大陸自己的“ASML”，攻克3nm技術(shù)，臺積電也依賴其設(shè)備

在全球芯片產(chǎn)業(yè)的激烈競爭中，我國半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域涌現(xiàn)出一家足以讓世界矚目的企業(yè)，那就是中微半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司。它就像大陸自己培育的“ASML”，在尖端芯片制造設(shè)備領(lǐng)域取得了重大突破，不僅攻克了3nm蝕刻技術(shù)，更獲得了包括全球芯片代工王者臺積電在內(nèi)的眾多國際大廠的認(rèn)可和采購。

一、蝕刻機(jī)領(lǐng)域的王者，中微公司

談及芯片制造，臺積電是繞不開的名字。作為我國、乃至全球最大的芯片專業(yè)代工廠，臺積電擁有最先進(jìn)的制程技術(shù)和龐大的產(chǎn)能，是蘋果、英偉達(dá)、AMD等科技巨頭背后的支柱，其良品控制和制造工藝堪稱行業(yè)標(biāo)桿。

而在芯片設(shè)備的另一個(gè)關(guān)鍵領(lǐng)域——蝕刻，我國大陸的中微公司也悄然躋身全球第一梯隊(duì)，成為了與臺積電并肩但處于產(chǎn)業(yè)鏈不同環(huán)節(jié)的業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)。蝕刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一，它在光刻機(jī)“繪制”出電路圖案后，負(fù)責(zé)用等離子體等手段精密“雕刻”出納米級的電路結(jié)構(gòu)，其精度直接決定了芯片的性能和良率。中微公司經(jīng)過多年深耕，正是在這一高技術(shù)壁壘領(lǐng)域取得了非凡成就。

二、攻克3nm蝕刻，獲臺積電認(rèn)可

中微公司的技術(shù)突破堪稱國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展史上的里程碑，該公司已成功研制出可用于3nm芯片制造的蝕刻機(jī)，并進(jìn)入了量產(chǎn)階段，這標(biāo)志著我國在尖端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域擁有了重要的話語權(quán)。更令人振奮的是，中微公司的3nm蝕刻設(shè)備并非實(shí)驗(yàn)室樣品，而是真正獲得了市場認(rèn)可，被全球領(lǐng)先的芯片制造廠商所采用。臺積電已在其先進(jìn)的3nm制程生產(chǎn)線中使用了中微的蝕刻設(shè)備。

中微公司能取得這樣的成就，與其強(qiáng)大的技術(shù)底蘊(yùn)和持續(xù)創(chuàng)新密不可分。公司創(chuàng)始人尹志堯博士是半導(dǎo)體領(lǐng)域的頂尖專家，在回國創(chuàng)業(yè)前就已擁有數(shù)十項(xiàng)美國專利和豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。中微的研發(fā)投入也毫不手軟，2025年上半年研發(fā)費(fèi)用就高達(dá)近15億元，同比增長超過53%，占營收比重突破30%。其產(chǎn)品線覆蓋了電容耦合等離子體刻蝕和電感耦合等離子體刻蝕，技術(shù)能力延伸至5nm及更先進(jìn)制程，已覆蓋95%以上的刻蝕應(yīng)用。

三、中微發(fā)布財(cái)報(bào)，業(yè)績高速增長，彰顯實(shí)力底氣

一家公司的技術(shù)實(shí)力最終需要通過市場業(yè)績來驗(yàn)證，中微公司近期交出的成績單，充分證明了其強(qiáng)勁的發(fā)展勢頭和競爭力。

根據(jù)中微公司發(fā)布的2025年半年度報(bào)告，上半年公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入49.61億元，同比增長43.88%；實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤7.06億元，同比增長36.62%。其核心產(chǎn)品等離子體刻蝕設(shè)備銷售收入達(dá)到37.81億元，同比增長約40%，占總收入的75%以上。這不僅反映了市場對中微設(shè)備的需求旺盛，也表明公司已形成了持續(xù)穩(wěn)定的盈利能力。

此外，中微公司在薄膜沉積設(shè)備等新業(yè)務(wù)領(lǐng)域也增長迅猛，其LPCVD和ALD設(shè)備銷售收入同比暴漲608.2%。公司正在積極擴(kuò)展產(chǎn)能布局，位于上海臨港和南昌高新區(qū)的生產(chǎn)研發(fā)基地產(chǎn)能穩(wěn)步提升，并在廣州和成都啟動新的研發(fā)生產(chǎn)基地建設(shè)，為未來的持續(xù)增長提供支撐。

四、中微就是大陸的“ASML”

中微公司的崛起，對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言意義非凡。它證明了在資金、人才、政策長期持續(xù)投入下，我國完全有能力攻克高端半導(dǎo)體設(shè)備制造這一難題。中微通過自主創(chuàng)新，打破了國外壟斷，讓我國在全球半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域擁有了重要的一席之地，是名副其實(shí)的大陸自己的“ASML”。

中微公司的成功，不僅在于其技術(shù)突破和市場表現(xiàn)，更在于它為我國芯片產(chǎn)業(yè)帶來的底氣和信心。它讓整個(gè)行業(yè)看到，即使是在光刻機(jī)等其他設(shè)備領(lǐng)域可能面臨限制的情況下，我國依然能在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)自主可控，并達(dá)到世界領(lǐng)先水平。這種示范效應(yīng)和引領(lǐng)作用，遠(yuǎn)比一時(shí)的營收和利潤更為珍貴。

隨著芯片技術(shù)向3nm、2nm甚至更先進(jìn)制程演進(jìn)，以及芯片結(jié)構(gòu)從平面向3D堆疊等立體結(jié)構(gòu)發(fā)展，蝕刻技術(shù)的重要性將愈發(fā)凸顯。中微公司已然站上了技術(shù)變革的潮頭，它不僅是我國芯片產(chǎn)業(yè)的驕傲，更將成為全球半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域一股不可忽視的力量。