北京
記者12月9日了解到，今年1到11月，市場監管總局新批準發布85項服務“雙碳”工作和精密制造產業發展的國家標準物質，為提高碳測量數據和精密制造測量數據精準性提供有力支撐。
在服務“雙碳”工作方面，批準發布空氣中二氧化碳氣體、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合氣體等72項碳計量國家標準物質。碳計量標準物質用來校準常用的碳檢測設備，如紅外氣體分析儀等，確保儀器測量精度，也可用來標定現場碳監測設備。新批準發布的72項碳計量標準物質，79.2％由企業研制生產。
在服務精密制造產業發展方面，批準發布高純氮、高純氧等13項電子氣體國家標準物質。
●在半導體器件制造過程中，高純度電子氣體標準物質可用于清洗、刻蝕、沉積等多個關鍵環節，確保晶圓的純凈度和性能。
●在集成電路生產過程中，高純度電子氣體標準物質在光刻、離子注入、氧化等工藝中發揮著重要作用，保障集成電路的穩定性和可靠性。
新批準發布的13項電子氣體國家標準物質中，93％的研制單位位于華東、華北地區，呈現出與產業集群協同發展的新趨勢。
來源：央視財經
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