美國有位研究芯片的專家叫克里斯·米勒,寫了一本挺出名的《芯片戰(zhàn)爭》。這人在書里說了句話,讓西方不少人聽完坐不住了。他說,中國人最讓人害怕的地方,不是他們買了光刻機(jī),而是他們買了光刻機(jī)以后,壓根沒拿來造芯片。
這話聽著是不是有點(diǎn)怪?一臺(tái)機(jī)器幾億美元,買回來不生產(chǎn)東西,難道放在倉庫里落灰?
要弄明白這里頭的彎彎繞,得從2018年那陣子說起。那時(shí)候中國科技企業(yè)發(fā)展得很快,尤其是在通信領(lǐng)域,美國看在眼里急在心上。他們二話不說,直接在芯片出口上下起了絆子。
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到了2019年,事情更棘手了。美國不光自己不賣,還拉著荷蘭一塊兒施壓。荷蘭有家公司叫ASML,全球能造高端光刻機(jī)的就這一家。美國逼著ASML,不準(zhǔn)把最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)賣給中國。這臺(tái)機(jī)器是造7納米以下高端芯片的命根子,沒了它,想在先進(jìn)制程上往前沖,難度確實(shí)大得很。
咱們企業(yè)當(dāng)時(shí)也沒別的轍,高端的買不到,就退一步買中端的DUV光刻機(jī)。雖然精度差了點(diǎn),但靠多重曝光技術(shù),也能造出還算先進(jìn)的芯片。再說汽車、家電這些領(lǐng)域,對(duì)芯片要求沒那么高,DUV完全夠用。
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可美國根本沒打算收手。2022年10月,他們又出了個(gè)新規(guī),不光限制設(shè)備出口,連人工智能芯片、相關(guān)工具,甚至人才交流都給卡得死死的。到了2023年和2024年,限制越來越嚴(yán),荷蘭政府在美國壓力下開始嚴(yán)查出口許可,ASML旗下稍先進(jìn)點(diǎn)的浸潤式光刻機(jī),也被列進(jìn)了禁止出口的名單。
一邊是美國拼命想把路堵死,另一邊是中國企業(yè)趕在大門關(guān)上之前,抓緊時(shí)間囤設(shè)備。看數(shù)據(jù)就知道,2023年中國市場給ASML貢獻(xiàn)的銷售額,一度快占到一半了。
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在西方人眼里,這舉動(dòng)簡直不可理喻。他們想不通,中國買這么多機(jī)器,現(xiàn)有工廠根本用不完,買回去到底要干什么?
我們?cè)倏匆唤M有意思的數(shù)字。2023年,中國從ASML買的光刻機(jī)數(shù)量突然大增,尤其是第四季度,咱們市場的銷售額占比直接沖到了49%。那時(shí)候ASML的首席執(zhí)行官嘴上說著要遵守各國法規(guī),行動(dòng)上卻沒含糊——畢竟這么大的客戶,誰也不想輕易丟掉。
但有個(gè)細(xì)節(jié),讓美國情報(bào)分析人員睡不著覺。他們發(fā)現(xiàn),中國進(jìn)口的光刻機(jī)數(shù)量,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了當(dāng)時(shí)國內(nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)的實(shí)際需求。也就是說,很多機(jī)器買回來后,并沒有馬上進(jìn)工廠投入生產(chǎn)賺利潤。
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與此同時(shí),另一個(gè)數(shù)據(jù)讓克里斯·米勒這些人高度警覺。從2020年到2023年,中國在光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域的專利申請(qǐng)量,一下子漲了四倍。到2024年,中國持有的半導(dǎo)體相關(guān)專利,居然占到了全球的一半還多。
這時(shí)候西方一些觀察家才慢慢回過味來。中國企業(yè)這種看似不計(jì)成本的采購,可能壓根不是為了眼前的商業(yè)利潤。ASML的財(cái)報(bào)里也能看出來,2025年因?yàn)楣苤疲袊袌龅匿N售額占比下滑了不少,但前幾年囤的那些設(shè)備,已經(jīng)足夠中國用很長一段時(shí)間了。
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而且我們不光是買新機(jī)器,二手市場也沒放過。只要是能用的光刻機(jī),不管年份多久,能買到就都拉回來。這種買法,在米勒看來,絕對(duì)不是簡單為了擴(kuò)大生產(chǎn),而是在做戰(zhàn)略性的技術(shù)積累。正是這種讓人看不透的深意,讓美國感到了前所未有的焦慮。
說到這兒,就得好好聊聊克里斯·米勒那個(gè)有名的說法。他在書里和后來的演講中都提到,中國買光刻機(jī),很大一部分目的是搞逆向工程。
說白了,逆向工程就是把買回來的機(jī)器拆開,研究里面的構(gòu)造、零件和原理,然后照著造一個(gè)。米勒覺得,中國企業(yè)把這些昂貴的機(jī)器拉進(jìn)實(shí)驗(yàn)室,不是為了生產(chǎn),而是當(dāng)成了解剖對(duì)象。他認(rèn)為,這樣一來,中國能快速掌握光刻機(jī)核心技術(shù),打破西方封鎖。
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但我個(gè)人覺得,米勒這話只說對(duì)了一半,甚至存在不小的技術(shù)誤判。光刻機(jī)被稱為人類工業(yè)皇冠上的明珠,一臺(tái)機(jī)器有十萬多個(gè)零件,涉及光學(xué)、流體力學(xué)、精密機(jī)械、自動(dòng)化控制等幾十個(gè)學(xué)科的頂尖技術(shù)。就算把ASML的機(jī)器拆成零件,單說那個(gè)鏡頭的打磨工藝、雙工件臺(tái)的同步精度,都不是看一眼就能學(xué)會(huì)的。
那中國買這些機(jī)器不全用來生產(chǎn),到底圖啥?
先得明白,搞國產(chǎn)替代,不是造出一臺(tái)國產(chǎn)光刻機(jī)就萬事大吉了,得有配套的生態(tài)才行。比如國產(chǎn)光刻膠、國產(chǎn)掩膜版、國產(chǎn)鏡頭,這些零部件造出來,得有標(biāo)準(zhǔn)去測試,得驗(yàn)證好不好用。
這時(shí)候,買回來的ASML光刻機(jī)就成了最好的考官和陪練。科研人員把國產(chǎn)零部件放到這臺(tái)成熟的機(jī)器上測試,看看能不能達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn),哪里不行就改哪里。這是驗(yàn)證平臺(tái)的作用,可不是簡單的拆解模仿。
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這也是一種戰(zhàn)略儲(chǔ)備。大家都清楚,美國做事沒什么底線,說翻臉就翻臉。萬一哪天他們連維修都不提供,甚至低端機(jī)器都不讓賣了怎么辦?現(xiàn)在多買幾臺(tái)存著,哪怕暫時(shí)用不上,也是給未來留個(gè)后手。
另外還有一點(diǎn),雖然高端制程被卡住了,但14納米、28納米這些成熟制程,我們的需求量是世界第一。新能源汽車、智能家電、工業(yè)控制,這些領(lǐng)域都離不開這類芯片。
這些芯片不需要最頂級(jí)的EUV,現(xiàn)有的DUV完全能滿足生產(chǎn)需求。中國通過大規(guī)模采購,把成熟制程的產(chǎn)能拉滿,就能在全球市場上占據(jù)價(jià)格和規(guī)模優(yōu)勢(shì)。這其實(shí)也是一種很有殺傷力的競爭手段。
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所以說,米勒害怕的逆向工程只是表面現(xiàn)象。真正讓他恐懼的,是中國這種產(chǎn)學(xué)研一體化的推進(jìn)速度。我們不是在單純模仿,而是在利用現(xiàn)有資源,搭建一套屬于自己的、就算離開ASML也能正常運(yùn)轉(zhuǎn)的技術(shù)生態(tài)系統(tǒng)。
美國這一套組合拳打下來,效果到底怎么樣?短期看,確實(shí)給我們制造了不少麻煩,中芯國際這些企業(yè)的先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn),確實(shí)受到了阻礙。但從長遠(yuǎn)來看,這招簡直是七傷拳——傷人先傷己。
看看ASML現(xiàn)在的處境就知道了。雖說它是光刻機(jī)霸主,但失去中國這個(gè)最大的增長市場后,股價(jià)和未來預(yù)期都受到了重創(chuàng)。2024年下半年,隨著管制收緊,ASML的股價(jià)波動(dòng)特別明顯,連瑞銀這些機(jī)構(gòu)都下調(diào)了對(duì)它的評(píng)級(jí)。資本市場看得很明白,把最大的客戶拒之門外,后續(xù)的增長動(dòng)力從哪里來?
更關(guān)鍵的是,美國的封鎖反而成了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的助推力。以前,國內(nèi)晶圓廠為了求穩(wěn),都愿意買進(jìn)口設(shè)備,國產(chǎn)設(shè)備就算質(zhì)量還不錯(cuò),也很難找到試用的廠家。現(xiàn)在進(jìn)口設(shè)備買不到了,大家只能轉(zhuǎn)頭用國產(chǎn)的。這一下子就給國產(chǎn)設(shè)備廠商提供了寶貴的試錯(cuò)機(jī)會(huì)和市場空間。
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舉個(gè)實(shí)際例子。上海微電子雖然和ASML還有差距,但在28納米光刻機(jī)的研發(fā)上,已經(jīng)取得了實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。而且不只是光刻機(jī)整機(jī),像雙工件臺(tái)、激光光源這些核心子系統(tǒng),國內(nèi)都有專門的企業(yè)在鉆研,并且不斷有突破關(guān)鍵技術(shù)的消息傳來。
米勒擔(dān)心的可怕之處,其實(shí)正在發(fā)生。那就是中國正在打造一條完整的、去美化的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。一旦這條產(chǎn)業(yè)鏈打通,哪怕只是在成熟制程上實(shí)現(xiàn)自主,西方的設(shè)備廠商就將徹底失去中國市場。而且中國產(chǎn)品向來以物美價(jià)廉著稱,將來中國制造的光刻機(jī)如果推向國際市場,對(duì)ASML來說才是真正的噩夢(mèng)。
現(xiàn)在是2026年,未來五年直到2030年,將是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最關(guān)鍵的突圍期。我們不指望一下子就能造出EUV,但只要把DUV這一關(guān)徹底攻克,全球芯片產(chǎn)業(yè)的格局就得重新改寫。
美國專家的恐懼,源于他們發(fā)現(xiàn)中國沒按他們?cè)O(shè)定的劇本走。我們沒有因?yàn)榉怄i而崩潰,也沒有因?yàn)橘I不到高端設(shè)備就放棄。相反,我們用一種他們看不懂的方式,把買來的設(shè)備變成了研發(fā)的基石,把封鎖的壓力變成了自主創(chuàng)新的動(dòng)力。這才是最讓他們感到無力的地方。
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