巨虧850億后，尼康光刻機押注中國自救，要為過去犯的錯誤止損

文/王新喜

曝出史上最大虧損的尼康光刻機，要開始自救了，要為過去犯的錯誤止損。

我們知道，全球光刻機的廠商主要是荷蘭ASML，日本的尼康、佳能，以及中國大陸的上海微電子。ASML一家獨大，份額高達85%，佳能大約是10%，尼康是5%，上海微電子的份額為0.2%。

前段時間，日本尼康曝出2025財年預(yù)虧850億日元，創(chuàng)下公司歷史上最大虧損紀(jì)錄，盡管尼康解釋是因為3D打印機業(yè)務(wù)拖累，但其光刻機數(shù)據(jù)尤為扎眼，過去半年僅賣了9臺，而且賣的幾乎全是成熟制程設(shè)備。

而荷蘭ASML的半年答卷是，僅EUV光刻機就狂賣20多臺，總出貨量更高達160臺。

2025年9月，尼康就關(guān)閉了運營58年的橫濱工廠，標(biāo)志著其光刻機業(yè)務(wù)進一步收縮。再按這樣的情況發(fā)展下去，尼康的光刻機業(yè)務(wù)可能就完蛋了，所以尼康積極自救，在SEMICON China 2026展會上，尼康明確表示，將加大對中國市場的投入，不僅提供更高級的DUV設(shè)備，還針對中國市場推出二手設(shè)備銷售和原廠升級服務(wù)。

光刻機對尼康的重要性不言而喻，尼康不想讓光刻機業(yè)務(wù)倒閉，中國市場是它最后的救命稻草。

巨虧850億：既有守舊傲慢的內(nèi)因，又有主動加碼制裁中國的外因

尼康走到今天，9：160的扎心數(shù)據(jù)背后，有ASML市場競爭因素，也有尼康自己的因素。

尼康押注中國，因為尼康是唯二擁有浸潤式DUV光刻機的廠商。而佳能和上海微電子差不多，都只有干式DUV的水平。而且在目前，盡管EUV光刻機被禁了，但中國依然需要從ASML進口浸潤式DUV光刻機。

因此，尼康認為自己的機會就在這里。而尼康自己也曾經(jīng)栽在浸潤式光刻機。

在ASML之前，尼康、佳能才是老大哥。尼康在1978年完成首臺半導(dǎo)體光刻機SR-1，佳能則早在1970年就推出日本第一臺商用光刻機PPC-1。

不過發(fā)展到采用193nm的干式光刻機的時候，日系廠商認為要繼續(xù)研發(fā)使用波長更短的光源比如165nm，來提高光刻分辨率。

但是165nm波長的光線非常不穩(wěn)定，研究了幾年，大家都沒進展。

轉(zhuǎn)折點發(fā)生在2002年，當(dāng)時時任臺積電資深處長的林本堅，敲開尼康的大門。針對當(dāng)時193nm干式光刻機遭遇瓶頸、下一代光源研發(fā)停滯的局面，林本堅提出顛覆性設(shè)想：在鏡頭與晶圓之間注入水，借助水的高折射率，一舉突破當(dāng)時被視為天塹的光源極限。

這就是后來著名的浸沒式光刻機路線，但是被尼康拒絕了。尼康的代表當(dāng)場質(zhì)問林本堅：“如果水污染了鏡頭，你們臺積電賠得起嗎？如果氣泡導(dǎo)致批量報廢，這個責(zé)任誰擔(dān)？”更重要的是，當(dāng)時尼康已經(jīng)在157nm干式光刻機上，投入七億多美金。轉(zhuǎn)而搞浸沒式路線，之前的巨額投入將全部打水漂。

因此，后來林本堅找上ASML，制造出全球第一臺以水為介質(zhì)的浸潤式光刻機，采用193nm波長，但等效于134nm，馬上投入臺積電的生產(chǎn)線上，效果非常好。2004年，ASML浸沒式光刻機問世，橫掃全球，尼康光刻機市場的半壁江山被ASML直接拿走。

林本堅

后來，尼康也不得不選擇跟進，也實現(xiàn)了量產(chǎn)用于生產(chǎn)7nm及以下制程的浸潤式光刻機，也就是DUV中的ARFI光刻機，但隨著ASML的市場不斷擴張，后來又推出高端EUV光刻機，尼康逐步被邊緣化。

尼康在光刻機市場的失利，源于其在顛覆式技術(shù)敲門的時候，遭遇到了諾基亞式的困境，要采用新技術(shù)去顛覆原有的業(yè)務(wù)基本盤，這種對舊有根基利益難以割舍的守舊，最終讓其錯失了技術(shù)大潮。

而從外部因素來看，尼康如今的現(xiàn)狀，也與它比美國更積極的制裁中國有關(guān)。

要說全世界對光刻機需求最大的國家，那無疑是中國了，在ASML一家獨大的時候，尼康想要做大市場，跟中國合作才是出路。而且美國對中國的光刻機管制主要是盯著ASML，并沒有嚴格要求日本的尼康與佳能遵循禁令。

但是日本卻主動積極的加入到制裁中國光刻機的進程中，比如2023年3月，日本政府就宣布對包括光刻機在內(nèi)的23種半導(dǎo)體設(shè)備實施出口管制，從光刻機到光刻膠層層加碼限制對中國半導(dǎo)體設(shè)備出口，2024年4月，日本更進一步，把GAAFET（全環(huán)繞柵極晶體管）等先進技術(shù)也納入管制范圍。

日本主動加碼制裁中國，最終也進一步成全了ASML。我們看到，盡管美國對ASML步步緊逼，但ASML多次聲稱荷蘭不會一比一照搬美國措施，多次表態(tài)努力減少出口限制造成的影響。在NXT:2000i及以上浸潤式設(shè)備的出口被限制之前，ASML也緊急向美申請了4個月的限制豁免期，放行光刻設(shè)備，對我方加緊出貨。

2024年9月加緊了出口許可規(guī)定，對NXT1980Di之后的DUV設(shè)備實行逐案審批，不過老款和中低端機型還是能照賣不誤。

而中國市場的業(yè)績也支撐了ASML銷量的半壁江山，尼康眼睜睜看著訂單幾乎全部流向ASML。

另外值得一提的是，之所以尼康也無法做出EUV與ASML競爭，是因為美國不僅對中國出口管制，還對尼康佳能這兩大日本光刻機巨頭豎起高墻，ASML接到了英特爾、三星、臺積電的首次大規(guī)模戰(zhàn)略投資后，就建起了自己的 EUV聯(lián)盟，捆綁英特爾、三星、臺積電，集結(jié)德國蔡司鏡頭、美國Cymer光源等成員。而曾在芯片上吃過日本大虧的美國，以國家安全為由，將佳能、尼康排除在EUV技術(shù)聯(lián)盟外。

可以說，尼康即被美國封鎖了獲取頂尖技術(shù)的通道，又主動去加碼制裁中國，封鎖獲取中國市場的銷售通道?？梢哉f，尼康混到今天，一切是咎由自取。

尼康如今業(yè)績大跌，意識到，自己都快活不下去了，中國市場可能是尼康的救命稻草了，如果再不抓住中國市場，尼康的結(jié)局可能只剩下倒閉這一條路了。

而且尼康認為自己的機會，恰恰在于被美國封鎖技術(shù)，被排除在EUV技術(shù)聯(lián)盟之外，因此它的一些光刻機，是沒有采用美國的技術(shù)，所以不受影響，在中國市場，恰好是不受美國出口管制的影響，尼康有很大的操作空間的。

但是尼康現(xiàn)在才意識到這一點可能已經(jīng)有點太遲了。因為中國目前的狀態(tài)，顯然是要自主全力攻克浸潤式DUV光刻機的，而且國產(chǎn)設(shè)備的替代速度也在加快，阿斯麥的報告顯示，中國市場占了它銷售額的42%，中國對進口設(shè)備還有依賴，但像SSA600這種國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)能用在90納米的生產(chǎn)線上。日媒曾經(jīng)也說過，中國可能會成為荷蘭與日本之后，第三個獨立制造光刻機的國家。

而且尼康過去的所作所為，讓中國市場很難對它有完全的信任。加上荷蘭媒體曾爆料，中國現(xiàn)在已經(jīng)囤了足夠的DUV光刻機，用5~10年都沒有問題，5~10年后，中國國產(chǎn)浸潤式DUV光刻機大概率已經(jīng)實現(xiàn)量產(chǎn)了，尼康還有多少機會？機會已經(jīng)被它提前葬送了。昔日霸主，如今只能在夾縫中艱難喘息求生，吞下傲慢與封閉的苦果。