光刻氣雙雄格局成型！華特中船破局國際認證，國產替代攻入核心區

繆舢/文

一家日本高端光刻激光設備關鍵企業的最新認證，正在改寫中國特種氣體產業的競爭版圖。

8月5日，中船特氣（688146）宣布其光刻氣產品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）獲得日本GIGAPHOTON株式會社的合格供應商認證，有效期直至2030年。這一認證不僅是一家公司里程碑式的突破，更折射出中國光刻氣產業從“單點突圍”邁向“集群崛起”的關鍵信號。

GIGAPHOTON：光刻產業鏈的技術明珠

日本GIGAPHOTON株式會社成立于2000年，專注深紫外（DUV）及極紫外（EUV）光刻光源技術，是全球僅有的兩家能提供高端光刻激光設備的企業之一，另一家Cymer已被ASML收購。GIGAPHOTON光源設備需匹配純度達6N級（99.9999%）以上的光刻氣體，此前全球僅林德、法液空等國際巨頭能穩定供應。

此次中船特氣通過GIGAPHOTON認證，標志著國產光刻氣純度首次滿足EUV級制造要求，為打入3nm以下先進制程供應鏈奠定基礎。

華特氣體：不可撼動的先行者

不過，在光刻氣細分領域，華特氣體（688268）技術突破更早，始終保持著技術領先與認證紀錄。

資料顯示，2014年華特氣體在光刻氣領域實現技術突破，2016年量產相關產品，并于2017年正式通過ASML認證，這一紀錄一直保持至今未被打破，是國內唯一通過ASML認證的光刻氣廠商。2021年10月，華特氣體發布公告，宣布公司四款光刻氣產品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne等）均通過了日本GIGAPHOTON株式會社的合格供應商認證。由此，華特氣體的光刻氣產品成為國內唯一同時擁有ASML+GIGAPHOTON雙認證的國產企業。

憑借先發優勢，華特氣體已進入英特爾、美光等國際大廠供應鏈，國內市占率穩居第一。

雙雄競合：差異化路徑下的國產合力

值得關注的是，中船特氣與華特氣體已形成差異化互補型突破格局。華特氣體以ASML認證為支點，作為ASML體系內唯一中國氣體商，打通晶圓廠終端客戶；中船特氣則依托中船集團資源，聚焦DUV/EUV光刻氣高端品類，此次認證后有望切入東京電子、應用材料等設備廠商供應鏈。

中船特氣此次獲得日本GIGAPHOTON株式會社的合格供應商認證，對國產光刻氣行業的深層影響遠超單家企業獲益。不僅為后續國產氣體企業提供技術范本，縮短認證周期，而且華特氣體與中船特氣雙巨頭格局下國產成本優勢勢必擠壓外企溢價空間，爭奪此前被日美企業壟斷光刻氣定價權。

從華特氣體8年前首獲ASML認證，到現在中船特氣攻克GIGAPHOTON，從單點突破到系統破局，也正是中國光刻氣從“替代進口”邁向“定義標準”的轉折點。在光刻氣“卡脖子”技術大戰的背景下，華特氣體與中船特氣雙巨頭競合態勢形成，和隨后更多的中國企業相繼突破，光刻氣本土供應鏈的黃金時代才真正開啟。