核心挑戰(zhàn)?
28nm以下制程中,單顆0.1μm(100nm)塵埃即可導(dǎo)致芯片斷路/短路,良率暴跌超50%。國(guó)際ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)控Class 1級(jí)潔凈室0.1μm粒子濃度(≤10個(gè)/m3),而激光粒子計(jì)數(shù)器是唯一符合ISO 21501-4的檢測(cè)工具。北京中邦興業(yè),作為美國(guó)lighthouse廠家授權(quán)一級(jí)核心代理服務(wù)商,擁有0.1微米激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器,可為泛半導(dǎo)體工廠提供設(shè)備樣機(jī)免費(fèi)試用,上門演示實(shí)測(cè)。
![]()
【Lighthouse SOLAIR 1100LD】
01
?0.1μm粒子檢測(cè)的核心價(jià)值?
應(yīng)用場(chǎng)景
作用機(jī)制
案例效果
?晶圓制造關(guān)鍵工藝?
光刻/刻蝕/沉積環(huán)節(jié)實(shí)時(shí)監(jiān)控
某廠光刻車間良率提升12%
?高端封裝過程?
切割/鍵合/塑封環(huán)境保障
封裝可靠性提升15%+
?設(shè)備預(yù)測(cè)性維護(hù)?
粒子趨勢(shì)分析預(yù)判設(shè)備異常
減少停機(jī)時(shí)間40%
?數(shù)據(jù)價(jià)值延伸?
- 合規(guī)認(rèn)證:自動(dòng)生成ISO 14644-1/EU GMP審計(jì)報(bào)告(通過率100%)
- 智能管理:云端分析污染源,優(yōu)化潔凈室能耗效率
![]()
02
?Lighthouse SOLAIR 1100LD技術(shù)突破性優(yōu)勢(shì)?
?對(duì)比傳統(tǒng)設(shè)備?
參數(shù)
SOLAIR 1100LD
傳統(tǒng)HeNe計(jì)數(shù)器
?激光源?
激光二極管(終身免維護(hù))
氦氖激光管(6個(gè)月更換)
?濃度上限?
提高10倍
易超限導(dǎo)致數(shù)據(jù)失效
?適用潔凈等級(jí)?
ISO Class 1-7
僅限Class 5以上
?重量?
11.7kg(行業(yè)最輕)
≥15kg
?核心性能?
1. 檢測(cè)能力:0.1μm靈敏度|28.3 LPM流速|8通道數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
2. 環(huán)境擴(kuò)展:同步監(jiān)測(cè)溫/濕/壓差/風(fēng)速四參數(shù)
3. 合規(guī)認(rèn)證:ISO 21501-4校準(zhǔn)|21 CFR Part 11電子數(shù)據(jù)合規(guī)
4. 智能互聯(lián):以太網(wǎng)/RS-485/USB|LMS軟件管理3000+數(shù)據(jù)點(diǎn)
![]()
03
?行業(yè)痛點(diǎn)精準(zhǔn)解決方案?
挑戰(zhàn)
SOLAIR 1100LD應(yīng)對(duì)方案
數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性偏差
ISO 21501-4校準(zhǔn)+閉環(huán)真空泵設(shè)計(jì)
HEPA檢漏效率低
ScanAir附件實(shí)現(xiàn)毫米級(jí)漏點(diǎn)定位
高濃度環(huán)境檢測(cè)失效
激光二極管支持Class 1級(jí)超低粒子檢測(cè)
多設(shè)備數(shù)據(jù)整合困難
單平臺(tái)管理所有傳感器數(shù)據(jù)
04
?操作優(yōu)化指南?
- 采樣點(diǎn)規(guī)劃
- 公式:采樣點(diǎn)數(shù) = √潔凈室面積(m2)
- 示例:100m2潔凈室 → 10個(gè)采樣點(diǎn)
- 維護(hù)周期
- 校準(zhǔn):12個(gè)月/次
- 激光器:終身免更換(傳統(tǒng)設(shè)備需半年更換)
- 數(shù)據(jù)安全
- AES-256加密傳輸 + 權(quán)限分級(jí)管理
?技術(shù)注釋?
壓縮氣體檢測(cè)需搭配專用擴(kuò)散器,HEPA檢漏通過ScanAir附件實(shí)現(xiàn)移動(dòng)掃描。設(shè)備超輕設(shè)計(jì)(23磅)支持產(chǎn)線快速部署,滿足7×24小時(shí)連續(xù)監(jiān)控需求。
特別聲明:以上內(nèi)容(如有圖片或視頻亦包括在內(nèi))為自媒體平臺(tái)“網(wǎng)易號(hào)”用戶上傳并發(fā)布,本平臺(tái)僅提供信息存儲(chǔ)服務(wù)。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.