“中國芯”聚首橫琴：共探半導(dǎo)體特色工藝發(fā)展新路徑

11月13-14日，2025年“中國芯”集成電路產(chǎn)業(yè)促進(jìn)大會(huì)暨第二十屆“中國芯”優(yōu)秀產(chǎn)品征集結(jié)果發(fā)布儀式在橫琴天沐琴臺(tái)會(huì)議中心舉行成功舉辦。

作為2025年“中國芯”集成電路產(chǎn)業(yè)促進(jìn)大會(huì)暨第二十屆“中國芯”優(yōu)秀產(chǎn)品征集結(jié)果發(fā)布儀式的重要組成部分，《半導(dǎo)體特色工藝制造與生態(tài)協(xié)同發(fā)展論壇》在珠海橫琴天沐琴臺(tái)會(huì)議中心成功舉辦。

《半導(dǎo)體特色工藝制造與生態(tài)協(xié)同發(fā)展論壇》匯聚了集成電路領(lǐng)域的權(quán)威專家、企業(yè)高管及科研骨干，圍繞化合物半導(dǎo)體、第三代半導(dǎo)體等特色工藝的技術(shù)突破、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用與生態(tài)協(xié)同展開深度研討，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入新動(dòng)能。

廣東省集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)本次論壇給予高度重視，協(xié)會(huì)會(huì)長陳衛(wèi)出席論壇并致辭。本次論壇由協(xié)會(huì)秘書長潘雪花主持。

圖：廣東省集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)長陳衛(wèi)

廣東省集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)長陳衛(wèi)在發(fā)言中介紹，廣東工業(yè)大學(xué)已成立 “粵芯班”，粵芯已吸引 120 余名學(xué)生工作。他鼓勵(lì)學(xué)生，AI 正催生新質(zhì)生產(chǎn)力，將推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)前行。

廣東高度重視特色工藝發(fā)展，化合物半導(dǎo)體、高端模擬等領(lǐng)域已納入 “十五五” 規(guī)劃，形成堅(jiān)實(shí)產(chǎn)業(yè)支撐。目前協(xié)會(huì)擁有 335 家會(huì)員，覆蓋設(shè)計(jì)、制造等全產(chǎn)業(yè)鏈及裝備材料、投資領(lǐng)域。他呼吁產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)力，構(gòu)建自主可控生態(tài)，為廣東特色集成電路發(fā)展貢獻(xiàn)核心力量，助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)攻堅(jiān)突破。

圖：深圳平湖實(shí)驗(yàn)室的左正主任

深圳平湖實(shí)驗(yàn)室的左正主任，圍繞寬禁帶功率半導(dǎo)體的發(fā)展、挑戰(zhàn)與模式創(chuàng)新展開分享。他指出，以碳化硅、氮化鎵為代表的寬禁帶半導(dǎo)體，是支撐 AI、新能源汽車等新興產(chǎn)業(yè)的核心，實(shí)驗(yàn)室已在 8 英寸 SiC 工藝、GaN/SiC 集成等領(lǐng)域取得技術(shù)突破。

同時(shí)他提到，行業(yè)仍面臨襯底制備、工藝穩(wěn)定等產(chǎn)業(yè)化挑戰(zhàn)。他強(qiáng)調(diào)，需通過產(chǎn)學(xué)研協(xié)同、平臺(tái)共享等模式創(chuàng)新，破解技術(shù)與成本難題，推動(dòng)寬禁帶半導(dǎo)體規(guī)模化應(yīng)用，助力產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展。

圖：廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司研發(fā)副總裁相奇

廣東芯粵能半導(dǎo)體有限公司研發(fā)副總裁相奇深入淺出介紹了《碳化硅芯片制造和研發(fā)進(jìn)展》，為行業(yè)技術(shù)攻堅(jiān)提供了寶貴經(jīng)驗(yàn)。

廣東芯粵能（AscenPower）聚焦化合物功率半導(dǎo)體領(lǐng)域，碳化硅（SiC）芯片研發(fā)與國際同步。其成熟的 SBD 和平面柵 MOSFET 推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化量產(chǎn)，溝槽 MOSFET 為近期研發(fā)重點(diǎn)，超結(jié)技術(shù)為下一代布局方向。

芯粵能公司擁有全自動(dòng)化工廠，占地 150 畝、潔凈廠房 2 萬平方米，6 英寸芯片月產(chǎn)能超 10K，8 英寸 7 月通線，配備一流設(shè)備與完善工藝平臺(tái)。研發(fā)副總裁相奇分享的產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同路徑，為行業(yè)技術(shù)攻堅(jiān)提供了寶貴經(jīng)驗(yàn)。

圖：廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心執(zhí)行主任劉志宏

第三代半導(dǎo)體為產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn)，發(fā)展動(dòng)態(tài)備受關(guān)注。

廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心執(zhí)行主任劉志宏介紹，中心在碳化硅、氮化鎵器件制造工藝優(yōu)化及可靠性提升上有最新研發(fā)進(jìn)展。

該中心由廣州經(jīng)開區(qū)管委會(huì)與西電共建，2021年落地，一期投資5億元且已驗(yàn)收。其擁有5000㎡場地、180臺(tái)儀器設(shè)備的中試平臺(tái)，二期聚焦氮化鎵，建成8/6英寸中試線，6英寸線年產(chǎn)能達(dá)5000片晶圓，在平臺(tái)、人才、成果轉(zhuǎn)化方面成效顯著。

廣州第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心正規(guī)劃建設(shè)集成電路職業(yè)學(xué)校。

圖：粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司市場總監(jiān)張茂杰

粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司市場總監(jiān)張茂杰則聚焦《成熟特色工藝在AI芯片中的應(yīng)用及挑戰(zhàn)》做了精彩分享

他結(jié)合大灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)前沿動(dòng)態(tài)，聚焦成熟特色工藝的實(shí)際落地價(jià)值，深入剖析其在 AI 芯片領(lǐng)域的應(yīng)用場景與技術(shù)適配要點(diǎn)。

180nm-22nm 成熟工藝是中低算力 AI 芯片的 “性價(jià)比最優(yōu)解”，通過架構(gòu)創(chuàng)新彌補(bǔ)算力差距，規(guī)避先進(jìn)制程高成本。其中 180nm-90nm 主打低功耗低成本，適配智能家居等場景；65nm-40nm 平衡性能與面積，支撐語音識(shí)別等應(yīng)用；28nm-22nm 兼顧高性能與成本，適用于存算一體芯片，各節(jié)點(diǎn)精準(zhǔn)匹配不同 AI 應(yīng)用需求。

圖：粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司市場總監(jiān)張茂杰

粵芯半導(dǎo)體 2017 年成立于廣州，是廣東首家量產(chǎn) 12 英寸芯片的企業(yè)，有員工約 1800 人。其具備 180-55 納米工藝能力，當(dāng)前產(chǎn)能 5.5 萬片 / 月，2026 年底將破 8 萬片 / 月。作為大灣區(qū)標(biāo)桿，已帶動(dòng)超 150 家上下游企業(yè)落戶，助力廣州打造集成電路核心承載區(qū)。

張茂杰更是介紹粵芯Si襯底MOS 滿產(chǎn)，四期項(xiàng)目即將動(dòng)工！

圖：珠海華芯微電子有限公司運(yùn)營副總經(jīng)理卓宜德

面對(duì)AI產(chǎn)業(yè)爆發(fā)帶來的新需求，成熟特色工藝的創(chuàng)新應(yīng)用成為論壇討論的另一焦點(diǎn)。

珠海華芯微電子有限公司運(yùn)營副總經(jīng)理卓宜德結(jié)合實(shí)際應(yīng)用場景，深入分析了成熟特色工藝在AI芯片研發(fā)中的獨(dú)特價(jià)值，同時(shí)指出了其在兼容性、功耗控制等方面面臨的挑戰(zhàn)，并提出了針對(duì)性的解決方案。

華芯（珠海）半導(dǎo)體專注砷化鎵體系化合物半導(dǎo)體芯片研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，下設(shè)華芯科技、華芯微電子兩家全資子公司。核心項(xiàng)目華芯微電子2023年7月啟動(dòng)，2024年7月完工，總投33.87億元，分三期達(dá)15K/月產(chǎn)能。產(chǎn)品含砷化鎵HBT等，瞄準(zhǔn)5G相關(guān)市場。項(xiàng)目2023年8月獲珠海立柱項(xiàng)目認(rèn)定，2024年3月通過廣東省重點(diǎn)項(xiàng)目審批。

圖：廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院工藝研發(fā)工程師彭程

最后，廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院工藝研發(fā)工程師彭程帶來了關(guān)于8英寸共享平臺(tái)建設(shè)的主題分享。

彭程強(qiáng)調(diào)，共享制造平臺(tái)能夠有效整合資源、降低企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)成本，通過技術(shù)共享、設(shè)備共享、人才共享，為中小半導(dǎo)體企業(yè)提供有力支撐，進(jìn)而賦能整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的協(xié)同發(fā)展，這一觀點(diǎn)得到了現(xiàn)場嘉賓的廣泛認(rèn)同。

廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（前身為中科院蘇州納米所廣東佛山研究院）2019 年成立，2021 年更名，是佛山南海共建的省屬事業(yè)單位。聚焦化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域，布局光電子、功率器件等方向，擁有 8 吋中試平臺(tái)，8 吋 MEMS 芯片工藝達(dá)國內(nèi)領(lǐng)先。現(xiàn)有 120 余人科研團(tuán)隊(duì)、74 項(xiàng)專利，孵化 1 家企業(yè)，提供中試代工等服務(wù)并培訓(xùn) 300 余人次，助力佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

本次半導(dǎo)體特色工藝制造與生態(tài)協(xié)同發(fā)展論壇的成功舉辦，不僅實(shí)現(xiàn)了行業(yè)前沿技術(shù)與產(chǎn)業(yè)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的高效共享，更搭建了企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)與政府之間的溝通橋梁。論壇所凝聚的發(fā)展共識(shí)、傳遞的創(chuàng)新理念，將進(jìn)一步推動(dòng)我國半導(dǎo)體特色工藝領(lǐng)域的技術(shù)突破與生態(tài)完善，為“中國芯”的持續(xù)崛起注入強(qiáng)勁動(dòng)力。