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大家好,我是金戈。
過去兩年,大家聊“第三代半導(dǎo)體”,基本就是碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN),車更省電、充電更快、快充頭更小。
但有個更“狠”的材料正在悄悄改寫規(guī)則——氧化鎵(Ga?O?),它不是網(wǎng)紅,卻在高壓功率器件這條賽道上,開始把“誰能上更高電壓、誰能把成本打下來”變成新的主戰(zhàn)場。
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更關(guān)鍵的是,最近中日兩邊幾乎同時放出重磅進展:一邊沖大尺寸晶圓,一邊沖低成本工藝和器件落地,到底誰能先把實驗室技術(shù)變成產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢?
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氧化鎵這東西,之所以被很多人稱作“第四代半導(dǎo)體”的核心候選,不是因為它名字新,而是因為它在“高壓功率”這個硬需求上,確實有點夸張。
行業(yè)報告里給的數(shù)據(jù)很直白:β-Ga?O?禁帶寬度大概4.85~4.9eV,擊穿電場強度理論值能到8MV/cm級別。
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這意味著同樣耐壓下,器件可以做得更小、導(dǎo)通電阻更低、效率更高,這背后對應(yīng)的現(xiàn)實場景是什么?
就是電動車、充電樁、光伏逆變器、數(shù)據(jù)中心電源這種“電一大、電一熱、電一貴”的地方,大家都想把損耗壓下去。
但更刺激的點在后面:氧化鎵在材料端有一個天然“開掛”的地方——它能用熔融法長晶體,理論上生長速度比SiC快很多,成本有機會被打下來。
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比如日本NCT的擴產(chǎn)計劃里就強調(diào),氧化鎵晶體生長速度比碳化硅快約100倍,基板制造成本有望降到SiC的三分之一,這也是他們敢投4英寸年產(chǎn)2萬片產(chǎn)線的底氣。
你看,這就形成了一個很現(xiàn)實的“誘惑”:如果它既能上更高電壓,又可能更便宜,那對功率半導(dǎo)體就是“又要又要”的答案。
不過,話說回來,性能再強也得落到“能不能大規(guī)模做出來”,所以接下來,咱們就要講現(xiàn)實的骨感:氧化鎵現(xiàn)在最難的,不是PPT,而是工程化的三道坎。
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也正因為這三道坎,中日兩邊的競爭才真正進入“短兵相接”。
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第一道坎,P型,這個問題在氧化鎵圈子里幾乎是“老大難”:做功率器件,尤其想做出更安全、更好用的結(jié)構(gòu),P型材料往往繞不開。
但氧化鎵的P型摻雜長期受深受主能級、空穴自陷、自補償這些機制限制,好消息是,最近確實有人把這塊硬骨頭啃出了一條路。
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復(fù)旦方志來團隊提出“能量驅(qū)動多步驟結(jié)構(gòu)相變”機制,通過從GaN到β-Ga?O?的相變過程抑制自補償,提高受主激活效率。
首次制備出常溫穩(wěn)定的P型摻雜β-氧化鎵薄膜,并做出了同質(zhì)p-n結(jié)等器件驗證,這意味著什么?
意味著“氧化鎵做P型”不再只是口號,開始出現(xiàn)可復(fù)現(xiàn)的材料與器件路線,當(dāng)然,實驗室突破到產(chǎn)業(yè)化還有距離,但這至少把天花板往上頂了一大截。
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第二道坎,散熱,氧化鎵的熱管理是業(yè)內(nèi)公認的痛點,功率器件最怕熱堆在里面“慢性自殺”,最近國內(nèi)在“界面散熱”這件事上有個很硬核的進展。
西安電子科大郝躍院士團隊做了“離子注入誘導(dǎo)成核”,把傳統(tǒng)粗糙的“島狀”連接變成原子級平整的單晶薄膜界面,讓界面熱阻降低到原來的三分之一,器件輸出功率密度提升30%—40%。
這類技術(shù)的價值很現(xiàn)實:不是空談“材料熱導(dǎo)率低怎么辦”,而是直接在器件最關(guān)鍵的界面上把熱阻砍掉,給氧化鎵上大功率應(yīng)用多爭取一口氣。
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第三道坎,量產(chǎn)工藝和成本。這里就要說到“尺寸”和“兼容性”了:你材料再好,如果只有2英寸、4英寸的小片片。
放到主流Fab里就像拿手工零件去配自動化流水線,設(shè)備、良率、工藝窗口全都不友好,最近最炸裂的消息,恰恰集中在“大尺寸晶圓”上——而這也是中日爭得最兇的地方。
日本這邊,NCT宣布將于2026年3月向全球客戶交付150mm(6英寸)β-Ga?O?單晶襯底樣品,明確瞄準(zhǔn)“主流功率半導(dǎo)體產(chǎn)線規(guī)格”的門檻。
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他們的邏輯很清楚:現(xiàn)在SiC主流就在6英寸,先把氧化鎵也推到6英寸,讓下游用現(xiàn)有設(shè)備“能跑起來”,這就等于把產(chǎn)業(yè)化的起跑線往前挪了一大步。
而且NCT還在推進所謂“液滴饋入生長法(DG法)”,目標(biāo)是取消昂貴的銥金坩堝,把成本壓到傳統(tǒng)導(dǎo)模法的十分之一,這就是典型的“用工藝殺成本”。
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但你以為這就結(jié)束了?
不,真正把行業(yè)情緒拉滿的,是中國這邊在8英寸上的連續(xù)動作——它直接沖著“兼容現(xiàn)有硅基8英寸產(chǎn)線”去了。
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先看中國最近的“具體發(fā)生了什么”,2025年3月,杭州鎵仁半導(dǎo)體正式發(fā)布“全球首顆8英寸氧化鎵單晶”,并強調(diào)采用自主創(chuàng)新“鑄造法”,解決大尺寸生長的熱場控制與開裂難題。
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這條信息為什么重要?
因為8英寸不是一個“面子工程”,它對應(yīng)的是現(xiàn)實里的制造體系:8英寸硅基產(chǎn)線成熟、設(shè)備多、自動化程度高。
一旦材料能匹配,功率器件廠商的設(shè)備投資門檻就可能被大幅拉低,而且晶圓面積上去后,單片出芯片數(shù)量幾何級增加,單位成本自然更有想象空間。
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更關(guān)鍵的是,這不是“長出來就算贏”,2025年9月,鎵仁又宣布其8英寸氧化鎵襯底通過權(quán)威檢測并實現(xiàn)銷售出貨。
檢測里像XRD搖擺曲線半高寬(FWHM)小于30 arcsec,部分點位低至12.4 arcsec,強調(diào)“結(jié)晶質(zhì)量國際領(lǐng)先”,并且驗證了在硅基8英寸產(chǎn)線上的適用性。
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再看日本這邊的打法,更像“穩(wěn)扎穩(wěn)打的商業(yè)化推進”,日本NCT的節(jié)奏是把6英寸樣品交付定在2026年3月。
先讓下游客戶能拿到150mm規(guī)格的襯底開展器件驗證,之后再規(guī)劃2027年外延片、遠期2035年供應(yīng)8英寸,路徑非常清晰。
同時,他們的DG法目標(biāo)直指“去掉銥金坩堝”這種成本大頭,想把氧化鎵的成本優(yōu)勢真正做實。
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另外,日本FLOSFIA在器件結(jié)構(gòu)上也在補“P型層”的短板,2025年實現(xiàn)基于P型層結(jié)構(gòu)的常關(guān)型α-Ga?O?MOSFET運行,并推進4英寸晶圓制造技術(shù)驗證,這對應(yīng)的是“可靠性與一致性”的工程化問題。
一句話:日本更像把“器件能賣、能用、能穩(wěn)定量產(chǎn)”當(dāng)?shù)谝粌?yōu)先級。
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那“誰更有機會主導(dǎo)沉浮”?
我個人的判斷是:短期看交付和驗證,中期看成本路線,長期看供應(yīng)鏈與市場的綁定,中國這邊在8英寸上“快到嚇人”,而且8英寸對產(chǎn)線兼容和單位成本的意義非常直接。
日本這邊則在“6英寸主流規(guī)格 + 低成本工藝 + 器件可靠性”上更像老牌強隊的打法。
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真正的勝負手,大概率不在某一個“紀錄”,而在“誰能把材料—外延—器件—應(yīng)用驗證”跑成閉環(huán)。
氧化鎵這場仗,已經(jīng)從“誰能長晶體”升級成“誰能把產(chǎn)業(yè)閉環(huán)跑通”,日本強在商業(yè)化節(jié)奏、工藝降本和器件工程化推進。
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中國強在8英寸沖刺速度、工藝路線多點開花以及供應(yīng)鏈確定性,接下來兩三年最值得盯的,不是口號,而是三件事。
6英寸/8英寸襯底的持續(xù)穩(wěn)定交付、外延與器件良率爬坡、以及誰能最先在車載/電網(wǎng)/數(shù)據(jù)中心這些真實場景里跑出可復(fù)制的應(yīng)用驗證,誰先做到,誰就更接近“主導(dǎo)權(quán)”。
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