100臺光刻機拿不到了？ASML選擇“下狠手”證明沒有僥幸可言

ASML

自從美日荷芯片協議公布之后，在半導體產業憂心忡忡思考對策之際，忽然卻有一種“樂觀”的思想開始蔓延，特別是近期不少媒體報道ASML將交付100臺光刻機更是使得不少人開始相信這一次的芯片三方協議又是一次“恐嚇”行動，不會對快速發展的國產芯片產業造成太大的影響，但事實真的如此嗎？

ASML100臺光刻機

很遺憾，對于芯片三方協議，ASML現任首席執行官彼得溫寧克（Peter Wennink）的話就如同潑了一盆冷水，讓人剎時清醒了過來：“三方芯片協議將擴大限制范圍，不再局限于EUV光刻機等最先進的設備的同時也將包含其他設備”（We understand that steps have been taken that would cover advanced lithography tools as well as other types of equipment）。

ASML現任CEO彼得溫寧克表態

這也就意味著不僅僅適用于7nm及以下制程的高端EUV光刻機無法購買，以往采購的100多臺包括DUV光刻機在內的設備也面臨斷供的風險。一旦ASML采取這個行動，那么對于國內芯片企業而言毫無疑問將產生巨大的沖擊。

ASML現任CEO彼得溫寧克

ASML其實已經不是第一次做出這種選擇了。早在2018年中芯國際就向ASML交付定金用于購買一臺當時最先進的EUV光刻機，但是由于美方的阻撓使得這臺光刻機在5年之后依然處于“出貨中”的狀態沒有交付到中芯國際的手中。ASML的做法不僅僅造成了中芯國際在經濟上的損失，更為重要的則是耽誤了寶貴的5年發展時間，使得中芯國際不得不繼續投入在28nm及以上成熟制程這種競爭紅海中，放緩了追趕三星和臺積電的腳步。

在封鎖了最先進的EUV光刻機之后，如今ASML又跟隨美國提出的三方協議對于其他非先進技術進行封鎖，這也意味著以往安全的28nm也將變得不再安全，特別是考慮到ASML一年供貨量高達100臺設備，一旦出現如此大的缺口在短時間內實在是難以彌補。

日系半導體廠商曾經十分強大

為什么ASML寧可放棄100臺設備的訂單，冒著違約的風險也要參與芯片三方協議呢？實際上這也是ASML為以往走捷徑所付出的代價。昔日曾經的全球光刻機巨頭是尼康和佳能，但是在日本半導體產業蓬勃發展并擊敗美國半導體產業，英特爾、德州儀器等芯片巨頭處境艱難之際，通過《美日半導體協定》對日系半導體廠商揮舞起了大棒，一度曾經在前十中占據六席的日系芯片廠商就此衰落。

EUV光刻機

同時美國也建立了EUV LLC聯盟來組織攻關EUV光刻機，最終尼康和佳能兩大日系光刻機巨頭被排除在聯盟之外，而ASML則以50%零件必須從美國企業采購為代價，成為了EUV LLC聯盟的一員，也成為EUV光刻機唯一“指定”生產廠商。

自此EUV技術就被ASML牢牢把持在手中，也憑借EUV光刻機的熱銷，ASML市值一度超過2800億歐元，成為所有歐洲企業中市值最高的科技企業。但正像歐洲作家茨威格所說的那樣：“所有命運饋贈的禮物,都已在暗中標好了價格”。

借助EUV技術完成超越的ASML同時也背負上了沉重的枷鎖，高達50%美制零件的要求不僅僅瓜分了ASML大量的利潤，也使得ASML陷入不能自由供貨的困境。

中芯國際

作為全球增長最快的半導體市場，中國也成為芯片產業新的焦點，這也是在2018年中芯國際向ASML訂購EUV光刻機的大背景。要知道這只是一個開始，如果ASML能夠自由供貨EUV光刻機，那么其發展前景將不可限量。

但是技術被控制加上50%的美制零件使得ASML不得不拒絕向中芯國際等國產半導體廠商出售EUV光刻機，這也使得ASML錯失了發展的良機，也為今天EUV光刻機之外的其他設備無法出售的困境埋下了伏筆。

尼康推出7nm光刻機

相反尼康和佳能兩家日系光刻機廠商雖然被排除在EUV LLV聯盟之外，但也都走出了自己的另一條道路。尼康研制出了7nm級別的ArF光刻機，在沒有EUV技術的加持之下將精度做到了10nm以下。

佳能推出NIL技術

佳能則是繞過了EUV技術的限制，推出了NIL（納米壓印技術），試圖徹底取代ASML的地位，將來將用于3nm及以下的先進制程。

尼康出貨光刻機

由于使用了自主研發的技術，也使得尼康和佳能有望繞過芯片三方協議，加大自己出貨量，從而對ASML發起挑戰。相反ASML則有可能面臨每年損失100臺芯片設備的窘境，此消彼長之下被反超也并非沒有可能。

通過尼康、佳能和ASML的變化其實也能給國內半導體設備廠商以啟示和警醒，選擇“彎道超車”走捷徑的ASML由于技術沒有控制在自己手中，因此陷入了巨大的不確定中；相反堅持自主研發的尼康和佳能等企業雖然開始落后，但是終于也走出了自己的道路。

其實不怕慢，怕的是缺乏恒心。如果國內芯片廠商能夠耐得住十幾年甚至幾十年的寂寞，那么像尼康和佳能這樣后來居上取得突破也并非不可能。等到那時手握芯片技術以及全球最大的消費電子市場，或許將成為國內半導體產業真正騰飛的起點。