專訪微導納米黎微明：十年磨劍，以創新為“芯”立命

本文來源：時代商業研究院 作者：孫華秋

圖源：圖蟲創意

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作者|孫華秋

編輯|韓迅

在成立十周年、登陸科創板三周年的雙重里程碑節點，國內原子層沉積（ALD）設備龍頭微導納米（688147.SH）交出了一份厚積薄發的答卷。2025年，該公司半導體設備業務收入達8.81億元，同比激增169.12%，收入占比從2024年的12.14%躍升至33.5%——這組亮眼數據，正式宣告微導納米的半導體業務，全面邁入規模化落地的收獲期。

從外界最初認知里的光伏設備制造企業，到如今躋身半導體高端裝備國產化的核心力量，微導納米這條跨越十年的進階之路，背后是日復一日的技術深耕，與從未動搖的“生而為芯”的初心。

3月26日的上海，SEMICON China 2026展會現場人聲鼎沸，全球半導體產業的前沿技術與產業力量在此匯聚。在展會現場，時代商業研究院獨家專訪了微導納米副董事長、首席技術官黎微明。這位深耕ALD技術領域三十余年、一手搭建起微導納米核心技術體系的技術掌舵人，在專訪中不僅深度拆解了公司半導體業務高增長的底層邏輯，更回溯了企業扎根ALD技術的初心，描繪以技術創新驅動全球化發展的未來藍圖，為我們具象詮釋了國產半導體裝備企業在國產化浪潮中的堅守與破局之道。

初心歸位：生而為“芯”

時代商業研究院：外界對微導納米的認知，大多始于光伏ALD設備龍頭的身份，但你多次提到，微導納米從成立之初，本質就是一家半導體設備公司。這個與外界認知有反差的定位，背后有著怎樣的初心與考量？

黎微明：微導納米的名字里，本身就刻著“微納制造”的核心基因。2015年公司成立之初，我們的目標就無比清晰：要做中國人自己的半導體高端裝備。但2015年的國內產業環境，不支持我們直接切入半導體賽道——海外巨頭筑起了極高的技術壁壘與專利護城河，國內半導體產業鏈尚在萌芽階段，核心技術積累、專業人才儲備都存在肉眼可見的差距。

面對這樣的現實，我們選擇了一條“以光伏養技術，以技術備半導體”的道路：先在光伏領域實現ALD技術的產業化落地與規模化驗證。這從來不是換賽道，而是找一片更適合的土壤，打磨核心技術、錘煉產業化團隊，讓微納制造的底層能力，在真實的量產場景中反復迭代、不斷完善。所幸，隨著國際產業環境變化，國內半導體國產化浪潮全面起勢，我們終于等到了切入半導體賽道的最佳窗口期。而能抓住這個機會，靠的是公司成立以來數年如一日的技術深耕，絕不是臨時起意的跨界轉型。

時代商業研究院：這份跨越近十年的技術沉淀，最終轉化成了哪些看得見的市場成果與行業突破？

黎微明：厚積薄發的結果，就是我們半導體業務的營收連續多年保持100%以上的同比高增速，在我看來，這是一件水到渠成的事。2020年，我們拿到了第一個半導體領域的正式訂單；2021年，我們成為了國內首家成功將量產型High-k原子層沉積設備應用于集成電路制造前道生產線的國產設備公司，實現了國內ALD設備國產化核心技術“零的突破”，這也是國內半導體薄膜沉積設備領域的一個重要里程碑。

從行業大盤來看，目前ALD設備在全球半導體薄膜沉積設備的占比為11%～13%，但其國產化率較低，這背后是極其廣闊的國產化空間。而微導納米作為國內第一批實現ALD技術國產化突破的企業，憑借近十年的底層技術沉淀，已經穩穩站在了自主可控的第一梯隊，未來的成長空間，自然不言而喻。

技術扎根，成長破土

時代商業研究院：微導納米的半導體業務能在短短數年內從培育期快速邁入收獲期，最核心的支撐是什么？在你看來，技術和市場，哪個才是企業發展的根本？

黎微明：答案一定是技術。半導體裝備行業，是真刀真槍拼硬實力、拼底層技術的領域，沒有拿得出手的核心技術，哪怕銷售能力再強，也終究是空中樓閣。客戶最終買單的，永遠是能穩定量產、匹配工藝要求、真正解決生產痛點的設備，這是所有市場拓展的前提，也是我們安身立命的根本。

去年我們在資本市場完成11億元融資，其中約50%用于半導體裝備的產能擴建，另外50%全部投入半導體技術的研發迭代，這樣的布局，核心就是為了持續筑牢我們的技術壁壘。如今我們已經搭建起平臺化的產品矩陣，除了核心的ALD技術，還成功拓展至PECVD技術領域，且兩大方向均錨定行業先進技術路線，完成了從單一設備供應商向為客戶提供全流程薄膜沉積解決方案的綜合服務商的轉型——這也是我們能快速獲得頭部客戶認可的核心關鍵。

時代商業研究院：當前國內半導體設備國產化才剛剛起步，但行業內已經出現了明顯的內卷現象，你如何看待這一行業現狀？企業又該如何破局？

黎微明：這其實是我一直以來深感擔憂的問題。國內半導體裝備的國產化之路才剛剛啟程，大量核心技術還未實現真正的突破，這個階段出現的無序內卷，本質上是行業資源的極大浪費。尤其是部分資金的盲目涌入，很容易造成低端產能的無序擴張，反而會拖慢整個行業的長期發展進程，這也是我多次在行業公開場合呼吁大家理性投資、聚焦核心技術突破的原因。

當下有不少聲音認為，國產半導體設備的核心競爭力就是價格優勢，對此，我只部分認同。中國半導體裝備行業從起步到現在不過十余年，能實現如今的技術突破，背后是全行業企業共同努力的結果。要保障技術的持續迭代、持續追趕甚至超越國際水平，就絕不能把低價當做核心競爭手段。我們依托國內完整的產業鏈，確實有一定的成本優勢，也會盡全力通過技術優化、工藝升級來降低產品成本，但同時也希望市場能給國產設備更多的包容與空間，讓企業的研發投入能得到合理覆蓋，最終形成“研發投入—技術突破—市場認可—持續加碼研發”的良性循環。

當然，國產設備也有自己不可替代的核心優勢——中國裝備企業的售后服務響應能力與定制化能力，是世界一流的。我們愿意投入更多的資源與成本做好售后，陪伴客戶一起完成工藝調試、產線適配，幫助客戶在最短時間內實現量產化，這也是我們能快速貼近客戶需求、實現技術快速落地迭代的重要原因。

時代商業研究院：在你看來，微導納米能始終保持技術領先、實現業績持續高速增長的核心競爭力，到底是什么？

黎微明：微導納米的核心競爭力，歸根結底有兩點：一是穩定的核心人才團隊，以及完善的人才梯隊培養體系；二是能讓人才充分釋放價值、敢闖敢試的創新土壤。

作為一家技術驅動的企業，人才是我們最核心、最寶貴的資產。我自己深耕ALD領域三十余年，太清楚半導體裝備的研發，需要長期的技術積累、工藝沉淀與團隊磨合，絕不可能靠少數幾個人就實現跨越式突破。所以，微導納米從成立第一天起，就把人才梯隊建設放在首位，一步步培養出了一支既懂底層技術、又懂量產工藝、更懂客戶真實需求的核心團隊，這是我們能持續實現技術突破、不斷推出核心產品的根基。

而有了人才，更重要的是給他們足夠的創新空間與試錯底氣。我們從來不鼓勵團隊簡單復制國外的成熟技術，而是要求大家既要對標國際最先進水平，更要敢于思考如何實現超越。現在我們的很多工藝，客戶還是會以海外頭部產品為參考標桿，但我們的終極目標，是通過完全的自主創新，做出比海外產品更優秀、更適配國內產線需求的設備——這也是我們能始終保持技術領先、持續獲得市場認可的核心密碼。

以創新為核心驅動未來發展

時代商業研究院：目前微導納米的半導體業務，已經涵蓋了邏輯、存儲、化合物半導體、先進封裝四大核心領域。當前AI算力已成為拉動半導體行業增長的核心引擎，公司在這一產業大趨勢下，做了哪些針對性的布局？

黎微明：AI對算力的極致需求，毫無疑問會成為未來數年甚至更長周期里，推動整個半導體行業迭代升級的核心動力，這是全行業的共識。而微導納米在半導體設備賽道的布局，已經完成了多領域、多場景的覆蓋——無論是邏輯、存儲、化合物半導體，還是先進封裝、光電、OLED，只要是晶圓制造相關環節，我們的核心薄膜沉積技術都能實現精準適配、深度賦能。

這一全場景布局的背后，是我們對半導體產業底層邏輯的深刻理解：薄膜沉積是半導體制造前道生產線三大核心工藝之一，無論是AI芯片所需的制程、HBM高帶寬內存配套的先進封裝工藝，還是高容量存儲芯片、第三代化合物半導體的量產制造，都離不開ALD、PECVD等核心薄膜沉積技術的底層支撐。因此，無論行業熱點如何輪動，只要半導體制造的產業基本盤在持續發展，微導納米就擁有穩定、可持續的增長空間。

時代商業研究院：面向下一階段，公司鎖定的核心增長極是什么？

黎微明：在半導體領域，我們會重點聚焦先進封裝賽道。隨著半導體制程工藝逐步逼近物理極限，先進封裝已經成為突破芯片性能瓶頸、適配AI算力需求的核心路徑，國內先進封裝市場的發展速度遠超行業預期，這對我們來說是確定性極強的巨大機遇。目前我們正深度結合行業需求，在先進封裝領域布局新材料、新工藝的底層創新，哪怕是針對海外已經成熟的先進封裝技術，我們也有自己的優化與升級思路，這一賽道會成為公司半導體業務未來最核心的增長引擎。

時代商業研究院：微導納米正在建設的半導體薄膜沉積設備工廠，未來將逐步釋放產能，這一戰略布局將為公司發展帶來哪些核心助力？

黎微明：擴產是微導納米應對半導體業務爆發式增長、筑牢長期核心競爭力的關鍵戰略布局。在新擴產車間正式投產后，將從生產制造、質量管理、成本控制等多個維度，實現公司全鏈條能力的全面升級：一方面，未來產出的設備在穩定性、可靠性、一致性上會有質的提升，能更好地匹配頭部客戶大規模量產的核心需求；另一方面，我們會把AI技術深度賦能到設備研發與生產全流程中，不僅優化自身生產效率，更能幫助客戶實現更穩定、更高效的智能化生產。

盡管目前工廠建設面臨不小的成本投入，但我對它落地后的價值充滿信心——它不僅能徹底解決公司當前的產能瓶頸，更能推動公司的產品力、品牌力實現一次全面躍升，為我們的雙輪驅動布局筑牢最堅實的產能根基。

出海：穩者善行，行者致遠

時代商業研究院：在加速推進國產化的同時，出海布局已成為國內半導體設備企業的必答題，微導納米在全球化布局上有哪些具體規劃與落地進展？

黎微明：目前微導納米的部分產品已經實現了小批量出海，已有設備正式銷往歐洲市場。盡管當前規模不大，但這是一個關鍵里程碑——它意味著我們的技術與產品性能，正式得到了國際成熟市場的認可。未來幾年，先進設備的全球化布局，會成為公司的核心工作之一。

我們的出海思路從一開始就非常清晰：絕不靠低價內卷打開市場，而是以技術創新和產品硬性能取勝。目前我們的核心產品，已經在國內多家頭部Fab廠完成了全流程量產驗證，進入成熟穩定的產品化階段，核心技術指標全面對標國際最先進水平，甚至在部分細分場景的性能上實現了創新突破。我們走的從來不是簡單復刻海外成熟技術的路徑，而是深度結合客戶量產需求做定制化的性能優化與底層創新，這也是我們敢于進軍國際市場、直面海外巨頭競爭的核心底氣。

關于出海的區域布局，我們認為，東南亞市場對國產設備的接受度與友好度相對更高，但這個市場很多核心產能、技術決策中心依然集中在歐美地區。因此我們的長期目標，始終是打開國際視野，除了持續深耕本土業務，更是要逐步切入歐美核心半導體制造市場，進入全球最頂尖的產業鏈體系。我始終相信，只要產品性能足夠過硬、有充分的大規模量產驗證經驗，就一定能突破各類貿易與技術壁壘，真正打開全球市場。

時代商業研究院：作為國內半導體ALD設備國產化的核心引領者，微導納米對自身的行業定位是什么？未來希望能為中國半導體產業的發展，創造怎樣的核心價值？

黎微明：微導納米十年的發展，始終圍繞“創新”二字。我們給自己的定位，從來不止是一家實現半導體裝備國產化的企業，更希望以底層技術創新，推動整個微納制造行業的技術進步與產業升級。

在半導體領域，我們實現了國產ALD設備在多個領域從0到1的突破，為國產半導體裝備的發展筑牢了一塊重要的基石。未來，我們希望繼續以技術創新為核心，推動行業的技術升級，甚至在部分細分領域實現全球領先。

微導納米的十年，是技術沉淀的十年，也是堅守初心的十年。未來，我們仍會以技術創新為核心錨點，繼續夯實半導體裝備國產化的核心能力，向產業鏈中更多關鍵環節的核心技術發起攻堅。同時以技術創新推動產品出海，努力成為全球領先的微納制造設備供應商，為中國高端裝備制造業的發展貢獻一份力量。

結語：香自苦寒，功在久遠

專訪落幕，與黎微明博士的一席對話，余味悠長，感觸良多。

十年磨一劍，礪得梅花香。從成立之初便懷揣“生而為芯、以微納制造立命”的初心，到蟄伏光伏賽道完成核心技術沉淀、產業化能力錘煉與人才團隊搭建，再到半導體業務迎來爆發式增長、成長為國產ALD設備領域的標桿企業，微導納米走過的這十年，既是中國半導體高端裝備國產化進程中從追趕到突破的生動縮影，更是一家技術驅動型企業以長期主義堅守底層創新、終得厚積薄發的最佳注腳。

這縷歷經十年苦寒磨礪出的梅香，從來不是曇花一現的盛放，而是醇厚綿長、后勁十足。它藏在每一次技術攻堅的堅守里，藏在以“創新”為核心的長遠布局里，更藏在中國高端裝備企業走向全球的底氣里，向著產業的更遠方，持續散發著屬于中國創新的力量。

（全文5135字）

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