截止11月10日丨空天微納系統教育部重點實驗室2025年度開放課題申報指南

空天微納系統教育部重點實驗室（以下簡稱“實驗室”）依托于西北工業大學，在航空航天特種MEMS制造、微納敏感機理與慣性器件、MEMS集成設計軟件、微納光學、先進流動測控、柔性微納防除冰結構、微流控芯片與醫療裝備等研究方面處于國內領先、國際先進水平，已成為我國重要的微納系統科研及創新人才培養基地。實驗室硬件條件達到國內一流、國際先進水平，在友誼校區擁有一條四/六英寸微加工工藝線，能夠實現硅表面加工、濕法體硅加工、ICP深刻蝕等多種典型工藝；在寧波建立了一條8英寸MEMS中試線，是國內少有的面向全國開放的微納制造和研發平臺之一。實驗室現有專任教師27人，其中國家級領軍人才7人，國家級青年人才8人，形成了一支以國家級領軍人才為學術帶頭人、以中青年教師為骨干的高水平研究隊伍。實驗室累計獲得國家技術發明二等獎3項、國家教學成果一等獎1項、省部級一等獎8項。近五年來，承擔國家重大科學儀器設備開發專項，民機專項，國家自然科學基金重點項目等項目，累計經費超過2億元。

根據實驗室發展規劃及教育部重點實驗室管理要求，為貫徹“開放、共享、融合、創新”的理念，積極開展學術交流與產學研合作研究、共享儀器設備/設施平臺，促進MEMS領域科技進步與創新，誠邀國內外從事MEMS傳感器與執行器相關的研究人員申報2025年度開放課題。

一、資助對象

申請本實驗室開放課題者，需為國內外具有中級及以上職稱或具有博士以上學位，并在高等院校和科研機構工作的專業技術人員。

二、資助領域

本年度實驗室優先資助但不僅限于下列研究領域的課題申請：

1. 金硅/金錫鍵合可靠性研究

2. 膠體與表面微流控芯片研究

三、資助金額與研究期限

1、資助金額：3萬/項

2、研究期限：1~2年。

四、申請程序

1、本次開放課題基金申請截止時間為2025年11月10日。開放課題申請書電子版請于截止日期前發送至mems_npu@163.com，紙質版申請書請于2025年11月20日前寄到本實驗室。

2、申請者須填寫“空天微納系統教育部重點實驗室開放課題基金申請書”，開放課題基金申請書一式4份，經所在單位簽署意見并加蓋公章（封面處）后寄送本實驗室，并將電子版申請書發送至電子信箱：mems_npu@163.com。

3、申請書經本實驗室初審后提交實驗室學術委員會進行評審，確定資助項目和資助金額。評審結果由實驗室主任簽發，并通知申請者及其所在單位，未獲批準的申請材料概不退還。

4、申請者收到批準資助通知后，應按批準金額、研究年限和評審意見，在收到立項通知后2周內編寫開放課題合同書，經申請人所在單位簽字蓋章后提交至本實驗室，核準后正式列為本實驗室科研課題，撥付課題經費。

5、立項成功后需根據空天微納系統教育部重點實驗室開放課題申請與管理辦法執行，按時填寫結題報告。

五、聯系方式

聯系人：郝老師

電子郵箱：mems_npu@163.com

通信地址：陜西省西安市碑林區友誼西路127號航空樓D座212，郵編710072

發布時間：2025年10月20日

責任編輯：李 娜

責任校對： 金 程

審 核： 張 彤

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