美荷兩國曾同時發(fā)聲，對中國獨立研發(fā)的光刻機技術給予了強烈批評

2024 年 9 月，中方將國產(chǎn)氟化氬光刻機列入推廣目錄，這本是推動產(chǎn)業(yè)升級的正常舉措，卻引發(fā)美荷兩國幾乎同步表態(tài)，言辭間充滿不滿，讓人再次看清半導體領域的長期博弈。

光刻機對芯片制造到底有多重要，大家心里都有數(shù)。沒有它，就沒法在硅片上精準刻出電路圖案，芯片性能再強也白搭。全球市場長期被荷蘭ASML公司把持，這家企業(yè)花了幾十年時間，投入巨資，才在極紫外和深紫外技術上站穩(wěn)腳跟。它的設備成了高端芯片生產(chǎn)的主力，可背后也離不開多國供應鏈和政策支持。

美國從2019年起就施壓荷蘭，阻止ASML向中國出口極紫外光刻機，后來范圍一步步擴大到深紫外領域。2023年荷蘭先把部分浸沒式機型納入管制，2024年情況更緊。9月6日，荷蘭政府宣布進一步擴大出口許可要求，明確NXT:1970i和1980i這兩款主力深紫外浸沒式光刻機對華出口必須申請許可證，第二天就生效。ASML公司當天回應，說這讓許可發(fā)放方式更協(xié)調(diào)統(tǒng)一，以前有些要向美國申請，現(xiàn)在統(tǒng)一到荷蘭政府手里。

就在這個節(jié)骨眼上，中國工業(yè)和信息化部發(fā)布了2024年版首臺套重大技術裝備推廣應用指導目錄，把國產(chǎn)氟化氬光刻機列入其中。設備參數(shù)寫得清清楚楚：光源193納米，分辨率≤65納米，套刻精度≤8納米。這意味著在成熟制程芯片生產(chǎn)上，我們有了自主選項，不用完全依賴外部。

消息出來沒幾天，美國商務部也跟著表態(tài)，支持荷蘭的做法，還強調(diào)要維護供應鏈安全。荷蘭那邊議會和官員的公開說法同樣直指中國獨立發(fā)展給歐洲安全帶來隱患。兩邊聲音幾乎同步傳出，核心指向就是對中國自主研發(fā)光刻機技術的強烈不滿。

商務部新聞發(fā)言人9月8日回應得很明確：中方注意到相關情況，對荷蘭在2023年措施基礎上進一步擴大管制表示不滿，指出美國不斷泛化國家安全概念，脅迫個別國家加嚴管制，嚴重威脅全球半導體產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈穩(wěn)定，損害相關國家和企業(yè)正當權益，中方堅決反對。

這番表態(tài)讓不少人感慨，這些年我們被卡脖子的滋味太深刻了。從基礎研究到整機突破，科研團隊投入了多少心血和資源，才在光刻機這個燒錢又難啃的領域取得實打實的進展。

2020年前后，國內(nèi)就已經(jīng)有了180納米制程的設備，雖然跟最先進水平還有距離，但那是完全靠自己力量邁出的第一步。到了2024年氟化氬光刻機進入推廣目錄，意味著中低端芯片生產(chǎn)可以更多用上國產(chǎn)方案，每年省下的進口開支不是小數(shù)，也讓供應鏈安全有了更多底氣。

美荷兩國的批評聲音并沒有讓國內(nèi)停步，反而成了繼續(xù)前行的動力。國家通過大基金等渠道持續(xù)支持集成電路產(chǎn)業(yè)，上下游企業(yè)加強協(xié)作，光源、光學系統(tǒng)、工件臺這些關鍵部件的國產(chǎn)化率穩(wěn)步提升。芯片制造廠逐步導入成熟制程的國產(chǎn)設備，手機、汽車電子等領域的自主配套能力明顯增強。

進入2025年，外部壓力還在繼續(xù)。ASML公司多次提到，受出口管制影響，對華業(yè)務占比從之前的高點回落，2025年全年預計回到歷史正常水平20%左右。公司財報和公開表態(tài)里反復強調(diào)中國仍是重要市場，但現(xiàn)實就是新增先進設備出口受限，連已售設備的維護服務都面臨更多障礙。荷蘭政府后來又調(diào)整了披露敏感出口數(shù)據(jù)的做法，美國也更新了出口管理條例，把更多實體和子系統(tǒng)納入限制。

ASML前首席執(zhí)行官彼得·溫寧克在任時就說過，限制措施只會加速中國自己的研發(fā)步伐。新任領導層雖然立場不同，但市場數(shù)據(jù)擺在那里：中國作為全球最大半導體消費市場，需求長期穩(wěn)定，中低端制程芯片的自主生產(chǎn)能力提升，直接帶動了本土設備企業(yè)的成長。

到2026年初，情況更清楚了。國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)在成熟工藝節(jié)點上自主率持續(xù)提高，部分企業(yè)已經(jīng)實現(xiàn)規(guī)模應用國產(chǎn)光刻設備。產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同越來越順暢，材料、軟件、檢測等配套環(huán)節(jié)也跟得上節(jié)奏。

這不是一夜之間的事，而是多年積累、水到渠成的結果。