0.1微米塵埃粒子檢測(cè)：半導(dǎo)體制造Lighthouse SOLAIR 110行業(yè)之選

核心挑戰(zhàn)?

28nm以下制程中，單顆0.1μm（100nm）塵埃即可導(dǎo)致芯片斷路/短路，良率暴跌超50%。國(guó)際ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)控Class 1級(jí)潔凈室0.1μm粒子濃度（≤10個(gè)/m3），而激光粒子計(jì)數(shù)器是唯一符合ISO 21501-4的檢測(cè)工具。北京中邦興業(yè)，作為美國(guó)lighthouse廠家授權(quán)一級(jí)核心代理服務(wù)商，擁有0.1微米激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器，可為泛半導(dǎo)體工廠提供設(shè)備樣機(jī)免費(fèi)試用，上門演示實(shí)測(cè)。

【Lighthouse SOLAIR 1100LD】

01

?0.1μm粒子檢測(cè)的核心價(jià)值?

應(yīng)用場(chǎng)景

作用機(jī)制

案例效果

?晶圓制造關(guān)鍵工藝?

光刻/刻蝕/沉積環(huán)節(jié)實(shí)時(shí)監(jiān)控

某廠光刻車間良率提升12%

?高端封裝過程?

切割/鍵合/塑封環(huán)境保障

封裝可靠性提升15%+

?設(shè)備預(yù)測(cè)性維護(hù)?

粒子趨勢(shì)分析預(yù)判設(shè)備異常

減少停機(jī)時(shí)間40%

?數(shù)據(jù)價(jià)值延伸?

• 合規(guī)認(rèn)證：自動(dòng)生成ISO 14644-1/EU GMP審計(jì)報(bào)告（通過率100%）
• 智能管理：云端分析污染源，優(yōu)化潔凈室能耗效率

02

?Lighthouse SOLAIR 1100LD技術(shù)突破性優(yōu)勢(shì)?

?對(duì)比傳統(tǒng)設(shè)備?

參數(shù)

SOLAIR 1100LD

傳統(tǒng)HeNe計(jì)數(shù)器

?激光源?

激光二極管（終身免維護(hù)）

氦氖激光管（6個(gè)月更換）

?濃度上限?

提高10倍

易超限導(dǎo)致數(shù)據(jù)失效

?適用潔凈等級(jí)?

ISO Class 1-7

僅限Class 5以上

?重量?

11.7kg（行業(yè)最輕）

≥15kg

?核心性能?

1. 檢測(cè)能力：0.1μm靈敏度｜28.3 LPM流速｜8通道數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

2. 環(huán)境擴(kuò)展：同步監(jiān)測(cè)溫/濕/壓差/風(fēng)速四參數(shù)

3. 合規(guī)認(rèn)證：ISO 21501-4校準(zhǔn)｜21 CFR Part 11電子數(shù)據(jù)合規(guī)

4. 智能互聯(lián)：以太網(wǎng)/RS-485/USB｜LMS軟件管理3000+數(shù)據(jù)點(diǎn)

03

?行業(yè)痛點(diǎn)精準(zhǔn)解決方案?

挑戰(zhàn)

SOLAIR 1100LD應(yīng)對(duì)方案

數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性偏差

ISO 21501-4校準(zhǔn)+閉環(huán)真空泵設(shè)計(jì)

HEPA檢漏效率低

ScanAir附件實(shí)現(xiàn)毫米級(jí)漏點(diǎn)定位

高濃度環(huán)境檢測(cè)失效

激光二極管支持Class 1級(jí)超低粒子檢測(cè)

多設(shè)備數(shù)據(jù)整合困難

單平臺(tái)管理所有傳感器數(shù)據(jù)

04

?操作優(yōu)化指南?

1. 采樣點(diǎn)規(guī)劃
   • 公式：采樣點(diǎn)數(shù) = √潔凈室面積(m2)
   • 示例：100m2潔凈室 → 10個(gè)采樣點(diǎn)
2. 維護(hù)周期
   • 校準(zhǔn)：12個(gè)月/次
   • 激光器：終身免更換（傳統(tǒng)設(shè)備需半年更換）
3. 數(shù)據(jù)安全
   • AES-256加密傳輸 + 權(quán)限分級(jí)管理

?技術(shù)注釋?

壓縮氣體檢測(cè)需搭配專用擴(kuò)散器，HEPA檢漏通過ScanAir附件實(shí)現(xiàn)移動(dòng)掃描。設(shè)備超輕設(shè)計(jì)（23磅）支持產(chǎn)線快速部署，滿足7×24小時(shí)連續(xù)監(jiān)控需求。