產線建成、設備出貨，Micro LED產業鏈又迎新進展

近日，國內Micro LED產業鏈再傳新動態，多家企業在產線建設、設備等方面取得進展。

海極半導體建成G4.5代TGV產線，加速Micro LED生產應用

11月28日，浙江海極半導體技術有限公司（簡稱“海極半導體”）宣布，公司歷時半年完成“世界首條G4.5代TGV封裝基板產線”和“全球最高速刺晶模組產線”的建設，為Micro LED產品規模化生產提供條件。

資料顯示，海極半導體由浙江炎夏電子有限公司于2024年12月26日投資設立，注冊資本1億元，業務涵蓋研發、設計、生產、銷售和服務。公司掌握TGV微米通孔、半導體鍍膜等核心技術，產品包括4款玻璃基Mini/Micro LED顯示相關產品，應用于家庭影院、會議系統、教育系統、人工智能、智能駕駛及液晶電視等領域。

海極半導體在杭州富春灣新城建設研發生產基地，產品涵蓋玻璃基M-LED直顯、透明顯示、背光、MIP及半導體封裝載板。一期項目租賃面積約2.3萬平方米，二期將根據發展需求擴展租賃或啟動供地。預計到2027年，一二期項目全部投產后，年產M-LED顯示產品和半導體封裝載板可達20萬平方米。

芯上微裝Micro LED相關設備完成發運

2025年11月25日，上海芯上微裝科技股份有限公司（AMIES）表示，公司自主研發的首臺350nm步進光刻機（AST6200）已完成出廠調試與驗收，并發往客戶現場。該設備面向350nm工藝節點，適用于功率半導體、射頻前端、光電子器件及Micro LED等領域。

圖片來源：芯上微裝

據介紹，該設備采用大數值孔徑投影物鏡并支持多種照明模式，成像分辨率達到350nm，覆蓋當前主流化合物半導體的制程需求。設備的對準系統正面套刻精度約80nm，背面套刻精度約500nm，可用于多層結構和鍵合片等公差要求更高的制程。

在產能和兼容性方面，設備使用365nm I-line光源，配備高速直線電機基片傳輸系統和高精度運動臺，最大加速度可達1.5g，兼容2至8英寸多種規格基片。基片材質覆蓋Si、SiC、GaAs、InP、藍寶石等多種類型，并支持不同邊形和結構的基片形態。調焦調平系統適用于透明、半透明、不透明及大臺階基底，設備可選配背面對準模塊以適應更復雜的工藝流程。

芯上微裝是一家專注于光刻設備研發與制造的公司，其技術團隊覆蓋光學、機械、運動控制、軟件及工藝等方向，并在投影物鏡、運動臺、曝光系統等關鍵模塊上開展自主化研發。

Micro LED產業鏈持續發力，設備與資本齊動

值得一提的是，圍繞Micro LED產業鏈，其他設備廠商近期也有新動作。

昂坤視覺在11月推出Micro LED外延檢測設備E3200micro，通過升級光學系統，在單臺設備上集成表面缺陷與熒光缺陷檢測，表面顆粒檢測精度達60nm，熒光缺陷像素分辨率為0.5μm。海外市場方面，芬蘭Beneq近日發布了適用于寬禁帶功率電子、先進射頻器件及Micro LED顯示領域的ALD量產設備Beneq Transmute系統。

下游應用端也同步推進產業協同。11月17日，雷曼光電與邁為科技達成MLED整線設備解決方案合作，邁為科技計劃于年底交付整線設備，以支持雷曼光電點間距0.9mm產品及其他新品的量產落地，實現上中下游的閉環協同發展。

在產業鏈快速推進的同時，資本端也在加速跟進。Micro LED設備企業壹倍科技于11月20日完成數千萬元A++輪融資，由國興投資獨家投資。本輪資金將用于持續推進Micro LED與化合物半導體檢測技術研發，同時增強產品交付能力，為下游應用提供保障。

LEDinside整理

更多Micro LED市場趨勢與數據，點擊小程序了解《2025 Micro LED顯示與非顯示應用市場分析》報告。

?關于集邦