光刻機(jī)分前道和后道兩種,前道用于芯片制造,后道用于芯片封測(cè)。前道光刻機(jī)技術(shù)門(mén)檻更高,目前全球只有四家能造:荷蘭ASML、中國(guó)上海微電子、日本尼康、佳能。
技術(shù)上,ASML是絕對(duì)的老大,獨(dú)占EUV光刻機(jī),這是最頂尖的。尼康排第二,能造浸潤(rùn)式DUV(ArFi);上海微電子和佳能差不多,還在ArF、KrF這些更基礎(chǔ)的檔位上。
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銷(xiāo)量數(shù)據(jù)更有意思。按2024年市場(chǎng)統(tǒng)計(jì),ASML在EUV市場(chǎng)占100%,ArFi市場(chǎng)占96.99%,ArF市場(chǎng)占80%,幾乎壟斷了超高端和高端市場(chǎng)。尼康在ArFi有3%的份額,ArF有20%;佳能主要在更落后的KrF、i線光刻機(jī)上有點(diǎn)銷(xiāo)量,i線甚至占最高份額。
但奇怪的是,上海微電子在這份數(shù)據(jù)里“消失”了——一臺(tái)都沒(méi)統(tǒng)計(jì)進(jìn)去。有人猜是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)銷(xiāo)量為零,也有人覺(jué)得根本沒(méi)統(tǒng)計(jì)。其實(shí)都不是。
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真實(shí)原因有三:第一,上海微電子不是上市公司,沒(méi)義務(wù)公開(kāi)數(shù)據(jù);第二,中國(guó)光刻機(jī)的研發(fā)、銷(xiāo)量、進(jìn)展屬于保密信息,不會(huì)主動(dòng)披露;第三,機(jī)構(gòu)根本拿不到數(shù)據(jù),只能跳過(guò)不統(tǒng)計(jì)。所以市面上看不到上海微電子的數(shù)據(jù),不是零,是“沒(méi)數(shù)據(jù)”。
但國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)真沒(méi)進(jìn)展嗎?當(dāng)然不是。之前曝光過(guò)上海微電子的氟化氬光刻機(jī),分辨率≤65nm,套刻≤8nm,這明顯是前道光刻機(jī),屬于實(shí)打?qū)嵉耐黄啤V劣谫u(mài)出去多少臺(tái)、賣(mài)給誰(shuí)、誰(shuí)在用,都是機(jī)密,自然統(tǒng)計(jì)不到。
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最近還有外媒傳,中國(guó)光刻機(jī)可能已經(jīng)達(dá)到ArFi(浸潤(rùn)式)水準(zhǔn)。真假未知,但可以確定的是,銷(xiāo)量絕對(duì)不是零。而且從技術(shù)趨勢(shì)看,未來(lái)突破到EUV也不是沒(méi)可能——畢竟ASML當(dāng)年也是從基礎(chǔ)檔位一步步爬上來(lái)的。
所以,別被“銷(xiāo)量為零”的說(shuō)法忽悠了。國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)確實(shí)在突破,只是數(shù)據(jù)不公開(kāi)而已。ASML一家獨(dú)大的局面短期內(nèi)不會(huì)變,但中國(guó)企業(yè)的追趕腳步也沒(méi)停過(guò)。技術(shù)突破需要時(shí)間,銷(xiāo)量數(shù)據(jù)“消失”不代表沒(méi)進(jìn)展,只是保密的需要。
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總的來(lái)說(shuō),光刻機(jī)市場(chǎng)現(xiàn)在還是ASML、尼康、佳能三家主導(dǎo),但上海微電子的突破正在悄悄積累。未來(lái)誰(shuí)能在高端市場(chǎng)分一杯羹?答案可能比想象中來(lái)得更快。
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