東方晶源獲頭部存儲晶圓廠重大訂單，開啟計算光刻與AI刻蝕新紀元

近日，東方晶源憑借在計算光刻領域的核心技術壁壘與持續創新突破，與國內某先進存儲廠商達成深度戰略合作，并正式簽署近2億元的長期戰略商業合同。此次合作中，東方晶源將基于自主研發的PanGen?計算光刻平臺與全球首創的AI刻蝕模型PanGen vPWQ（Virtual Process Window Qualification）產品，助力客戶加速先進存儲工藝節點的開發與迭代，攜手為我國半導體產業的自主創新與高質量發展注入強勁動能。

此次戰略合作的達成，不僅是對東方晶源技術實力的高度認可，更彰顯了公司與產業鏈伙伴協同創新、共筑產業生態的堅定決心。未來雙方將圍繞先進存儲工藝的核心需求，持續深化技術合作，共同攻克先進工藝開發中的關鍵瓶頸。東方晶源將以PanGen?計算光刻平臺與PanGen vPWQ為核心，構建更完善的工藝優化解決方案體系，助力客戶在全球激烈競爭中搶占技術制高點、牢筑核心競爭力。

全球首創AI刻蝕模型落地

破解先進制程良率難題

隨著芯片工藝節點不斷逼近物理極限，圖形化相關的系統性良率損失已成為制約晶圓廠研發效率與量產成本的核心瓶頸。在傳統的計算光刻流程中，壞點預測往往止步于光刻環節，而對于后續至關重要的刻蝕環節，通常僅依賴簡單的偏差規則（Bias Table）進行估算。然而，在先進制程中，這種估算方式已表現出局限性，且人工操作成本也越來越高，導致大量潛在風險無法在流片前被識別。如何精準預測刻蝕后的圖形輪廓，成為解決先進制程良率問題的“核心突破點”。

面對這一行業共性難題，東方晶源迎難而上，攻克多項技術瓶頸，成功推出全球首款將AI技術深度應用于刻蝕模型的計算光刻工具——PanGen vPWQ。該產品創新地采用了“傳統物理模型項+AI智能項”的混合建模架構，在現有物理刻蝕建模框架基礎上，創造性地引入了AI deep network。依托這一AI驅動的建模方法，系統可充分利用海量晶圓SEM圖像輪廓數據進行高精度擬合，精準捕捉刻蝕中復雜的物理化學效應，在顯著提升模型預測精度的同時，有效規避純數據驅動的AI模型易出現的過擬合風險，實現模型隨產線刻蝕工藝動態自適應優化。

打通多步光刻工藝

大幅提升制造效率

此外，PanGen vPWQ依托AI輔助建模框架打造的復合刻蝕模型，可將先進工藝節點下的雙重圖形（LELE）和自對準雙重圖形（SADP）等多步工藝有機整合，直接輸出最終刻蝕輪廓并支持FEM模式。通過仿真可提前精準完成刻蝕環節工藝窗口驗證（PWQ），從根本上解決了傳統方案難以適配復雜刻蝕工藝的行業難題。

憑借高精度的AI輔助刻蝕模型，PanGen vPWQ可為晶圓廠提供刻蝕工藝窗口的仿真驗證結果，對刻蝕相關缺陷實現精準預判，助力產線提前制定應對方案，有效降低流片迭代次數，顯著壓縮研發周期并節約成本投入。更具價值的是，該產品搭載Auto Retargeting（ART）自動目標修正功能，可對現有基于Bias Table的OPC流程實現增量式優化，自動修正ADI初始目標圖形，有效彌補傳統方法在復雜版圖（尤其是1.5D/2D圖形）上的不足，在提升最終圖形保真度的同時，大幅降低了人工調試成本。

產線驗證獲認可

HPO良率理念走向深度實踐

此次獲得國內頭部存儲晶圓廠的戰略合作訂單，是對東方晶源EDA產品技術實力最有力的證明。在該客戶的產線驗證中，PanGen vPWQ成功在量產線上實現了對刻蝕壞點的精準仿真與溯源。驗證結果表明，該產品能顯著縮短工藝研發周期，有效提升良率，解決了客戶在先進制程開發中面臨的緊迫痛點。

此次合作不僅是一個商業訂單的簽署，更是國產EDA工具在先進制程核心環節實現“彎道超車”的重要里程碑。東方晶源相關負責人表示，PanGen vPWQ的成功落地，標志著公司 HPO（Holistic Process Optimization）全流程工藝優化理念從理論走向了深層次的實踐。我們不再僅僅是提供單一的工具，而是為客戶提供從設計、掩模、光刻到刻蝕的全流程、智能化的良率提升解決方案。

深耕良率管理核心賽道

助力中國“芯”自主可控

作為國內集成電路良率管理領導者，東方晶源長期深耕半導體制造工藝的計算光刻、制程控制等核心技術環節。公司核心產品PanGen?計算光刻平臺憑借卓越的性能與穩定性，已成為支持客戶先進節點工藝開發的關鍵工具。通過精準的算法與高效的計算能力，大幅提升了光刻工藝的精度與良率，為客戶縮短研發周期、降低制造成本提供了堅實保障，奠定了公司在行業內的技術領先地位。

當前，半導體行業的競爭本質上是良率的競爭，而AI正是破解良率瓶頸的核心引擎。PanGen vPWQ的突破是東方晶源HPO 2.0戰略的重要組成部分。未來，公司將繼續深化“AI驅動圖形化模型+電子束量檢測裝備”的深度整合，構建起“硬件賦能軟件、軟件優化硬件”的正反饋閉環，始終致力于通過技術創新，助力國內集成電路產業鏈突破先進制程瓶頸。同時，以此次戰略合作為契機，東方晶源將持續加大研發投入，與產業鏈上下游伙伴攜手，共同構建自主可控、安全高效的半導體產業生態，為中國“芯”的發展注入更強動力。