青島思銳智能半導體先進裝備研發制造中心在青島自貿片區落成投產

6月27日，青島思銳智能半導體先進裝備研發制造中心落成投產活動在青島自貿片區舉行。作為2024年度和2025年度連續兩個年度的山東省重大項目及青島市重點項目，思銳智能半導體先進裝備研發制造中心由思銳智能與青島城投集團聯合打造。項目總占地約95畝，總建筑面積達8.6萬平方米，計劃投資超12億元，聚焦原子層沉積鍍膜（ALD）和離子注入機（IMP）兩大核心半導體前道設備的研發與量產。該中心的投產填補了青島市在半導體核心裝備領域的空白，標志著青島在半導體產業自主創新和高端裝備制造領域邁出重要一步。

青島自貿片區管委副主任隋斌表示，思銳智能是目前國內唯一一家同時提供離子注入機和原子層沉積設備并實現關鍵技術自主突破的高科技企業。項目從建設到投產僅用一年時間，展現了龍頭企業的責任與擔當，進一步完善了青島市集成電路產業鏈布局，對產業升級具有重要的示范引領作用。希望思銳智能以此為契機，深化科技創新與人才培育，為青島半導體產業發展注入新動能。

青島思銳智能科技股份有限公司董事長聶翔表示，思銳智能半導體先進裝備研發制造中心不僅是一座年產百臺設備的生產基地，更是構建"技術-制造-生態"閉環的關鍵節點。公司將依托該中心加速突破ALD、IMP等關鍵技術瓶頸，深化在集成電路、功率化合物等領域的布局。同時，思銳智能將持續加大研發投入，深化與政府、高校及海外機構的合作，打造全球領先的研發驗證平臺和人才聚集區，助力中國半導體產業鏈自主可控。

據悉，青島思銳智能科技股份有限公司由中國中車集團及旗下基金通過深度“產融結合”的方式聯合發起設立，注冊資本11億元。主要聚焦關鍵半導體前道工藝設備的研發、生產和銷售，解決集成電路裝備“卡脖子”問題，提供具有自主可控的核心關鍵技術的系統裝備產品和技術服務方案。主要業務包括原子層沉積（ALD）設備及離子注入（IMP）設備，廣泛應用于集成電路、以功率與化合物為代表的第三代半導體、新能源、光學、生物醫學等諸多高精尖領域。

2018年9月，思銳智能完成對ALD技術發源地—芬蘭倍耐克公司100%股權的收購工作。思銳智能及子公司BENEQ在全球擁有近480余項專利，在ALD和IMP技術及應用方面具備雄厚的技術積累，是中國國內極少擁有全球客戶拓展能力的中高端半導體裝備生產制造商，業務范圍覆蓋全球40個國家及地區，累計超過500個全球客戶。

思銳智能項目的落地進一步增強了青島自貿片區在半導體高端裝備領域的競爭力，為青島打造“中國芯谷”注入新動能。未來，青島自貿片區將持續優化營商環境，支持企業創新發展，推動集成電路產業實現更高質量、更高水平的發展。

青島市集成電路產業園自2022年11月揭牌成立以來，緊緊圍繞高端化、智能化、綠色化、集群化發展方向，堅持以科技創新為引領，培育發展新質生產力，集成電路產業規模持續壯大、產值穩步提升。青島城投集團發揮市直國企擔當，深度參與產業園發展，協同管委專班共同推動園區規劃前瞻性研究、專業載體投資開發、產業聯合招商、專項基金搭建等工作，促成以思銳智能為代表的關鍵鏈條企業落地投產。截至目前，產業園已累計集聚產業鏈上下游項目46個，總投資約1803億元，涵蓋設計、制造、封測、材料、設備等全產業領域，入圍“中國集成電路園區綜合實力TOP30”榜單第17位，帶動青島市躋身全球集成電路產業綜合競爭力百強城市第81位，展現出強勁的發展潛力。