國產刻蝕機崛起：實現100%國產化，搞定3nm，排全球第13名

說起造芯片，大家都知道光刻機是重中之重，卡脖子卡得厲害。但其實，芯片制造是一條很長的流水線，光刻只是其中一環。

緊隨其后的另一個關鍵步驟，叫做“刻蝕”——光刻機把極精細的電路圖案“畫”在硅片上，刻蝕機就要像最高明的雕刻家，精準地按照圖案，把不需要的部分“挖”掉，只留下需要的部分。兩者相輔相成，缺一不可。

大家可能不知道的是，在我們為高端光刻機發愁的同時，國產刻蝕機的技術，已經悄悄走到了世界最前列。而做到這一點的，是一家名叫“中微公司”的企業。

中微的創始人尹志堯博士，是個有故事的人。2004年，在英特爾、應用材料等美國芯片設備巨頭工作了多年的他，帶著一幫技術精英回國創業。當時，國內的刻蝕機水平還很低，完全依賴進口。尹博士和他的團隊一頭扎了進去，僅僅三年后的2007年，就推出了首臺國產電容性等離子體刻蝕機，一舉打破了國外壟斷。

發展得太快，自然會引來巨頭的“關注”。全球設備巨頭應用材料公司曾對中微發起訴訟，試圖打壓。但中微憑借扎實的自主技術，硬是頂住了壓力并最終勝訴。這場勝利，不僅是法律的勝利，更是技術實力的宣告。

真功夫是藏不住的。如今，中微的刻蝕機已經達到了國際最先進的3納米工藝水平，并且成功打入了全球芯片代工龍頭臺積電的供應鏈。這意味著，在全球最高端的芯片生產線上，已經有了中國刻蝕設備的一席之地。

但中微最讓人佩服的一步棋，還不止于此。為了防止在關鍵時候被國外的零部件“卡脖子”，它干了一件堪稱“硬核”的事：在自己的生產線上，實現了100%的國產化，全部采用國產的零部件和系統。用他們自己的話說，從生產線到刻蝕機本身的零部件，都已實現全套國產，根本不怕外界斷供。這在全球化的今天，需要巨大的決心和深厚的產業鏈支撐。

除了刻蝕機這個“拳頭產品”，中微在薄膜沉積設備、特別是LED芯片生產的關鍵設備MOCVD領域，也做到了全球領先。2025年，中微預計營收將超過120億元，利潤超過20億元，憑此業績，它已穩穩躋身全球半導體設備廠商前15名。

中微的故事告訴我們，在芯片這條漫長而艱難的賽道上，并非所有環節都只能被動追趕。通過持續聚焦、扎實創新，完全可以在某些核心領域實現超越，并建立起從技術到供應鏈的完整自主權。當我們在為光刻機攻關加油時，像中微在刻蝕領域取得的突破，同樣值得喝彩，它給了我們更多的信心和底氣。