申英男：助力芯片制造的關鍵突破，他的科研方向錨定產業痛點

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在芯片制程節點在納米尺度不斷延伸的今天，“潔凈”與“精準”是影響芯片制造精度與良率的關鍵命題。有一位學者深耕“光-機-電-液”一體化，聚焦微納尺度流體控制技術，捕捉極微污染物的蹤跡，為高端集成電路（IC）裝備自主化提供多項關鍵基礎技術支撐——他就是浙江大學“百人計劃”研究員、博士生導師申英男，一位扎根半導體裝備領域，以基礎研究創新與關鍵技術開發回應國家戰略需求的青年科學家。

申英男（左一）陪同美國四院院士J.A.Rogers參觀超潔凈流控實驗室

身為“流體人”，錨定IC產業痛點

“流體是我們的‘老本行’；IC制造的上百道工藝以及光刻、濕法刻蝕等核心機臺均涉及到超潔凈高精密流體控制問題。”申英男的科研選擇，從一開始就瞄準了流體相關的半導體裝備研發“卡脖子”環節。

他聚焦的高精密超潔凈流體控制、極微污染物檢測與控制領域，是高端集成電路制造的關鍵技術需求。半導體液體工藝介質中，十億分之一含量的金屬污染物、小至50納米的顆粒污染物就可能讓芯片性能劣化甚至導致“廢片”，而他的工作正是為這些“看不見、摸不著”的隱患打造一套由“精準捕網”、測量手段與預防策略所構成的體系。這種“以產業痛點為科研起點”的導向，讓他的研究始終扎根實際，與其所在“啟爾”團隊一道，成為半導體裝備領域不可或缺的創新力量。

從浙大到普渡、從美國回國效力的雙向淬煉

申英男的學術之路，體現了本土深耕與國際前沿研究的融合。他在浙江大學機械電子工程專業完成本博完整培養，并基于本土半導體裝備產業現狀與發展趨勢，系統掌握機-電-流體一體化的核心知識體系，這份扎實的“浙大底色”讓他始終錨定國家戰略需求。

博士畢業后，他赴美國普渡大學開展博士后研究，并于2023年晉升為普渡大學機械工程學院研究員（Lead Research Scholar）。海外研學期間，他持續深挖微納尺度下的流體控制與顆粒物控制等相關基礎研究。2024年，他回歸求是園，加盟機械工程學院、流體動力基礎件與機電系統全國重點實驗室，持續身體力行“基礎研究-技術創新-產業應用”的閉環探索。

從頂刊論文到產業實踐，把成果做到實處

在半導體裝備相關流體檢測與控制技術領域的多年深耕，讓申英男的研究同時收獲了學界與業界的認可。他在Physical Review Letters等發表論文20余篇，基礎研究成果曾獲美國物理學會亮點論文、英國皇家物理學會《Physics World》、美國科學促進會（AAAS）旗下媒體報道等。

技術創新方面，他授權/公開發明專利20余項，含美國專利1項。在中國機械工程學會半導體裝備分會成立大會的委員特邀報告、我國半導體裝備龍頭企業之一——北方華創“屏芯而論”CTO系列沙龍等場合，他所分享的半導體液體工藝介質污染物測控技術研究進展、難點痛點與未來趨勢，成為半導體裝備及其核心零部件領域的學界與業界所共同關注的重要議題之一。

緊貼半導體產業需求，積極搭建產學研橋梁

“半導體核心裝備與關鍵技術的自主可控與自我發展，不但需要基礎研究的長期耕耘，更需要面向產業需求的不斷聚焦。”作為國家級青年人才計劃入選者，申英男始終堅持將國家集成電路產業的戰略需求作為個人學術研究方向的指引與依歸。

目前，他擔任DLIS教育部工程研究中心副主任，主持國家自然科學基金委原創探索計劃項目等多項國家級項目，深度參與3項國家科技重大專項，將研究方向與集成電路裝備自主化的迫切需求緊密對接。他還積極搭建學界與產業界溝通橋梁，曾為新生代浙商解讀關鍵技術突破與產業應用前景，讓實驗室的基礎研究成果真正服務于相關制造業高質量發展，踐行“把論文寫在祖國大地上”的科研理念。

依托“啟爾”團隊，培養半導體裝備研發的后備力量

作為博士生導師，他將國際前沿技術與產業實際需求融入研究生培養過程，引導學生“聚焦真問題、練就硬本領”。回國任職兩年來，依托流體動力基礎件與機電系統全國重點實驗室，在以付新教授為帶頭人的“啟爾”團隊支持下，他帶領一支由十余名研究生、多名工程師組成的研發隊伍，形成了“基礎研究—技術攻關—產業驗證”的閉環科研模式，為集成電路裝備領域培養兼具理論功底與實踐能力的后備力量。因此，他作為主要完成人之一獲得了2025年中國機械行業產教融合教育教學創新大賽一等獎。

從浙大校園到普渡實驗室，再回到求是園繼續服務于半導體裝備國家戰略需求，申英男始終銘記：為我國集成電路產業的發展貢獻“流體人”的力量。這位心系國之重器、扎根產業需求、探索學術前沿的青年學者，正以不懈努力為我國集成電路裝備高端化、自主化發展貢獻自己的力量。

來源：省青年高層次人才協會

責編：葉　揚

美編：鄭娜莉

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