德國(guó)蔡司：美國(guó)制裁錯(cuò)了，DUV比EUV重要，今天封鎖DUV已經(jīng)遲了

文/王新喜

早在2025年9月，德國(guó)蔡司SMT部門(mén)一句公開(kāi)表態(tài)，放在今天的國(guó)際半導(dǎo)體格局下，尤為扎眼——

德國(guó)蔡司SMT部門(mén)指出 ：“蔡司是全球先進(jìn)光刻機(jī)業(yè)務(wù)的獨(dú)家鏡頭供應(yīng)商，對(duì)于光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)，DUV技術(shù)的重要性要遠(yuǎn)大于EUV技術(shù)。即便是采用EUV光刻機(jī)制造先進(jìn)芯片，其芯片當(dāng)中的大多數(shù)IC關(guān)鍵層也是基于DUV技術(shù)制造出來(lái)的。”

德國(guó)蔡司這句話(huà)，非常隱晦的說(shuō)出了，美國(guó)的制裁錯(cuò)誤之處，即逼著中國(guó)放棄了頂層最先進(jìn)的EUV，轉(zhuǎn)而用DUV全力搶占芯片產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)力量，結(jié)果，中國(guó)成了“成熟芯片”這個(gè)更大市場(chǎng)的贏(yíng)家。

簡(jiǎn)言之，中國(guó)雖然放棄了追逐塔尖的尖端科技，但是卻筑牢了半導(dǎo)體的地基，當(dāng)?shù)鼗危陀凶銐虻臅r(shí)間與力量慢慢向塔尖攀爬。

根據(jù)蔡司官方數(shù)據(jù)，目前全世界80%的微電子芯片，都是用它和阿斯麥合作的光刻機(jī)造的。這其中有95%的芯片是由DUV光刻機(jī)進(jìn)行制造，DUV是支撐整個(gè)產(chǎn)業(yè)運(yùn)轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)設(shè)施。

中國(guó)擁有DUV，等于滿(mǎn)足了自己90%的需求，甚至最先進(jìn)的3nm、2nm芯片，其中大多數(shù)IC關(guān)鍵層依然要回到DUV工藝上完成。

蔡司這番話(huà)的言外之意是，美國(guó)的半導(dǎo)體制裁，正在反噬整個(gè)西方半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，蔡司作為鏈條上最隱蔽但也最關(guān)鍵的一環(huán)，已經(jīng)感受到了切膚之痛。

美國(guó)為何一開(kāi)始制裁EUV不制裁DUV？

回顧時(shí)間線(xiàn)，2018年中芯國(guó)際花1.5億美元訂購(gòu)ASML的EUV光刻機(jī)，這筆錢(qián)相當(dāng)于中芯當(dāng)年全年凈利潤(rùn)。

隨后美國(guó)施壓荷蘭政府撤銷(xiāo)出口許可，這臺(tái)設(shè)備至今沒(méi)能交付。美國(guó)的邏輯很清楚：掐斷EUV，就等于鎖死中國(guó)進(jìn)入先進(jìn)制程的大門(mén)。

放在美國(guó)人的做事邏輯這好理解，美國(guó)向來(lái)是把最核心、最尖端的技術(shù)、利潤(rùn)最高的那一層蛋糕握在手里，不讓別人侵蝕它這一層的利益，至于中低端的市場(chǎng)，美國(guó)并沒(méi)有那么在意。

而美國(guó)對(duì)EUV更加在意，還有另一層因素——EUV才是美國(guó)親兒子。EUV這技術(shù)，1997年起源于美國(guó)政府牽頭的EUVLLC聯(lián)盟。這聯(lián)盟里全是美國(guó)的自己人：英特爾、IBM、AMD，外加勞倫斯利弗莫爾等三大國(guó)家實(shí)驗(yàn)室。

ASML能成為整機(jī)生產(chǎn)與組裝的主力，是因?yàn)樽龀隽恕岸囗?xiàng)讓步”，包括在美國(guó)建立工廠(chǎng)和研發(fā)基地。直到今天，阿斯麥的EUV光刻機(jī)里，美國(guó)零部件必須占比55%以上。

這也就意味著，EUV光刻機(jī)，美國(guó)可以100%掌控，而DUV的關(guān)鍵技術(shù)——浸潤(rùn)式（濕法）光刻，就不是美國(guó)人搞出來(lái)的技術(shù)。

那是2002年，前臺(tái)積電工程師林本堅(jiān)提出來(lái)的方案，要知道，浸潤(rùn)式的上一代技術(shù)是干式技術(shù)，而干式光刻機(jī)的老大還是日本尼康，當(dāng)時(shí)干式光刻機(jī)的鏡頭分辨率受芯片上方空氣空間的限制，無(wú)法進(jìn)一步縮短，已經(jīng)接近于設(shè)備的物理極限，臺(tái)積電林本堅(jiān)向尼康提出顛覆性設(shè)想：在鏡頭與晶圓之間注入水，借助水的高折射率，一舉可突破當(dāng)時(shí)被視為天塹的光源極限。

而當(dāng)時(shí)尼康拒絕了林本堅(jiān)的方案，林本堅(jiān)于是找到ASML，ASML采納了這種方案并制造出全球第一臺(tái)以水為介質(zhì)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，采用193nm波長(zhǎng)，但等效于134nm，馬上投入臺(tái)積電的生產(chǎn)線(xiàn)，效果非常好，ASML浸沒(méi)式光刻機(jī)橫掃全球，尼康光刻機(jī)的半壁江山被ASML直接拿走。

而彼時(shí)阿斯麥DUV光刻機(jī)的鏡片則是由德國(guó)蔡司獨(dú)家定制，美國(guó)控制力沒(méi)那么強(qiáng)。

也因?yàn)槿绱耍绹?guó)制裁為何一開(kāi)始針對(duì)EUV光刻機(jī)，如果全禁了，ASML也不會(huì)同意，因?yàn)楸旧鞤UV光刻機(jī)的研發(fā)是ASML與臺(tái)積電雙方促成的，跟美國(guó)關(guān)系不大，荷蘭政府迫于美國(guó)的壓力，不再向中國(guó)出售EUV光刻機(jī)，但是DUV設(shè)備還可以繼續(xù)交付。

盡管美國(guó)對(duì)ASML步步緊逼，但ASML多次聲稱(chēng)荷蘭不會(huì)一比一照搬美國(guó)措施，多次表態(tài)努力減少出口限制造成的影響。在NXT:2000i及以上浸潤(rùn)式設(shè)備的出口被限制之前，ASML也緊急向美申請(qǐng)了4個(gè)月的限制豁免期，放行DUV光刻設(shè)備，對(duì)我方加緊出貨。

2024年9月加緊了出口許可規(guī)定，對(duì)NXT1980Di之后的DUV設(shè)備實(shí)行逐案審批，不過(guò)老款和中低端機(jī)型還是能照賣(mài)不誤。

所以中國(guó)企業(yè)在2022年和2025年，向ASML采購(gòu)了大量的光刻機(jī)和制造耗材，提前囤積設(shè)備，盡可能保證國(guó)內(nèi)芯片的產(chǎn)能效應(yīng)。

那兩年ASML的財(cái)報(bào)清楚地顯示，中國(guó)大陸客戶(hù)的訂單占比一路飆升，巔峰時(shí)接近總營(yíng)收的一半。中國(guó)企業(yè)的邏輯非常務(wù)實(shí)——你不讓我做7nm以下的先進(jìn)芯片，那我就用DUV把成熟芯片的產(chǎn)能做到全球第一。

DUV構(gòu)建了半導(dǎo)體的塔身和塔基。比如在汽車(chē)行業(yè)，一輛車(chē)?yán)铮嬲枰跋冗M(jìn)芯片”的只有“車(chē)機(jī)芯片和智駕芯片”，車(chē)上的控制器、MCU、傳感器、功率芯片等產(chǎn)品，均是成熟制程的芯片。

此外，工廠(chǎng)里的PLC和變頻器芯片，空調(diào)、冰箱、洗衣機(jī)里的主控IC等全部用成熟制程芯片，包括28nm、40nm、65nm、甚至180nm。

而擁有DUV，中國(guó)就能保證了絕大多數(shù)領(lǐng)域的芯片應(yīng)用場(chǎng)景不被波及。根據(jù)美國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（SIA）的數(shù)據(jù)，中國(guó)大陸地區(qū)在28nm及以上成熟芯片的全球產(chǎn)能占比已經(jīng)達(dá)到33%。

中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、合肥晶合、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等企業(yè)這幾年幾乎同步在擴(kuò)產(chǎn)，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，2022年至2025年間中國(guó)大陸有超過(guò)30座晶圓廠(chǎng)在建設(shè)或產(chǎn)能爬坡中，絕大部分瞄準(zhǔn)的就是成熟制程。

DUV比EUV重要，德國(guó)蔡司的表態(tài)背后，封鎖DUV已經(jīng)遲了

在德國(guó)蔡司看來(lái)，美國(guó)制裁政策的失誤，在于封鎖EUV本身，卻低估了DUV才是支撐起半導(dǎo)體需求的塔基，全球芯片市場(chǎng)不是只有手機(jī)SoC和AI加速器，那只是金字塔最頂端的一小撮。

而綜上來(lái)看，德國(guó)蔡司沒(méi)有說(shuō)到的是，美國(guó)一開(kāi)始封鎖EUV而不封鎖DUV，原本也是因?yàn)镈UV技術(shù)主導(dǎo)權(quán)也不在美國(guó)這邊，如果一開(kāi)始就把DUV全部封鎖，必然引發(fā)荷蘭與中方的應(yīng)激反應(yīng)，這等于一上來(lái)就要砸荷蘭的飯碗。

而如果是這樣，也將可能更早逼中國(guó)使出稀土反制的殺招，因?yàn)楣饪虣C(jī)的生產(chǎn)制造本身離不開(kāi)稀土，既然桌子都掀了，要砸掉中國(guó)的半導(dǎo)體飯碗，那么芯片就誰(shuí)也別想造了。

也就是說(shuō)，美國(guó)原本也是精確計(jì)算過(guò)這層利益，沒(méi)有一開(kāi)始把路堵死，因?yàn)榧幢闶敲绹?guó)自己，也有大量的美國(guó)產(chǎn)品都在使用中國(guó)的成熟制程芯片！而且美國(guó)也低估了中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展速度。

在今天，中國(guó)企業(yè)在國(guó)際層面已占據(jù)成熟芯片的大量市場(chǎng)份額，已經(jīng)在“深度融入全球的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈”，海外企業(yè)對(duì)中國(guó)產(chǎn)品的依賴(lài)性也越來(lái)越高。

在今天，美國(guó)終于使出殺招了，以前美國(guó)主要禁最頂尖的EUV光刻機(jī)，現(xiàn)在直接擴(kuò)大到所有DUV浸沒(méi)式光刻機(jī)，要求荷蘭等盟友在150天內(nèi)實(shí)施同等禁令。

但在今天，封鎖DUV已沒(méi)太大意義，這不僅是因?yàn)橹袊?guó)本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈力量的突破，也在于中國(guó)手里擁有的DUV光刻機(jī)存量，足夠支撐中國(guó)5~10年的需求，即便一臺(tái)不買(mǎi)，也已經(jīng)夠用，而且中國(guó)本土國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)研發(fā)在加速，5~10年的時(shí)間已足夠中國(guó)研發(fā)出本土的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，美國(guó)今天把DUV納入到出口管制范圍，其實(shí)已經(jīng)遲了。

蔡司那句＂DUV比EUV重要＂這個(gè)表態(tài)，背后的意思是現(xiàn)在封鎖DUV也已經(jīng)遲了，歐洲企業(yè)對(duì)美制裁政策的不滿(mǎn)已從私下游說(shuō)走向了公開(kāi)表態(tài)。對(duì)于蔡司而言，DUV設(shè)備的全球存量遠(yuǎn)大于EUV，它是全球唯一能制造符合光刻機(jī)要求的高精度鏡頭組件的企業(yè)，DUV和EUV的鏡頭它都做。維護(hù)、升級(jí)、鏡頭更換的持續(xù)性收入才是蔡司SMT部門(mén)的利潤(rùn)基本盤(pán)。

它已經(jīng)失去了中國(guó)的EUV光刻機(jī)鏡頭組件訂單，中國(guó)市場(chǎng)是全球DUV設(shè)備增量最大的市場(chǎng)——蔡司當(dāng)然不希望DUV也被卷入制裁。

在今天，蔡司的那句“DUV比EUV重要”，已把這場(chǎng)半導(dǎo)體博弈的格局走向說(shuō)得很清楚了：封鎖EUV拖慢了中國(guó)在先進(jìn)制程上的進(jìn)度，但卻在成熟芯片領(lǐng)域催生出了一個(gè)超級(jí)產(chǎn)能競(jìng)爭(zhēng)者，并把中國(guó)這個(gè)全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)推向了堅(jiān)定自主化的方向，形勢(shì)的演變走勢(shì)，早已不是美國(guó)設(shè)想的那個(gè)劇本了。