熱門賽道 | PVD（物理氣相沉積），半導(dǎo)體關(guān)鍵前道工藝

行業(yè)定義

PVD（物理氣相沉積）是一種用于在物體表面沉積薄膜的技術(shù)，通過將材料蒸發(fā)并在真空環(huán)境中沉積到基材表面來實(shí)現(xiàn)涂層。PVD技術(shù)廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、醫(yī)療器械和工具制造等領(lǐng)域。常見的PVD工藝包括蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍膜等。PVD技術(shù)的主要優(yōu)勢(shì)包括高硬度、耐磨性、抗腐蝕性，并且在涂層的顏色、厚度和均勻性方面具有很好的可控性。

從政策環(huán)境的角度來看，我國對(duì)PVD設(shè)備高度重視，主要體現(xiàn)在支持半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的相關(guān)政策上。例如，在《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》中，薄膜設(shè)備（如PVD設(shè)備、CVD設(shè)備等）被列為國家重點(diǎn)攻關(guān)的高端制造裝備；同時(shí)，在《國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)“十三五”規(guī)劃》中也明確提出，要推動(dòng)集成電路關(guān)鍵裝備的核心技術(shù)突破與應(yīng)用。

PVD設(shè)備市場(chǎng)主要得益于光電子行業(yè)的迅速發(fā)展。隨著顯示技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新，如有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）和柔性顯示技術(shù)的進(jìn)步，對(duì)高質(zhì)量、高性能光學(xué)薄膜的需求不斷上升，推動(dòng)了PVD設(shè)備市場(chǎng)的擴(kuò)展。此外，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)PVD設(shè)備的需求也在不斷增長，因?yàn)镻VD設(shè)備能夠用于制備金屬薄膜、氮化硅薄膜、硼化硅薄膜等關(guān)鍵材料，廣泛應(yīng)用于集成電路的生產(chǎn)中。

PVD（物理氣相沉積）和 PVD 設(shè)備的產(chǎn)業(yè)鏈可以根據(jù)材料、設(shè)備制造和應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行上、中、下游的細(xì)分。

上游產(chǎn)業(yè)鏈

原材料供應(yīng)：上游產(chǎn)業(yè)主要包括 PVD 工藝所需的材料供應(yīng)商，如金屬靶材（鈦、鉻、鋁等）、陶瓷靶材（氮化鈦、氧化鋁等）以及一些用于鍍膜過程中的氣體（如氮?dú)狻鍤狻錃獾龋?/p>

零部件供應(yīng)：包括用于制造 PVD 設(shè)備的關(guān)鍵組件和材料，如真空泵、離子源、電源系統(tǒng)、氣體控制系統(tǒng)和靶材冷卻系統(tǒng)等。這些零部件的質(zhì)量和性能直接影響 PVD 設(shè)備的效率和穩(wěn)定性。

中游產(chǎn)業(yè)鏈

PVD 設(shè)備制造：中游產(chǎn)業(yè)鏈的核心是 PVD 設(shè)備的設(shè)計(jì)和制造商。它們負(fù)責(zé)組裝和生產(chǎn)用于不同應(yīng)用領(lǐng)域的 PVD 設(shè)備。設(shè)備制造商根據(jù)不同的工藝要求，提供不同類型的設(shè)備（如蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、濺射鍍膜設(shè)備、離子鍍?cè)O(shè)備等）。

設(shè)備集成與測(cè)試：在設(shè)備制造完成后，需要進(jìn)行集成和調(diào)試，以確保設(shè)備達(dá)到性能要求，并能夠穩(wěn)定運(yùn)行。這包括真空系統(tǒng)的集成、控制系統(tǒng)的調(diào)試、鍍膜效果的測(cè)試等。

下游產(chǎn)業(yè)鏈

PVD 涂層和設(shè)備的下游應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，主要包括：

電子與半導(dǎo)體：用于制造晶圓、存儲(chǔ)器、顯示器、觸控屏等電子元器件的保護(hù)涂層。

工、模具制造：用于切削工具、模具等零部件表面的耐磨涂層，以提高其硬度和耐磨性。

裝飾和珠寶行業(yè)：用于各種金屬表面的裝飾涂層，提供多樣的顏色和耐久性，比如手表、眼鏡框、飾品等。

光學(xué)與光伏：用于光學(xué)透鏡、鏡片、光伏電池等產(chǎn)品的反射層或抗反射層。

醫(yī)療器械：在手術(shù)器械、植入物等設(shè)備上涂覆防腐蝕和抗菌涂層，以延長使用壽命并提高安全性。

服務(wù)支持

設(shè)備維護(hù)與售后服務(wù)：對(duì)于 PVD 設(shè)備制造商來說，售后服務(wù)是至關(guān)重要的一環(huán)，包括設(shè)備的安裝、維護(hù)、定期校準(zhǔn)和故障維修等，以保證設(shè)備的長期穩(wěn)定運(yùn)行。

技術(shù)支持與培訓(xùn)：PVD 設(shè)備和工藝往往需要專業(yè)技術(shù)支持，制造商通常提供操作培訓(xùn)、工藝優(yōu)化和咨詢等服務(wù)，以幫助下游用戶提升使用效率和工藝水平。

全球主要的PVD鍍膜機(jī)制造商包括Applied Materials、ULVAC、Optorun、Buhler Leybold Optics和Shincron等。全球前五名PVD鍍膜機(jī)制造商約占全球市場(chǎng)總數(shù)的74％。亞太地區(qū)是全球最大的PVD鍍膜機(jī)消費(fèi)市場(chǎng)，約占66％，其次是歐洲和北美。PVD最初的研制主要用于制造人造衛(wèi)星需要耐磨的零部件，隨著其處理技術(shù)不斷發(fā)展，PVD技術(shù)的應(yīng)用范圍也開始不斷擴(kuò)展。

目前我國正大力發(fā)展半導(dǎo)體、新一代信息產(chǎn)業(yè)、新材料、新能源、航天航空等產(chǎn)業(yè)，在此背景下真空鍍膜行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模有望不斷擴(kuò)大，行業(yè)發(fā)展前景廣闊。

睿獸分析整理近年來PVD相關(guān)公司的融資情況，近年來，隨著國家對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的逐步重視，PVD作為芯片行業(yè)的前道工序，熱度不減，并于去年達(dá)到事件數(shù)最多30起，融資額則是在22年達(dá)到近五年最高73.18億元。

相關(guān)企業(yè)

矩陣科技

深圳市矩陣多元科技有限公司成立于2016年12月，是一家專注于薄膜材料制備和高通量材料制備系統(tǒng)開發(fā)及應(yīng)用的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司主營設(shè)備包括科研型及生產(chǎn)型薄膜材料制備系統(tǒng):脈沖激光沉積系統(tǒng)、磁控濺射系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、分子束外延系統(tǒng)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)等。

傳統(tǒng)的有機(jī)材料基板和TSV技術(shù)目前面臨著制造成本高、工藝控制難度大、熱管理問題突出、高頻損耗大、集成密度相對(duì)較低等一系列難題。而玻璃基板和TGV有望解決這些挑戰(zhàn)，推動(dòng)芯片設(shè)計(jì)和制造邁上新臺(tái)階。

矩陣多元科技目前專注于半導(dǎo)體先進(jìn)封裝的薄膜沉積工藝，已掌握國際領(lǐng)先的磁控濺射PVD設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)，具備整機(jī)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和交付能力，并自主研發(fā)了濺射陰極系統(tǒng)、面板級(jí)封裝基片裝載系統(tǒng)等多項(xiàng)關(guān)鍵子系統(tǒng)。

公司推出的工業(yè)級(jí)量產(chǎn)設(shè)備DEP600（雙枚葉式先進(jìn)封裝濺射PVD設(shè)備）用于扇出型面板級(jí)封裝的種子層金屬化，已經(jīng)獲得了國內(nèi)多家頂級(jí)半導(dǎo)體封裝廠商的訂單，成功打破了核心設(shè)備的國際壟斷。此外，基于DEP600平臺(tái)，矩陣多元科技已經(jīng)完成了用于高深寬比玻璃通孔（TGV）種子層金屬化的PVD設(shè)備樣機(jī)的開發(fā)，并正在為多家潛在客戶進(jìn)行打樣測(cè)試。

2024年9月，矩陣科技宣布完成億元B+輪融資，由中車資本、智慧互聯(lián)產(chǎn)業(yè)基金、前海母基金、國中資本、潤信新觀象產(chǎn)業(yè)基金和毅達(dá)資本聯(lián)合投資，融得資金主要用于新一代先進(jìn)封裝PVD量產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、產(chǎn)能擴(kuò)充以及補(bǔ)充流動(dòng)資金等。

致真設(shè)備

合肥致真精密設(shè)備有限公司成立于2021年5月，是從事高精度物理氣相沉積設(shè)備及其關(guān)鍵組件研發(fā)和制造的高新技術(shù)企業(yè)。公司主營產(chǎn)品為國產(chǎn)高端科研級(jí)和產(chǎn)業(yè)級(jí)磁控濺射設(shè)備，同時(shí)為合作伙伴和客戶提供薄膜加工制造、工藝調(diào)試、設(shè)備軟件開發(fā)等服務(wù)。公司致力于提升高端薄膜沉積設(shè)備的自主可控水平，推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研深度融合，將先進(jìn)的科研成果轉(zhuǎn)化為具有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品，以解決集成電路行業(yè)卡脖子的關(guān)鍵設(shè)備和工藝難題。

目前致真設(shè)備已形成科研級(jí)薄膜制備系統(tǒng)、產(chǎn)業(yè)級(jí)薄膜制備系統(tǒng)、真空傳輸平臺(tái)、超高真空零配件四大產(chǎn)品系列，同時(shí)可根據(jù)客戶需求，開發(fā)如自旋、超導(dǎo)量子、MEMS等領(lǐng)域的薄膜工藝菜單。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片制造、新型顯示、量子信息、光波導(dǎo)、光伏產(chǎn)業(yè)、磁傳感器等領(lǐng)域。

據(jù)其公眾號(hào)公開信息，成立3年來目前人員已超50人，2023年銷售漲幅達(dá)10余倍。

2024年4月，致真設(shè)備獲得數(shù)千萬元天使輪投資，本輪融資由航天基金領(lǐng)投，合肥創(chuàng)新投資及國耀資本跟投。所募資金將主要用于產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)、市場(chǎng)拓展及人才招募。

佑倫真空

蘇州佑倫真空設(shè)備科技有限公司成立于2016年12月，是一家專注半導(dǎo)體薄膜沉積裝備的開發(fā)和應(yīng)用的企業(yè)，產(chǎn)品主要包括蒸發(fā)鍍膜機(jī)量產(chǎn)機(jī)型、真空燒結(jié)爐、大容量蒸發(fā)鍍膜機(jī)、小型試驗(yàn)機(jī)、濺射機(jī)、精密加工業(yè)務(wù)、耗材業(yè)務(wù)等，廣泛應(yīng)用于功率器件、LED、光通信、傳感器、半導(dǎo)體、濾波器等領(lǐng)域，為高端薄膜沉積領(lǐng)域、PVD薄膜沉積領(lǐng)域、氣自動(dòng)化領(lǐng)域提供解決方案。

佑倫真空的主要業(yè)務(wù)是與PVD薄膜沉積相關(guān)的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、濾波器等多個(gè)核心領(lǐng)域。業(yè)務(wù)范圍涵蓋高端定制型薄膜沉積設(shè)備、零部件供應(yīng)、為行業(yè)提供設(shè)備耗材以及精密機(jī)械加工四大板塊，并已具備一定的成本優(yōu)勢(shì)和核心技術(shù)自主掌控能力。目前，YOULUN佑倫真空已經(jīng)與國內(nèi)多家頂尖客戶建立了長期緊密的合作關(guān)系。同時(shí)，YOULUN佑倫真空正在研發(fā)和驗(yàn)證濺射機(jī)，助力國產(chǎn)PVD薄膜沉積技術(shù)的快速發(fā)展。

國發(fā)創(chuàng)投消息顯示，佑倫真空產(chǎn)品應(yīng)用覆蓋了半導(dǎo)體、光學(xué)、光伏、科研等多個(gè)領(lǐng)域，并逐漸導(dǎo)入士蘭微等多家行業(yè)頭部客戶。

2023年5月，佑倫真空獲蘇創(chuàng)投、國發(fā)創(chuàng)投及蘇州國發(fā)集團(tuán)聯(lián)合投資，本輪融資將主要助力新產(chǎn)品研制、市場(chǎng)推廣和團(tuán)隊(duì)建設(shè)等。

熱點(diǎn)訊息

2024年10月，光智科技擬購買PVD濺射靶材公司先導(dǎo)電科100%股份 股票復(fù)牌

光智科技(300489)10月13日晚間披露重大資產(chǎn)重組預(yù)案，公司擬通過發(fā)行股份及支付現(xiàn)金方式，購買先導(dǎo)稀材、中金佳泰、青島越馳、比亞迪、新疆特變等先導(dǎo)電子科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱“先導(dǎo)電科”）全體55名股東合計(jì)持有的先導(dǎo)電科100%股份，同時(shí)擬向不超35名特定投資者發(fā)行股票募集配套資金。標(biāo)的公司致力于先進(jìn)PVD濺射靶材和蒸鍍材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售業(yè)務(wù)，同時(shí)也從事高純稀散金屬及化合物的回收提純、制備和銷售業(yè)務(wù)。

2024年10月，連云港開發(fā)區(qū)：光伏產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)着_(tái)PVD濺射鍍膜設(shè)備成功下線

近日，位于連云港開發(fā)區(qū)的江蘇先導(dǎo)先進(jìn)裝備科技有限公司生產(chǎn)制造的PVD（即物理氣相沉積）三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設(shè)備成功交付。江蘇先導(dǎo)先進(jìn)裝備科技有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人劉磊介紹，該設(shè)備是先導(dǎo)落戶連云港后交付的首臺(tái)光伏設(shè)備，其成功下線標(biāo)志著先導(dǎo)科技成功打通從材料到設(shè)備全流程供應(yīng)鏈，也意味著連云港光伏產(chǎn)業(yè)誕生了首臺(tái)套成品設(shè)備。PVD三腔體連續(xù)式濺射鍍膜設(shè)備研發(fā)有助于打通企業(yè)材料板塊和裝備制造板塊供應(yīng)鏈體系，為中國光伏產(chǎn)業(yè)提供一體化解決方案。

2024年7月，給“中國屏”鍍上“亦莊膜”！全國首臺(tái)自研大面積鍍膜裝備成功簽約

7月11日，在北京景昇智鑫科技有限公司與湖南普照信息材料有限公司共同舉辦的中國首臺(tái)自主研發(fā)的大面積高品質(zhì)掩模基板PVD鍍膜裝備簽約儀式上，北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)企業(yè)北京景昇相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。此次合作標(biāo)志著我國在顯示面板關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域取得了重要突破，對(duì)推動(dòng)技術(shù)產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)自主化發(fā)展具有深遠(yuǎn)意義。

2021年06月，國內(nèi)首款超大產(chǎn)能異質(zhì)結(jié)專用PVD設(shè)備發(fā)布

21年6月3日，中國電子科技集團(tuán)有限公司宣布，該集團(tuán)旗下電科裝備成功發(fā)布國內(nèi)首款超大產(chǎn)能異質(zhì)結(jié)專用PVD（物理氣相沉積）設(shè)備。作為新一代高效異質(zhì)結(jié)太陽能電池生產(chǎn)制造核心裝備，其將為我國實(shí)現(xiàn)“碳達(dá)峰”“碳中和”提供堅(jiān)實(shí)的科技支撐。提效潛力高、降本空間大、工藝流程短等優(yōu)勢(shì)，是光伏行業(yè)未來的優(yōu)選方案。電科裝備此次推出的異質(zhì)結(jié)專用PVD，突破了可調(diào)高磁場(chǎng)強(qiáng)度的旋轉(zhuǎn)陰極系統(tǒng)、大跨度直流脈沖控制系統(tǒng)等關(guān)鍵技術(shù)，具有靶材利用率高、成膜均勻性好、設(shè)備穩(wěn)定性高的特點(diǎn)。

2019年12月，打破國外壟斷！上方自研G8.6代新型顯示PVD裝備進(jìn)入生產(chǎn)狀態(tài)

據(jù)浙江在線報(bào)道，上方電子自主研發(fā)制造的中國首套國產(chǎn)半導(dǎo)體顯示核心裝備——8.6代新型顯示PVD（物理氣相沉積）設(shè)備，已于上半年順利交付該顯示屏生產(chǎn)企業(yè)，最近正式進(jìn)入生產(chǎn)狀態(tài)。上方電子自研的PVD設(shè)備從5.5代升級(jí)到8.6代，設(shè)備的鍍膜面積增加了4倍多，涉及的零部件高達(dá)1.2萬個(gè)，需用到物理、機(jī)械、機(jī)電等六七門交叉學(xué)科，在攻克上萬個(gè)技術(shù)難點(diǎn)后，PVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)了功能性納米薄膜材料在大尺寸玻璃基板上的連續(xù)生產(chǎn)，納米薄膜均勻性在5%以內(nèi)，材料利用率超過80%，主要指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。