國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)突破不斷，銷(xiāo)量數(shù)據(jù)為何是“0”？

光刻機(jī)分前道和后道兩種，前道用于芯片制造，后道用于芯片封測(cè)。前道光刻機(jī)技術(shù)門(mén)檻更高，目前全球只有四家能造：荷蘭ASML、中國(guó)上海微電子、日本尼康、佳能。

技術(shù)上，ASML是絕對(duì)的老大，獨(dú)占EUV光刻機(jī)，這是最頂尖的。尼康排第二，能造浸潤(rùn)式DUV（ArFi）；上海微電子和佳能差不多，還在ArF、KrF這些更基礎(chǔ)的檔位上。

銷(xiāo)量數(shù)據(jù)更有意思。按2024年市場(chǎng)統(tǒng)計(jì)，ASML在EUV市場(chǎng)占100%，ArFi市場(chǎng)占96.99%，ArF市場(chǎng)占80%，幾乎壟斷了超高端和高端市場(chǎng)。尼康在ArFi有3%的份額，ArF有20%；佳能主要在更落后的KrF、i線光刻機(jī)上有點(diǎn)銷(xiāo)量，i線甚至占最高份額。

但奇怪的是，上海微電子在這份數(shù)據(jù)里“消失”了——一臺(tái)都沒(méi)統(tǒng)計(jì)進(jìn)去。有人猜是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)銷(xiāo)量為零，也有人覺(jué)得根本沒(méi)統(tǒng)計(jì)。其實(shí)都不是。

真實(shí)原因有三：第一，上海微電子不是上市公司，沒(méi)義務(wù)公開(kāi)數(shù)據(jù)；第二，中國(guó)光刻機(jī)的研發(fā)、銷(xiāo)量、進(jìn)展屬于保密信息，不會(huì)主動(dòng)披露；第三，機(jī)構(gòu)根本拿不到數(shù)據(jù)，只能跳過(guò)不統(tǒng)計(jì)。所以市面上看不到上海微電子的數(shù)據(jù)，不是零，是“沒(méi)數(shù)據(jù)”。

但國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)真沒(méi)進(jìn)展嗎？當(dāng)然不是。之前曝光過(guò)上海微電子的氟化氬光刻機(jī)，分辨率≤65nm，套刻≤8nm，這明顯是前道光刻機(jī)，屬于實(shí)打?qū)嵉耐黄啤Ｖ劣谫u(mài)出去多少臺(tái)、賣(mài)給誰(shuí)、誰(shuí)在用，都是機(jī)密，自然統(tǒng)計(jì)不到。

最近還有外媒傳，中國(guó)光刻機(jī)可能已經(jīng)達(dá)到ArFi（浸潤(rùn)式）水準(zhǔn)。真假未知，但可以確定的是，銷(xiāo)量絕對(duì)不是零。而且從技術(shù)趨勢(shì)看，未來(lái)突破到EUV也不是沒(méi)可能——畢竟ASML當(dāng)年也是從基礎(chǔ)檔位一步步爬上來(lái)的。

所以，別被“銷(xiāo)量為零”的說(shuō)法忽悠了。國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)確實(shí)在突破，只是數(shù)據(jù)不公開(kāi)而已。ASML一家獨(dú)大的局面短期內(nèi)不會(huì)變，但中國(guó)企業(yè)的追趕腳步也沒(méi)停過(guò)。技術(shù)突破需要時(shí)間，銷(xiāo)量數(shù)據(jù)“消失”不代表沒(méi)進(jìn)展，只是保密的需要。

總的來(lái)說(shuō)，光刻機(jī)市場(chǎng)現(xiàn)在還是ASML、尼康、佳能三家主導(dǎo)，但上海微電子的突破正在悄悄積累。未來(lái)誰(shuí)能在高端市場(chǎng)分一杯羹？答案可能比想象中來(lái)得更快。