日媒驚嘆：中國或有望成荷蘭和日本后第三個獨立制造光刻機的國家

技術壁壘難逾越

光刻機在芯片行業里就是個大寶貝，基本決定了能造出多先進的芯片。全球市場基本上被荷蘭的ASML給壟斷了，尤其是那種極紫外線EUV的設備，只有他們一家能大規模生產，用來做7納米以下的精細活。其他國家想搞高端芯片生產，離不開這個。

深紫外線DUV領域，ASML的市場份額也高得嚇人，ArFi和ArF類型分別占了差不多97%和80%。這設備不是一家之力就能成的，它集成了美國的光源技術、德國的精密鏡片、日本的化學材料啥的，簡直是個國際大雜燴。

早幾年，日本在光刻膠上掌控了全球90%的市場，那地位穩得很。2022年，日本一家光刻膠企業的老總埃里克約翰遜在采訪里頭直言，中國人就算拿到化學成分的論文，也造不出EUV能力。

因為核心東西太難突破了，光源得體積小功率高還穩定，美國公司Cymer掌握著成熟技術；反射鏡得高精度高光滑，德國廠商才能達到標準；再加上復合材料、光刻膠、高純度化學品，多半是日本專利。那個時候，大家都覺得中國芯片產業最大的短板就是這個，半導體皇冠上的明珠，離中國挺遠的。

其實，中國從2020年起就在幫ASML組裝光刻機，出貨量占全球20%，這不光是打工，還在里頭學了不少東西。工廠里頭研究著這些設備的運行原理，逐步積累經驗。本土企業也沒閑著，從基礎的深紫外線DUV入手，避免一上來就硬碰最難的EUV。

比方說，傳統光刻機路線從i-line到KrF、干式ArF，再到浸沒式ArFi，然后才輪到EUV。中國去年曝光的氟化氬光刻機，193nm波長，套刻精度8nm以內，屬于DUV范疇，差距是有的，但也在一步步縮小。

自主突破在路上

日本媒體《日經亞洲》今年7月的一篇文章里，說中國很可能成為繼荷蘭和日本后，全球第三個能自己造全套光刻機的國家。這判斷不是空穴來風，基于中國最近在關鍵技術上的實打實進展。上海微電子在浸沒式光刻機上頭下功夫，不斷攻關，還有初創企業在專用設備上突破，中國正打造從成熟芯片到特色工藝的技術鏈，在全球變化中找機會。

以前總拿中國光刻機和ASML的高端EUV比，覺得沒那個才不算厲害，但這忽略了實際發展。多條路線并行，才是中國策略。首先傳統路線，上海微電子做了ArF光刻機，接下來浸沒式DUV，然后EUV，步步為營。

2025年12月，上海芯上微裝科技交付了AST6200型350nm步進光刻機，雖然制程不是最先進，但參數正好對上第三代半導體需求，解決行業痛點。這設備套刻精度正面80nm、背面500nm，能兼容碳化硅、氮化鎵等材料，對5G基站、新能源汽車電控系統、Micro LED顯示屏芯片夠用，國產化率83%，核心零部件基本中國造。

EUV是最難的，但中國在光源上頭有動靜，哈工大產線試運行，支撐原型測試。納米壓印和電子束多路線并行。納米壓印過去日本佳能領先，線寬14nm，對應5nm制程。但今年璞璘科技的PL-SR系列噴墨步進式設備交付，線寬<10nm，用于存儲芯片、硅基微顯、硅光、先進封裝，已量產，不是紙上談兵。

電子束路線，浙江大學團隊推出國產商業電子束光刻機“羲之”，精度0.6nm，線寬8nm，用電子束刻電路，已有成品，進入應用測試。這些分散突破，其實是組合拳，互相支撐中國半導體突圍。隨著制程接近物理極限，先進封裝成延續摩爾定律的關鍵，通過2.5D/3D堆疊、異構集成，解決不少問題。

臺灣資深芯片專家說，中國在先進封裝領先，突破EUV時機成熟。產業鏈齊全，門類不錯，萬事俱備，只欠東風。成熟制程芯片占全球需求70%，中國從低端往高端走，2025年進口高，但國產加速。像SSA600用在90nm線上。日媒報道不嚴謹，日本荷蘭也依賴美國技術，光刻機是人類大工程，未來趨勢看，或只有中國能一國完成獨立研發。

未來前景可期盼

中國光刻機全產業鏈在建，多年努力見效。光刻膠領域，A股20多家企業，高純度化學品進展大，將來氮化鎵第二代芯片出來，原材料在中國手里，趨勢有利。

2025年第三季度，中國自產EUV機器進入試生產，采用激光誘導放電等離子技術，更簡單可靠。搭載LDP的SMEE-3600光刻機，在華為工廠啟動壓力測試，這標志著從實驗室到實際應用的跨越。

盡管國際上有些聲音炮轟ASML別賣DUV給中國，稱可能涉軍，但中國企業實力在增。北方華創和新凱來技術在半導體設備展上人氣高，涉足廣泛制造設備。中國瞄準6nm芯片，半導體制造設備實力大增，這是日經的觀察。佳能向Rapidus出資助力，但中國本土路徑穩扎穩打。

半導體供應鏈風險在，但中國應對有方。光刻膠斷供傳聞雖有，日本正式表態塵埃落定，但中國國產率升，影響可控。到了2025年，國產電子束光刻機推向市場，雖然某些指標可能不如ASML，但已能滿足需求。ASML中國市場遭遇挑戰，但這也推動本土創新。

整體看，中國在半導體領域發力，正當時。獨立制造光刻機不是夢，繼荷蘭日本后第三個國家，這前景靠譜。全球合作主流，但自力更生是底氣。未來，中國或實現一國閉環，科技大工程在這里落地。