說起造芯片,大家都知道光刻機是重中之重,卡脖子卡得厲害。但其實,芯片制造是一條很長的流水線,光刻只是其中一環。
緊隨其后的另一個關鍵步驟,叫做“刻蝕”——光刻機把極精細的電路圖案“畫”在硅片上,刻蝕機就要像最高明的雕刻家,精準地按照圖案,把不需要的部分“挖”掉,只留下需要的部分。兩者相輔相成,缺一不可。
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大家可能不知道的是,在我們為高端光刻機發愁的同時,國產刻蝕機的技術,已經悄悄走到了世界最前列。而做到這一點的,是一家名叫“中微公司”的企業。
中微的創始人尹志堯博士,是個有故事的人。2004年,在英特爾、應用材料等美國芯片設備巨頭工作了多年的他,帶著一幫技術精英回國創業。當時,國內的刻蝕機水平還很低,完全依賴進口。尹博士和他的團隊一頭扎了進去,僅僅三年后的2007年,就推出了首臺國產電容性等離子體刻蝕機,一舉打破了國外壟斷。
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發展得太快,自然會引來巨頭的“關注”。全球設備巨頭應用材料公司曾對中微發起訴訟,試圖打壓。但中微憑借扎實的自主技術,硬是頂住了壓力并最終勝訴。這場勝利,不僅是法律的勝利,更是技術實力的宣告。
真功夫是藏不住的。如今,中微的刻蝕機已經達到了國際最先進的3納米工藝水平,并且成功打入了全球芯片代工龍頭臺積電的供應鏈。這意味著,在全球最高端的芯片生產線上,已經有了中國刻蝕設備的一席之地。
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但中微最讓人佩服的一步棋,還不止于此。為了防止在關鍵時候被國外的零部件“卡脖子”,它干了一件堪稱“硬核”的事:在自己的生產線上,實現了100%的國產化,全部采用國產的零部件和系統。用他們自己的話說,從生產線到刻蝕機本身的零部件,都已實現全套國產,根本不怕外界斷供。這在全球化的今天,需要巨大的決心和深厚的產業鏈支撐。
除了刻蝕機這個“拳頭產品”,中微在薄膜沉積設備、特別是LED芯片生產的關鍵設備MOCVD領域,也做到了全球領先。2025年,中微預計營收將超過120億元,利潤超過20億元,憑此業績,它已穩穩躋身全球半導體設備廠商前15名。
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中微的故事告訴我們,在芯片這條漫長而艱難的賽道上,并非所有環節都只能被動追趕。通過持續聚焦、扎實創新,完全可以在某些核心領域實現超越,并建立起從技術到供應鏈的完整自主權。當我們在為光刻機攻關加油時,像中微在刻蝕領域取得的突破,同樣值得喝彩,它給了我們更多的信心和底氣。
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