在當(dāng)前全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)格局深刻變革、國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈自主化進(jìn)程加速推進(jìn)的大背景下,江蘇亞電科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“亞電科技”)自成立以來(lái),始終專(zhuān)注于半導(dǎo)體核心制造裝備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,憑借深厚的技術(shù)積淀和持續(xù)的自主創(chuàng)新,已成為推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的重要力量。作為一家聚焦?jié)穹üに囋O(shè)備領(lǐng)域的高科技企業(yè),亞電科技深度參與了我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程,為多家知名硅基半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體晶圓廠以及光伏龍頭企業(yè)提供系統(tǒng)化的濕法清洗與刻蝕設(shè)備解決方案。其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于氧化/擴(kuò)散、光刻、刻蝕、摻雜、成膜等關(guān)鍵制程環(huán)節(jié),在客戶產(chǎn)線中發(fā)揮著不可替代的作用,贏得了市場(chǎng)與客戶的廣泛認(rèn)可。
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半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度、均勻性和穩(wěn)定性要求極為嚴(yán)苛,而濕法清洗設(shè)備正是保障芯片良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。這類(lèi)設(shè)備通過(guò)機(jī)械與自動(dòng)化技術(shù)結(jié)合物理或化學(xué)方法,有效去除晶圓表面的納米級(jí)顆粒、金屬離子、有機(jī)物及自然氧化層等污染物,解決因雜質(zhì)引起的芯片性能劣化和良率下降問(wèn)題。自設(shè)立以來(lái),亞電科技始終堅(jiān)持濕法清洗設(shè)備的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,圍繞清洗能力、效率和設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性等核心技術(shù)指標(biāo)持續(xù)攻關(guān),有效解決了半導(dǎo)體制造中因雜質(zhì)引起的芯片性能劣化和良率下降等問(wèn)題,廣泛應(yīng)用于氧化/ 擴(kuò)散、光刻、刻蝕、摻雜、成膜等各個(gè)工序環(huán)節(jié)。公司通過(guò)提升清洗能力(如顆粒/金屬去除能力、均勻性等)、清洗效率(如設(shè)備產(chǎn)能 throughput 等)和設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性(如可用時(shí)間 Uptime、碎片率 Breakage 等)等核心技術(shù)指標(biāo),濕法清洗設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)高潔凈度、高均勻性、高效率和高穩(wěn)定性的清潔過(guò)程,在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色。
依托在半導(dǎo)體濕法工藝設(shè)備領(lǐng)域多年積累的技術(shù)開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)與產(chǎn)業(yè)應(yīng)用實(shí)踐,亞電科技展現(xiàn)出強(qiáng)大的科技成果轉(zhuǎn)化能力。公司緊密跟蹤下游市場(chǎng)需求變化,堅(jiān)持以客戶為導(dǎo)向,積極開(kāi)展自主研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新,成功實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品在工藝類(lèi)型、晶圓尺寸(覆蓋8英寸至12英寸)、工藝制程節(jié)點(diǎn)以及應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展。尤為突出的是,公司將半導(dǎo)體領(lǐng)域積累的高精度控制、高潔凈環(huán)境管理和智能自動(dòng)化等技術(shù)優(yōu)勢(shì),向光伏設(shè)備領(lǐng)域延伸,不僅豐富了自身的產(chǎn)品矩陣,更以卓越的清洗效果和運(yùn)行可靠性獲得了光伏行業(yè)知名客戶的高度好評(píng),進(jìn)一步鞏固了公司在高端制造裝備領(lǐng)域的綜合競(jìng)爭(zhēng)力。
截至目前,亞電科技已建立起覆蓋國(guó)內(nèi)主流半導(dǎo)體與新能源企業(yè)的優(yōu)質(zhì)客戶網(wǎng)絡(luò),客戶群體包括芯聯(lián)集成、時(shí)代電氣、比亞迪、華潤(rùn)微、三安光電、青島芯恩、卓勝微、華虹公司、隆基綠能以及“客戶A”等行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)。其中,公司更是多家客戶的首臺(tái)國(guó)產(chǎn)濕法清洗設(shè)備供應(yīng)商,成功打破了高端濕法設(shè)備長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口的局面,為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的安全可控提供了有力支撐。這份來(lái)自頂級(jí)客戶的信賴(lài),正是亞電科技技術(shù)實(shí)力、服務(wù)質(zhì)量與交付能力的最佳證明。
公司的卓越表現(xiàn)也贏得了國(guó)內(nèi)外權(quán)威機(jī)構(gòu)的高度認(rèn)可。作為國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè),亞電科技彰顯了其在細(xì)分領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)化、精細(xì)化與創(chuàng)新能力,2022 年至 2025 年連續(xù) 4 年被全球知名半導(dǎo)體行業(yè)觀察機(jī)構(gòu) TechInsights 評(píng)選為年度全球十佳半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商之一,2025年被清科創(chuàng)業(yè)和投資界評(píng)選為“2024投資界硬科技 Venture50”企業(yè)之一,公司自主研發(fā)的“DF-3000-B 12 英寸槽式半導(dǎo)體濕法刻蝕清洗設(shè)備” 被江蘇省工業(yè)和信息化廳認(rèn)定為“2023 年江蘇省首臺(tái)(套)重大裝備”。
未來(lái),亞電科技將繼續(xù)加大在先進(jìn)制程濕法工藝、智能化控制系統(tǒng)、綠色低耗工藝等方向的研發(fā)投入,以打造世界級(jí)半導(dǎo)體裝備企業(yè)為目標(biāo),不斷提升國(guó)產(chǎn)高端設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力,為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控與高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)更多力量。
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