芯片的制造過程,光刻機、刻蝕機都是必不可少的設備。
光刻機是將芯片電路圖投影至涂了光刻膠的硅晶圓上,進行電路的刻錄,而刻蝕機則將刻錄好的電路圖保留下來,將不要的部分腐蝕掉,只保留要的部分。
所以光刻機重要,刻蝕機也同樣重要,雙方的功能互補,是對應的。
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但大家不知道的是,國產光刻機技術不太行,但國產刻蝕機技術,可是非常行的。
從技術上來看,目前國產刻蝕機的技術是全球頂尖的,達到了國際同步的水平,而國產最強的刻蝕機廠商,就是中微公司了。
這家企業,則尹志堯博士,在2004年創辦的,當時他從海外回來,帶著一幫海歸精英創辦了它。至今也是20來年的歷史。
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在創辦這家企業之前,尹志堯博士,一直在美國芯片巨頭工作,比如英特爾,應用材料、泛林等,有著豐富的經驗,還有著眾多的專利。
他歸國后,看到國產刻蝕機水平這么低,于是一頭扎了進來,于2007年就推出了中國首臺電容性等離子體刻蝕設備,打破國外壟斷。
后來發展太快,還引來了應用材料的打壓起訴,但有技術就不怕,針對應用材料的打壓,中微根本就不慫,最后還勝訴了。
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后來,中微不斷的發展,不斷的突破,一步一步的走到了世界前列,目前中微的刻蝕機,早已進入了臺積電的供應鏈,技術也達到了3nm,是國產最強刻蝕機企業,也是全球最強的光刻機企業之一。
而為了保持這種先進性,同時避免被國外的供應鏈卡脖子,中微更是做了一件大事,那就是在自己的生產線上,實現100%的國產化,全部采用國產元件。
按照中微公司的官方說法,目前在生產線上實現了全套國產化,并且在刻蝕機的零部件上也實現了全部國產化,根本就不擔心卡脖子的問題。
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而除了刻蝕機之外,目前中微也涉足了薄膜沉積設備、MOCVD設備等,在這些領域,也達到了全球頂尖水平,特別是氮化鎵基LED MOCVD設備,全球領先。
2025年,中微公司預計營收124億元,其中刻蝕設備約占98.32億元,其它的主要就是LPCVD和ALD等半導體薄膜設備,而利潤超過20億元,所以靠著這個業績,能夠殺進全球前20,排到全球第13名了。
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