![]()
來(lái)源:EETOP
日本印刷株式會(huì)社(DNP)近日宣布,成功開(kāi)發(fā)出電路線寬為10納米的NIL納米壓印技術(shù),可用于相當(dāng)于1.4納米等級(jí)的邏輯半導(dǎo)體電路圖形化。公司表示,該產(chǎn)品針對(duì)智能手機(jī)、數(shù)據(jù)中心、NAND Flash等應(yīng)用場(chǎng)景中先進(jìn)邏輯芯片的微型化需求,目前已啟動(dòng)客戶評(píng)估工作,計(jì)劃于2027年開(kāi)始量產(chǎn)。 DNP同時(shí)提出,力爭(zhēng)在2030財(cái)年將納米壓印相關(guān)業(yè)務(wù)的營(yíng)收提升40億日元(約1.8億元人民幣)。
DNP 指出,隨著終端設(shè)備性能持續(xù)提升,市場(chǎng)對(duì)更先進(jìn)制程邏輯半導(dǎo)體的需求不斷擴(kuò)大,推動(dòng)采用極紫外(EUV)曝光生產(chǎn)技術(shù)的演進(jìn)。 但EUV在生產(chǎn)線建設(shè)和曝光過(guò)程中需要龐大金額的投資,并且有高耗能與環(huán)境負(fù)荷的問(wèn)題。 因此,自2003年起,DNP開(kāi)始持續(xù)研發(fā)納米壓印技術(shù),通過(guò)將電路圖形直接壓印到基板材料上,為制造商在部分制程技術(shù)環(huán)節(jié)上降低曝光能耗、優(yōu)化成本結(jié)構(gòu)提供了新的技術(shù)路徑。
此次推出的10納米線寬NIL納米壓印技術(shù),可在部分圖形化環(huán)節(jié)上替代EUV光刻,為尚未導(dǎo)入EUV光刻設(shè)備生產(chǎn)線的半導(dǎo)體制造商提供先進(jìn)邏輯工藝的另一個(gè)選項(xiàng)。 DNP表示,通過(guò)向客戶供應(yīng)納米壓印技術(shù),有望在保持圖形精度和線寬控制的前提下,擴(kuò)大先進(jìn)制程圖形化的制程選擇空間,協(xié)助客戶在制造成本和環(huán)境負(fù)荷之間取得平衡。公司認(rèn)為,隨著邏輯組件持續(xù)向更精細(xì)線寬演進(jìn),奈米壓印制程在部分節(jié)點(diǎn)可能具備一定經(jīng)濟(jì)性優(yōu)勢(shì)。
![]()
納米印刻光刻工藝流程
而在具體工藝技術(shù)上,DNP導(dǎo)入自對(duì)準(zhǔn)雙重成像(SADP)技術(shù),對(duì)曝光形成的圖形進(jìn)行薄膜沉積和蝕刻,使圖形密度達(dá)成翻倍,在此基礎(chǔ)上完成10納米線寬的納米壓印技術(shù)。 公司稱(chēng),本次研發(fā)不僅利用了其在光罩制造領(lǐng)域長(zhǎng)期積累的高精度圖形化能力,還結(jié)合了晶圓制造制程技術(shù),進(jìn)一步在產(chǎn)品精度、穩(wěn)定性與可量產(chǎn)性方面滿足先進(jìn)邏輯半導(dǎo)體的要求。 根據(jù)公司推測(cè),采用納米壓印的超精細(xì)半導(dǎo)體制程技術(shù),可將曝光環(huán)節(jié)的能源消耗降至當(dāng)前主流制程的大約1/10。
在產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)方面,DNP已與半導(dǎo)體制造商開(kāi)展溝通,并啟動(dòng)新型NIL納米壓印技術(shù)的評(píng)估工作。 公司計(jì)劃在完成客戶驗(yàn)證、建立量產(chǎn)工藝和供應(yīng)體系后,于2027年開(kāi)啟量產(chǎn)供貨,以應(yīng)對(duì)邏輯半導(dǎo)體微縮帶來(lái)的市場(chǎng)需求。 DNP表示,將持續(xù)推動(dòng)納米壓印技術(shù)升級(jí)和產(chǎn)能擴(kuò)充,以匹配未來(lái)市場(chǎng)放量節(jié)奏,將相關(guān)業(yè)務(wù)培育為公司半導(dǎo)體板塊的重要增長(zhǎng)關(guān)鍵點(diǎn)。
此外,DNP還計(jì)劃在2025年12月17日至19日于東京國(guó)際展覽中心舉辦的SEMICON Japan 2025上,展出這款10納米線寬NIL納米壓印技術(shù)。 公司認(rèn)為,通過(guò)在專(zhuān)業(yè)展會(huì)集中展示產(chǎn)品與技術(shù)路線,可加深與全球半導(dǎo)體制造企業(yè)及設(shè)備廠商的交流,推動(dòng)納米壓印技術(shù)在先進(jìn)邏輯制程中的應(yīng)用發(fā)展。 后續(xù)該技術(shù)在量產(chǎn)良率、生產(chǎn)節(jié)拍以及與既有制程技術(shù)整合方面的表現(xiàn),將成為市場(chǎng)持續(xù)關(guān)注的重點(diǎn)。
閱讀最新前沿科技趨勢(shì)報(bào)告,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)歐米伽研究所的“未來(lái)知識(shí)庫(kù)”
https://wx.zsxq.com/group/454854145828
![]()
未來(lái)知識(shí)庫(kù)是“ 歐米伽 未來(lái)研究所”建立的在線知識(shí)庫(kù)平臺(tái),收藏的資料范圍包括人工智能、腦科學(xué)、互聯(lián)網(wǎng)、超級(jí)智能,數(shù)智大腦、能源、軍事、經(jīng)濟(jì)、人類(lèi)風(fēng)險(xiǎn)等等領(lǐng)域的前沿進(jìn)展與未來(lái)趨勢(shì)。目前擁有超過(guò)8000篇重要資料。每周更新不少于100篇世界范圍最新研究資料。 歡迎掃描二維碼或訪問(wèn)https://wx.zsxq.com/group/454854145828進(jìn)入。
特別聲明:以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺(tái)“網(wǎng)易號(hào)”用戶上傳并發(fā)布,本平臺(tái)僅提供信息存儲(chǔ)服務(wù)。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.