2026年中國半導體真空閥門市場專項調研及企業十五五規劃建議報告

半導體真空閥門在半導體設備中需求旺盛 規范化為行業發展主要方向

半導體真空閥門，指能夠通過調節、切斷或接通管路，維持和控制特定真空環境的半導體閥門。與傳統工業級真空閥門相比，半導體真空閥門具備安全可靠性高、使用壽命長、潔凈度高、響應速度快等特點，在半導體離子注入設備、薄膜沉積設備、去膠與清洗設備以及刻蝕設備中應用較多。
2023年10月，由上海市閔行區中小企業協會發布的團體標準《T/SHMHZQ 021—2023 半導體真空閥門技術要求規范》正式實施，文件針對半導體真空閥門的技術要求、基本參數、形式、運輸、包裝以及標志等內容進行了明確規范。在此背景下，我國半導體真空閥門行業將逐漸往規范化方向發展。
半導體真空閥門類型多樣，主要包括傳輸閥、隔離閥、插板閥以及調壓閥等。傳輸閥主要安裝于腔體之間或腔體與負載鎖之間的傳輸通道中；隔離閥主要用于連接或隔離工藝腔室與傳輸腔室；調壓閥又稱控制閥，能夠調節真空腔室內的壓力和氣體流量。

根據新思界產業研究中心發布的《2026年中國半導體真空閥門市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，半導體真空閥門主要應用于半導體設備中。近年來，隨著我國半導體產業發展速度加快，半導體設備市場空間不斷擴展。2024年我國半導體設備市場規模達到近450億美元，同比增長近15%。半導體真空閥門能夠連接工藝腔室、真空泵、傳輸腔室等半導體設備關鍵組件，未來隨著市場需求逐漸釋放，其行業景氣度將得到進一步提升。
我國半導體真空閥門主要生產企業包括東莞市沃成科技有限公司、神通半導體科技（南通）有限公司、無錫凱必特斯半導體科技有限公司等。凱必特斯半導體專注于半導體真空閥門及加熱零部件的研發、生產及銷售，士蘭半導體、華潤微、中芯國際、積塔半導體等晶圓制造商為其主要客戶。2025年11月，凱必特斯半導體完成數千萬元A+輪融資，資金將用于半導體真空閥門技術創新過程中。
新思界行業分析人士表示，半導體真空閥門綜合性能優良，在半導體設備中擁有廣闊應用前景。未來隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國半導體真空閥門市場空間將得到進一步擴展。目前，我國已有多家企業具備半導體真空閥門研發及生產實力，凱必特斯半導體占據市場較大份額。

2026年中國半導體真空閥門市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告

新思界解讀

三章 2021-2025年中國半導體真空閥門市場運行態勢

第一節 2021-2025年中國半導體真空閥門生產情況分析

一、2021-2025年半導體真空閥門產能統計

二、2021-2025年半導體真空閥門產量統計

第二節 2021-2025年中國半導體真空閥門銷售情況分析

一、2021-2025年半導體真空閥門銷售量統計

二、2021-2025年半導體真空閥門銷售額統計

三、影響半導體真空閥門銷售的因素分析

第三節 2021-2025年中國半導體真空閥門市場需求情況分析

一、2021-2025年半導體真空閥門需求量統計

二、影響半導體真空閥門需求因素分析

第四節 供需平衡分析

第五節 2026-2029年半導體真空閥門發展前景預測

第四章 中國半導體真空閥門競爭情況分析

第一節 中國半導體真空閥門競爭情況

一、市場集中度分析（市場占有率）

二、進入壁壘分析

第二節 中國半導體真空閥門競爭格局分析

一、半導體真空閥門競爭程度

二、產品替代性分析

第三節 中國半導體真空閥門競爭策略分析

第五章 重點產品——A市場分析

第一節 A產品分類及主要應用

第二節 2021-2025年中國A市場容量及增長率分析

第三節 2021-2025年中國A供給情況分析

一、產能（含部分擬在建項目整理）

二、產量

三、產能利用率

第四節 2021-2025年中國A需求情況分析

第五節 中國A產品消費結構（按產品類型）

第六節 中國A價格走勢分析

第七節 中國A主要應用領域及需求趨勢

一、主要應用領域示意圖

二、主要應用領域對A需求情況

三、主要應用領域對A需求趨勢

第八節 A產品市場競爭格局

一、現有企業間競爭

二、潛在進入者

三、替代品威脅

四、上游議價能力

五、下游議價能力

第九節 A技術發展現狀及趨勢分析

第十節 A市場發展趨勢

更多資料請參考新思界產業研究中心發布的《2026年中國半導體真空閥門市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》，同時新思界產業研究中心還提供，產業大數據、行業研究報告、行業地位證明、可行性研究報告、產業規劃、產業鏈招商圖譜、產業招商指引、產業鏈招商考察&推介會、“十五五”規劃等咨詢服務。