹上了,唉,真是的。
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