在近眼顯示(AR/VR)向“視網(wǎng)膜級分辨率”(>10,000 PPI)演進的過程中,量子點發(fā)光二極管(QLEDs)被廣泛認為是最具潛力的技術(shù)路徑之一。然而,在亞微米像素尺度下,如何同時實現(xiàn)高保真圖案、全彩集成、高效率與長壽命,始終是制約該領(lǐng)域發(fā)展的核心科學(xué)與工程難題。
針對這一關(guān)鍵瓶頸,福州大學(xué)李福山團隊從納米制造工藝與器件物理機制兩個層面開展系統(tǒng)性研究,提出并實現(xiàn)了一體化解決方案,實現(xiàn)了超高分辨全彩QLED的“像素級完美”,并建立了結(jié)構(gòu)—電場—性能之間的內(nèi)在關(guān)聯(lián)。相關(guān)研究成果以題為Nanoscale transfer-printed full-colour ultrahigh-resolution quantum dot LEDs發(fā)表在《Nature》上,青年教師林立華為論文第一作者,李福山研究員為通訊作者,福州大學(xué)為第一完成單位。該研究工作得到了國家重點研發(fā)計劃項目、國家科技重大專項課題及國家自然科學(xué)基金面上項目的資助支持。
論文鏈接:
https://doi.org/10.1038/s41586-026-10333-w
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在工藝層面,本研究開發(fā)了犧牲層輔助的硬質(zhì)納米壓印—整體倒置轉(zhuǎn)印(NP–TP)技術(shù),實現(xiàn)了亞微米尺度全彩量子點像素陣列100%“高保真+轉(zhuǎn)移產(chǎn)率”構(gòu)建。通過引入可重復(fù)使用的硬質(zhì)硅模板,實現(xiàn)了模板限定的精確結(jié)構(gòu)復(fù)制,在9,072至25,400 PPI范圍內(nèi)均保持穩(wěn)定的圖案精度,有效避免了傳統(tǒng)軟印章在高分辨率條件下的形變與失效。在此基礎(chǔ)上,提出“雙作用力動力學(xué)(Dual-Action Force Dynamics, DAFD)”策略,通過壓印過程中的垂直壓縮與釋放后的橫向彈性收縮協(xié)同作用,實現(xiàn)量子點在像素微孔內(nèi)的致密重排與無空隙填充,從而在像素尺度上獲得高致密性與高結(jié)構(gòu)保真度,顯著抑制納米尺度發(fā)光不均勻性。
進一步地,通過整體倒置轉(zhuǎn)印策略,將量子點像素陣列與蜂窩狀絕緣框架一次性完整轉(zhuǎn)移至目標基底;其中,PVB犧牲層在壓印階段保障微結(jié)構(gòu)復(fù)制完整性,在轉(zhuǎn)印過程中提供關(guān)鍵保護,并在剝離后暴露出潔凈、無殘留的像素陣列表面,從而有效消除傳統(tǒng)多色圖案化中的殘留污染與RGB串色問題,實現(xiàn)全彩像素的高純度與高一致性。此外,該工藝在柔性/非平面基底及鈣鈦礦量子點等多材料體系中均表現(xiàn)出優(yōu)異適用性,依托PDMS彈性支撐與蜂窩絕緣結(jié)構(gòu)的應(yīng)力分散作用,可在彎曲條件下實現(xiàn)納米級高保真RGB圖案轉(zhuǎn)印并保持穩(wěn)定電學(xué)性能;同時,該工藝避免高溫與光刻步驟,兼容鈣鈦礦量子點等環(huán)境敏感材料,實現(xiàn)與傳統(tǒng)體系一致的高質(zhì)量圖案化。NP–TP不僅具備極限分辨能力,更具有跨基底、跨材料的通用納米制造潛力。
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圖1| NP–TP工藝及DAFD機制驅(qū)動的高保真量子點圖案化
在物理機制層面,本工作進一步識別并系統(tǒng)揭示了一個此前被忽視的關(guān)鍵限制因素,即亞微米限域像素結(jié)構(gòu)中由幾何約束引發(fā)的電場重構(gòu)及其非均勻分布。電場模擬與實驗結(jié)果表明,微孔邊緣存在顯著的電場集中效應(yīng),該局域增強電場會引發(fā)電流擁擠、非輻射復(fù)合增強以及局部熱積累,從而成為限制器件效率與穩(wěn)定性的主導(dǎo)機制。基于此,研究提出通過在電荷阻擋層中引入TiO?納米顆粒實現(xiàn)介電常數(shù)匹配,使其與量子點發(fā)光層相協(xié)調(diào),從而有效均勻化微孔內(nèi)部電場分布并抑制邊緣效應(yīng)。通過系統(tǒng)性的“光學(xué)效應(yīng)排除與電場調(diào)控驗證”,明確建立了“介電匹配→電場均勻化→性能提升”的因果關(guān)系。由此,在12,700 PPI分辨率下,紅光QLED實現(xiàn)了26.1%的峰值外量子效率(EQE)和65,190小時(T95@1000 cd m?2)的超長壽命,達到當前高分辨率QLED的領(lǐng)先水平;同時,綠光與藍光器件的EQE分別提升124%和119%。
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圖2 | 電場非均勻性起源及TiO?介電匹配實現(xiàn)的電場均勻化與性能提升
在系統(tǒng)集成方面,RGB像素化白光器件實現(xiàn)了10.1%的EQE,刷新了高分辨率全彩QLED的性能記錄。進一步地,通過與CMOS驅(qū)動電路的單片集成,成功演示了基于溶液工藝的主動矩陣QLED動態(tài)顯示原型,驗證了該技術(shù)體系在實際顯示應(yīng)用中的可行性。
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圖3 | 超高分辨全彩QLED的系統(tǒng)集成與主動矩陣顯示驗證
總體而言,本工作實現(xiàn)了從納米圖案化工藝、電場調(diào)控機制到系統(tǒng)級顯示驗證的全鏈路突破,不僅解決了超高分辨QLED“如何實現(xiàn)”的制造問題,更從物理本質(zhì)上闡明了限域像素結(jié)構(gòu)中電場分布對器件性能的決定性作用,并提出了具有普適性的介電匹配策略。這一“納米結(jié)構(gòu)設(shè)計—電場調(diào)控—性能提升”的研究范式,為下一代高性能近眼顯示技術(shù)提供了關(guān)鍵理論基礎(chǔ)與可行工程路徑。
本文來自“材料科學(xué)與工程”公眾號,感謝論文作者團隊支持。
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