直播預告｜第二十期中國表面工程云論壇

關于舉辦第二十期中國表面工程云論壇的通知

01

組織機構

02

論壇時間

2025年12月5日19:30~21:10

03

參會方式

可通過以下方式線上參會

1、微信視頻號（可點擊下方小程序進行預約）

2、B站觀看鏈接：

3、九州云播鏈接：

04

相關費用

論壇免收注冊費

05

特邀報告

報告專家

江亮 ， 西南交通大學研究員、博士生導師，入選國家級青年人才、中國科協青年托舉，主要從事原子級拋光研究。以第一/通訊作者發表SCI論文55篇；以第一發明人授權中國發明專利17項、美國發明專利1項。榮獲教育部自然科學一等獎（排名4/8）、浙江省科技進步一等獎（排名8/12）、上銀優秀機械博士論文佳作獎。

報告時間

2025年12月5日 19：30-19：55

報告題目

銅化學機械拋光原子級材料去除機理研究

內容摘要

銅化學機械拋光（CMP）對芯片互連制造至關重要。本研究通過液下原子力顯微鏡（AFM）模擬CMP，研究SiO2磨粒與銅表面的微觀相互作用。在弱氧化條件下，SiO2磨粒與Cu2O之間產生高摩擦，生成的局部摩擦熱可能會影響化學反應的均勻性，進而惡化表面質量；同時，去除的Cu2O會吸附在SiO2磨粒上，進而造成微劃痕。因此，建議采用強氧化作用。在強氧化條件下，機械作用對化學反應的影響較小，材料去除可以分為兩個相對獨立的階段：首先，形成CuO鈍化膜作為去除前驅體，同時抑制過度腐蝕；隨后，絡合作用軟化鈍化膜，在弱機械作用下實現材料去除。在此基礎上，利用AFM實現了銅的原子級材料去除，統計結果顯示平均約六次往復滑動可去除一層銅原子。在機理指導下，采用CMP實現了超光滑、近無損傷的銅表面，其表面粗糙度Sa為0.1 nm（10 μm×10 μm）。

報告專家

高尚，大連理工大學教授、博士生導師。擔任中國機械工程學會半導體裝備分會委員、《J. Adv. Manuf. Sci. Technol.》青年編委、《金剛石與磨料磨具工程》編委、《機械工程學報》青年編委等。主持國家重點研發計劃課題、國家自然基金面上項目等20余項。一作/通訊作者發表SCI論文60余篇，ESI高被引論文4篇；出版英文專著章節2部；授權發明專利46項。獲教育部技術發明一等獎、中國機械工業科技獎一等獎與二等獎、河南省科技進步二等獎。

報告時間

2025年12月5日 19：55-20：20

報告題目

面向晶圓減薄的軟磨料彈性磨拋輪超低損傷加工技術

內容摘要

針對傳統金剛石砂輪減薄磨削晶圓過程中，超硬磨粒以純機械作用方式去除材料產生嚴重損傷的難題，報告提出采用軟磨料彈性磨拋輪、利用機械化學復合作用實現晶圓超低損傷磨削加工的新工藝。介紹了機械化學復合作用條件下晶圓超低損傷磨削表面的形成機理，開發出軟磨料彈性磨拋輪及其加工工藝，實現晶圓表面粗糙度Ra＜0.5 nm、亞表面損傷深度＜15 nm的超低損傷磨削加工。

報告專家

程潔，中國礦業大學（北京）教授/博導，中國科協第 “青年人才托舉工程”入選者、“溫詩鑄楓葉獎-青年學者獎”獲得者。從事先進集成電路化學機械拋光技術、磨蝕技術、煤電子制造技術等。發表SCI論文60余篇，出版英文專著1部，摩擦學教材1部。主持國家自然科學基金面上/青年項目3項、北京市自然科學基金面上項目等課題。

報告時間

2025年12月5日 20：20-20：45

報告題目

磨蝕調控在高效率、原子級光滑的化學機械拋光中的應用

內容摘要

當前亟需開展高端芯片復雜結構異質材料表/界面超高效、原子級光滑的化學機械拋光加工理論和方法前沿性研究。而拋光去除過程中，高效率和低缺陷的表面加工通常難以兼顧，從摩擦學角度，其核心科學問題在于對晶圓表/界面腐蝕、磨損及其交互作用進行精準調控，以達到兼顧高效率材料去除和低缺陷表/界面質量的加工目標。

報告專家

肖峻峰，華中科技大學機械科學與工程學院副教授、博士生導師，研究方向為毛細流動、超精密加工，入選湖北省人才計劃，發表一作/通訊論文30余篇，授權發明專利10余項，獲省部級科技獎2項、國家級教學成果獎1項。

報告時間

2025年12月5日 20：45-21：10

報告題目

單晶硅激光拋光與修復

內容摘要

面向單晶硅光學元件的超精密切削在表面殘余切削紋、在亞表面引入晶體損傷與缺陷，激光拋光利用毛細流動降低表面粗糙度、誘導硅單晶生長修復亞表層損傷，實現單晶硅的亞納米表面粗糙度、近零亞表層損傷超精密加工。

06

聯系方式

官方郵箱：

cse1988@csejournal.com

官方微信公眾號：

中國表面工程

07

關于中國表面工程云論壇的介紹

表面工程作為裝備制造業中四大重要基礎工藝之一，也是提升機械制造整體水平的核心技術之一，對實現制造強國戰略具有重要的支撐作用。為助力我國表面工程學術研究的發展，搭建表面工程領域高水平學術交流平臺，同時進一步加強編輯與科研人員的交流，增進科研人員對期刊的了解，推進期刊高質量發展，中國機械工程學會、中國機械工程學會表面工程分會、中國機械工程學會再制造工程分會、中國機械工程學會摩擦學分會、中國電工技術學會電子束離子束專業委員會、中國腐蝕與防護學會磨蝕與防護技術專業委員會、中國機械工程學會機械科技信息分會共同主辦中國表面工程云論壇，云論壇每月舉辦一次。

《中國表面工程》編輯部

2025-12-03

責任編輯：李 娜

責任校對： 金 程

審 核： 張 強

JME學院簡介

JME學院是由《機械工程學報》編輯部2018年創建，以關注、陪伴青年學者成長為宗旨，努力探索學術傳播服務新模式。

歡迎各位老師掃碼添加小助理-暖暖為好友，由小助理拉入JME學院官方群！

歡迎關注JME學院視頻號~

尋覓合作伙伴

有一種合作叫做真誠，有一種發展可以無限，有一種伙伴可以互利共贏，愿我們合作起來流連忘返，發展起來前景可觀。關于論文推薦、團隊介紹、圖書出版、學術直播、招聘信息、會議推廣等，請與我們聯系。

感謝關注我們！我們《機械工程學報》編輯部將努力為您打造一個有態度、有深度、有溫度的學術媒體！

版權聲明：

特別聲明：本微信轉載文章出于非商業性的教育和科研目的，如轉載稿涉及版權等問題，請立即聯系我們，我們會予以更改或刪除相關文章，保證您的權益。

微信投稿、轉載等：

聯系人：暖暖

電話：010-88379909

E-mail：jme@cmes.org

網 址：http://www.cjmenet.com.cn

官方微信號：jmewechat