中國造不出光刻機？中科大副院長：美國造不出，中國永遠都不可能

2024年9月，中科大前副院長朱士堯的一句話直接炸了全網——“美國造不出，中國永遠都不可能”。當時中美半導體博弈正熱，美國封鎖先進光刻機、卡中國芯片脖子，全國上下都盼著國產突破，這話一出來，評論區瞬間吵翻：有人罵他“唱衰中國”，有人說他“老糊涂了”。可這位在科技圈摸爬滾打幾十年、退休還被華為返聘十年的老專家，為啥突然說這話？

朱士堯1944年生在上海嘉定，1963年考進中科大核反應堆工程專業，畢業后就在中科大教書搞研究，后來還當了研究生院副院長。61歲退休后被華為拉回去，一干就是十年，直到2014年底才真正歇下來。他這輩子親眼見中國科技從落后到追趕，早年被卡脖子的滋味比誰都清楚；在華為那十年，更是看著華為做大，也看著它被美國制裁斷供的難。

說白了，光刻機就是造芯片的核心家伙，手機、電腦、汽車里的芯片，尤其是高端的，離了它根本玩不轉。現在全世界最牛的光刻機，是荷蘭阿斯麥做的，高端機型基本被它壟斷，一臺賣幾十億，排隊好幾年還不一定能拿到貨。

有人就問了，美國科技那么牛，咋造不出光刻機？朱士堯說的“美國造不出”真不是瞎話——光刻機就像個巨型拼圖，得幾十個國家湊零件才能拼起來，單靠一個國家根本搞不定。你看阿斯麥的高端光刻機，自己只做不到10%的核心技術，剩下90%的零件得靠全球5000多家供應商。比如核心光源最早是美國公司的，但主脈沖激光得靠德國一家公司；光學鏡子平整度誤差不能超0.1納米，全世界只有德國蔡司能造；光刻膠這種超高純材料，主要靠日本產，美國自己也得買。

早年美國也有光刻機公司，曾經挺厲害的，后來被日本公司擠壓，加上研發成本太高，要么破產要么賣了業務，現在美國本土根本沒有能造完整光刻機的企業。它能設計高端芯片，但要生產還得從荷蘭買阿斯麥的機器——說白了，不是美國技術不行，是單獨搞不定。

懂了這點，就明白朱士堯后半句的意思了：連美國這么牛的國家，都做不到單獨造光刻機，中國科技基礎不如美國，單獨搞當然更難，尤其是最頂尖的那種。造光刻機不光要全球合作，研發成本高得嚇人，還得幾十年技術積累，不是砸錢就能追上的。阿斯麥搞高端光刻機花了20多年、幾百億歐元，找了幾千個工程師，還得靠各國供應商幫忙，少了合作根本沒戲。

中國在光刻機領域起步很晚，上世紀90年代造芯片的光刻機全靠進口，自己沒啥研發能力。直到2002年上海微電子成立，才真正開始琢磨這事，那時候實驗室條件一般，工程師們天天泡車間調試，踩了不少坑。

2019年起，美國施壓荷蘭不讓賣高端光刻機給中國，還聯合其他國家封鎖技術、斷供核心零件。中國也加大投入，清華搞專項實驗室研發光刻機材料，上海微電子慢慢突破，造出了自己的光刻機。現在能造分辨率65納米以上的機型，夠汽車電子、消費電子的中端芯片用，本土專利超過500項，各個環節都有進步。

光刻機國產化率從2022年的40%漲到2024年的65%，鏡片、掩膜板這些關鍵零件也優化了，不用全靠進口。上海微電子還擴產能、加快迭代，這些都是實打實的進步。但差距還是大：咱們的套刻精度約1.5納米，阿斯麥能控制在1納米以內，這點差距就影響高端芯片的產量和效率；而且中低端光刻機的核心零件和材料，比如高端光刻膠，還得從日本買。

網上罵朱士堯的人，其實都誤解他了。他不是不愛國，一輩子都在為中國科技出力，退休了還盯著進展。他就是太懂行，清楚其中的難度，不想讓大家盲目樂觀——造光刻機不能急功近利，更不能指望單打獨斗追上荷蘭、美國。

中國從來不怕難，越被封鎖越能激發潛力，越遇問題越團結。以前高鐵、航天、5G、新能源，都是從追趕到并跑甚至領跑，光刻機領域也一樣。只要一步一個腳印，加強國際合作，總有一天能造出自己的高端光刻機，不再被卡脖子。

參考資料：

1. 中國科學報《朱士堯：光刻機需全球協作突破》

2. 上海微電子2024年度公開報告

3. 中科大官方訪談資料