央視首次曝光：全球最強(qiáng)光刻機(jī)亮相，中國(guó)再次打破西方技術(shù)封鎖

你敢信嗎，一臺(tái)機(jī)器賣近28億人民幣，全球就一家能造，連最大的客戶都嫌貴買不起單。這玩意兒就是ASML的最新型High-NA EUV光刻機(jī)，前不久剛在央視上第一次跟國(guó)內(nèi)觀眾見(jiàn)面。本來(lái)大家伙都在這臺(tái)機(jī)器有多夸張？重量150噸，相當(dāng)于兩架空客A320，大小跟雙層巴士差不多，運(yùn)的時(shí)候要裝250個(gè)貨箱，250個(gè)工程師花半年才能裝好。它有十萬(wàn)多個(gè)零件，能做2納米甚至更小的芯片，單臺(tái)賣快4億美元，比上一代貴了整整一倍。

圍觀全球最牛的精密制造到底長(zhǎng)啥樣，沒(méi)成想轉(zhuǎn)頭就出了個(gè)大反轉(zhuǎn)，這事還跟咱們中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀綁得死死的。臺(tái)積電是ASML最大的客戶，人家直接放話了，2029年之前都不打算用這臺(tái)機(jī)器造芯片。理由特別直白，就是太貴，而且沒(méi)必要啊。現(xiàn)在的舊設(shè)備還能接著用，做2納米成本也不會(huì)漲太多，犯不著花這冤枉錢。

西方對(duì)咱們的芯片封鎖，現(xiàn)在比之前狠多了。之前只是不讓賣EUV光刻機(jī)給咱們，咱們本來(lái)也沒(méi)拿到過(guò)。這次不一樣，美國(guó)直接出了新法案，連DUV浸沒(méi)式光刻設(shè)備都不準(zhǔn)賣，還逼著荷蘭日本跟他們中芯國(guó)際華為這些咱們的核心半導(dǎo)體企業(yè)，都被列進(jìn)了管制名單。ASML今年一季度來(lái)自中國(guó)的銷售占比，直接從去年全年的33%掉到了19%，降速快得驚人。不少人都慌了，覺(jué)得這一下要遭重對(duì)不對(duì)？其實(shí)咱們?cè)缬袦?zhǔn)備，前幾年就已經(jīng)囤了不少貨，現(xiàn)在進(jìn)口降了一部分也是在消化庫(kù)存，不全是被動(dòng)卡脖子。

對(duì)齊，連之前賣出去的機(jī)器都不讓人來(lái)修那咱們國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)現(xiàn)在到底走到哪一步了？今年年初上海微電子就在正式行業(yè)峰會(huì)上說(shuō)了，28納米浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)今年就要全面量產(chǎn)。人家計(jì)劃去年年底建好5條量產(chǎn)線，一年能出50臺(tái)，今年目標(biāo)市占率做到25%，這可不是自媒體瞎吹的，是官方自己公開(kāi)說(shuō)的。

很多人覺(jué)得28納米太落后，那真的是誤解了。現(xiàn)在全球七成以上的芯片需求都是成熟制程，汽車家電工業(yè)控制用的芯片，根本用不著2納米，28納米完全夠用。把成熟制程穩(wěn)穩(wěn)握在自己手里，咱們整個(gè)電子工業(yè)的基本盤就穩(wěn)住了。

當(dāng)然差距咱們也得認(rèn)，不能閉著眼睛瞎吹。跟ASML比，不管是套刻精度還是產(chǎn)能，差距都不小，技術(shù)差大概十年以上，效率差更是明顯，短期內(nèi)確實(shí)追不上。但高端領(lǐng)域咱們也沒(méi)停下腳步，好多突破都值得說(shuō)一說(shuō)。

哈工大已經(jīng)研發(fā)出了13.5納米的極紫外光技術(shù)，走的路線跟ASML不一樣，造價(jià)低體積小，就是現(xiàn)在功率還不夠，跟ASML商用的600瓦比還有不小差距。中科院上海光機(jī)所的團(tuán)隊(duì)更厲害，沒(méi)用ASML用了二十年的舊路線，換了固態(tài)激光器方案，轉(zhuǎn)換效率比西方頂尖機(jī)構(gòu)還高。帶頭的專家之前還是ASML的光源技術(shù)負(fù)責(zé)人，早就回國(guó)扎根搞研發(fā)了。

現(xiàn)在上海微電子的EUV光刻機(jī)已經(jīng)進(jìn)到試產(chǎn)階段，提交了不少關(guān)鍵技術(shù)專利，計(jì)劃今年就能實(shí)現(xiàn)小批量交付。不過(guò)大家也得拎清楚，從實(shí)驗(yàn)室出成果到能穩(wěn)定商用造芯片，中間還有無(wú)數(shù)工藝驗(yàn)證和產(chǎn)線磨合的坎要過(guò)，得一步步磨。ASML前CEO說(shuō)咱們差十到十五年，這話不好聽(tīng)，但確實(shí)是實(shí)話，光刻機(jī)十萬(wàn)個(gè)零件，每個(gè)環(huán)節(jié)都得過(guò)關(guān)，急不來(lái)。

現(xiàn)在整個(gè)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈已經(jīng)慢慢成型了，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的市占率已經(jīng)爬到32%了。國(guó)內(nèi)只有北京國(guó)望光學(xué)能實(shí)現(xiàn)28納米物鏡國(guó)產(chǎn)化，科益虹源能量產(chǎn)193納米準(zhǔn)分子激光器，華卓精科更是全球第二個(gè)掌握雙工件臺(tái)技術(shù)的公司。從清華攻關(guān)工件臺(tái)、浙大研發(fā)浸液系統(tǒng)到各個(gè)研究所突破核心技術(shù)，大家湊在一起協(xié)同攻關(guān)，一條完整的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈已經(jīng)搭起來(lái)了。

其實(shí)ASML現(xiàn)在日子也沒(méi)那么差，AI芯片需求太火，臺(tái)積電三星都在擴(kuò)產(chǎn)，訂單多到接不完，一季度業(yè)績(jī)還超了市場(chǎng)預(yù)期。就算少了中國(guó)一部分市場(chǎng)，別的地方的增長(zhǎng)也能補(bǔ)上來(lái)，封鎖對(duì)兩邊都有損失，哪有什么只有贏家的游戲。

前陣子國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體圈好多企業(yè)大佬和學(xué)界專家集體發(fā)文呼吁，說(shuō)半導(dǎo)體設(shè)備全自主可控是必然趨勢(shì)，光刻機(jī)是攻關(guān)的重中之重。這種公開(kāi)表態(tài)放在幾年前真不多見(jiàn)，說(shuō)明大家都看清楚了，依賴外部供應(yīng)的窗口正在關(guān)，只能自己干，這個(gè)方向已經(jīng)變不回去了。

說(shuō)回那臺(tái)近28億的天價(jià)光刻機(jī)，它確實(shí)是現(xiàn)在人類精密制造的天花板，可連最大的潛在客戶都覺(jué)得不劃算，暫時(shí)不打算用。技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)從來(lái)不是比誰(shuí)的東西更貴更先進(jìn)，是比誰(shuí)能用合適的成本造出能用的芯片，賣得出去。

咱們現(xiàn)在的路子走得特別穩(wěn)，先把28納米做深做透，把成熟制程的糧倉(cāng)裝滿，同時(shí)在EUV核心技術(shù)上多線推進(jìn)，不追求一步登天，每一步都踩實(shí)了就行。

參考資料：央視新聞 央視首次曝光全球最強(qiáng)光刻機(jī)相關(guān)報(bào)道